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题名硅烷的分析
被引量：4
- 1
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作者
尹恩华
杨雪珍
于凤来
郎文卉
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机构
中国科学院半导体研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1985年第1期67-74,共8页
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文摘
在大规模集成电路和非晶硅研制中，常常要对硅烷的纯度及其组分进行分析。有关硅烷分析的文章国内、外公开报道的不多。现有文献以苏联的居多，其次是日本和美国。1975年B．T．Peзчиков等报道了用光谱法测定硅烷中的总碳。
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关键词
硅烷
大规模集成电路
B.T.
非晶硅
光谱法
PE
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分类号
TQ325.12
[化学工程—合成树脂塑料工业]
TN47
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名三氯化磷中碳化物的色谱分析
- 2
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作者
于凤来
尹恩华
陆大成
汪度
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机构
中国科学院半导体研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1985年第3期44-46,共3页
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文摘
一、问题的提出 InP用于外延工艺中，发现在温度高于500℃区域内，有黑色膜或黑斑点淀积在石英反应管壁上，甚至在衬底支架上。这种现象可能是高温下三氯化磷中碳化物的热分解所造成的。由此提出分析外延试剂的杂质成分问题。试图从中找出沾污的原因及解决污染的办法。
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关键词
碳化物
色谱分析
热分解
外延
三氯化磷
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分类号
TQ126.36
[化学工程—无机化工]
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题名几种特气在半导体工艺中的应用
- 3
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作者
于凤来
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机构
中国科学院半导体研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1985年第3期42-44,共3页
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文摘
在半导体工艺中，如低压化学气相沉积法（LCVD）制备多晶硅和氮化硅薄膜，以及等离子刻蚀等工艺，都要使用特种气体。有些特种气体我国已有生产，如氨气、氯化氢。有些特种气体在半导体工艺中很有用途，但到目前为止，还没有生产单位，或质量没有过关。现介绍我所在半导体工艺中需用的几种特种气体。
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关键词
半导体工艺
特种气体
应用
等离子刻蚀
低压化学气相沉积法
三氟甲烷
乙硅烷
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名数学理解水平的划分
被引量：21
- 4
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作者
李春雷
于凤来
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机构
北京师范大学教育学部
北京师范大学良乡附属中学
山东省莒县阎庄街道中心初级中学
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出处
《数学教育学报》
CSSCI
北大核心
2022年第4期68-73,97,共7页
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基金
北京市教育学会“十四五”教育科研课题--基于高阶能力培养的大单元教学课程设计研究(FSYB2021-002)。
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文摘
基于经典的数学理解内涵的阐释以及已有各家理解水平的划分,将学生数学理解划分为工具性理解、关系性理解、创造性理解、文化性理解4个水平,并以均值不等式为典型案例,详细解读学生各数学理解水平的内涵和表现形态.工具性理解水平的价值不能忽视.学生个体数学理解水平是发展变化的,学生间的数学理解水平是有差异的.在力所能及的范围内,鼓励学生追根问底式地深层次学习,达到“关系理解”的水平;鼓励学生对知识进行自我建构,达到“创造性”理解水平;鼓励学生在历史文化、审美情趣、人文关怀中进行熏陶,达到“文化性理解”的水平.
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关键词
数学理解
工具性理解
关系性理解
创造性理解
文化性理解
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Keywords
mathematical understanding
instrumental understanding
relational understanding
creative understanding
cultural understanding
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分类号
G447
[哲学宗教—发展与教育心理学]
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题名DX—1型天然电场选频仪在金属找矿中的初步应用
- 5
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作者
于凤来
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出处
《河南有色金属地质》
1990年第1期61-66,共6页
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关键词
金属矿
找矿
电场
选频仪
DX-1型
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分类号
P618.208
[天文地球—矿床学]
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题名DX—1型选频仪资料处理方法
- 6
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作者
于凤来
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出处
《河南有色金属地质》
1992年第2期60-64,共5页
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关键词
选频仪
DX-1型
资料
处理
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分类号
P631.33
[天文地球—地质矿产勘探]
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题名三烷基镓的纯化
被引量：1
- 7
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作者
J.B.Mullin
于凤来
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出处
《低温与特气》
CAS
1986年第3期34-37,共4页
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文摘
一种制备较纯三烷基镓(例如三甲基镓)化合物的方法包括以下几步:1.用分子式为R_1R_2O,沸点至少高于三烷基镓化合物沸点50℃的醚,与三烷基镓生成三烷基镓的加合物;2.在低于该加合物分解温度的温度下,用抽空或蒸馏方法除去挥发性杂质;3.将加合物加热使之解离,生成三烷基镓蒸气,再将该蒸气分馏,分离出三烷基镓化合物。
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关键词
三烷基镓
纯化
加合物
醚
解离
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分类号
TQ133.51
[化学工程—无机化工]
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题名河南洛宁金矿区构造控矿规律研究
- 8
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作者
王志光
于凤来
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出处
《河南有色金属地质》
1992年第1期11-22,共12页
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关键词
金矿
地质构造
控矿规律
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分类号
P618.510.2
[天文地球—矿床学]
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