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纳米TiO_2改性聚乙烯膜抗菌性能的研究 被引量：16
1
作者 付国柱 于运花 +1 位作者 徐瑞芬 许秀艳 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期37-39,共3页
采用纳米粉体的分散技术和掺混技术,在聚乙烯中加入纳米TiO_2制得纳米TiO_2改性聚乙烯膜,并对该膜的抗菌性、抗变色性、使用安全性进行了研究。结果表明,纳米TiO_2改性聚乙烯膜具有良好的抗菌性能,在不同光源条件下对不同微生物菌株的... 采用纳米粉体的分散技术和掺混技术,在聚乙烯中加入纳米TiO_2制得纳米TiO_2改性聚乙烯膜,并对该膜的抗菌性、抗变色性、使用安全性进行了研究。结果表明,纳米TiO_2改性聚乙烯膜具有良好的抗菌性能,在不同光源条件下对不同微生物菌株的杀菌率都达到92％以上,且具有抗菌广谱、长效、安全稳定等性能。 展开更多
关键词 纳米TIO2 改性 聚乙烯薄膜 抗菌性能 研究 纳米粉体 分散 掺混
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高校化学实验室的精确化管理 被引量：14
2
作者 付国柱 刘佳旭 刘新生 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2013年第5期191-193,共3页
在对高校化学实验室现状、现存各种问题及其原因进行研究、分析的基础上,整合现有管理思想与模式,提出了高校化学实验室"精确化管理"的思路,并运用一定的实施手段和方法,将"精确化管理"思路运用到实验室管理之中,... 在对高校化学实验室现状、现存各种问题及其原因进行研究、分析的基础上,整合现有管理思想与模式,提出了高校化学实验室"精确化管理"的思路,并运用一定的实施手段和方法,将"精确化管理"思路运用到实验室管理之中,以求解决现存问题,促进实验室的规范化管理,提高实验室的使用效率和产出效益。 展开更多
关键词 化学实验室 精确化管理 药品管理
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锶掺杂TiO_2薄膜电极的制备及其光电性能 被引量：1
3
作者 付国柱 杨彦秋 +4 位作者 邓利 魏刚 舒心 方杰 乔宁 《北京化工大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期51-55,共5页
采用水热法制备了不同Sr2+掺杂量的TiO2胶体溶液,并以FTO玻璃为基底制备了Sr2+掺杂TiO2薄膜电极。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)等对Sr2+掺杂TiO2进行表征与分析。结果表明Sr2+掺杂抑制了部分锐钛矿... 采用水热法制备了不同Sr2+掺杂量的TiO2胶体溶液,并以FTO玻璃为基底制备了Sr2+掺杂TiO2薄膜电极。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)等对Sr2+掺杂TiO2进行表征与分析。结果表明Sr2+掺杂抑制了部分锐钛矿型TiO2向金红石型的转变及促进晶粒尺寸的减小,薄膜表面为三维多孔结构,Sr2+有效地掺杂到了TiO2晶格中。薄膜电极的电流密度-电压测试表明,Sr2+掺杂有效提高了TiO2薄膜电子的光电转换效率,其中1%Sr2+掺杂量薄膜的转换效率相对于未掺杂的TiO2薄膜提高了11.5%。 展开更多
关键词 TIO2 掺杂 薄膜电极 光电性能 纳米复合材料
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社会主义核心价值观对大学生社会责任感培育的影响——以北京化工大学为例 被引量：3
4
作者 付国柱 王媛 《高校辅导员学刊》 2016年第2期82-85,共4页
围绕培育和践行社会主义核心价值观的理念,调研大学生社会化现状、社会主义核心价值观对大学生社会化的影响,从而指导教学实践环节,培养学生的社会责任感、家国情怀、爱岗敬业等方面综合素质。通过提高大学生社会责任感的培育,最终实现... 围绕培育和践行社会主义核心价值观的理念,调研大学生社会化现状、社会主义核心价值观对大学生社会化的影响,从而指导教学实践环节,培养学生的社会责任感、家国情怀、爱岗敬业等方面综合素质。通过提高大学生社会责任感的培育,最终实现富强、民主、文明、和谐的中国梦想。 展开更多
关键词 社会主义核心价值观 大学生 社会责任感
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以大学生就业能力培养为核心的素质教育研究 被引量：3
5
作者 付国柱 王媛 《高校辅导员学刊》 2014年第1期57-61,共5页
素质教育以其丰富的育人功能和特有的社会价值,成为当今教育改革的重要方向和重要任务,而提高大学生就业能力又是素质教育的重要组成部分。本文针对大学生的就业能力的现状、不足以及社会对大学生就业能力的具体需求,探讨如何提高大学... 素质教育以其丰富的育人功能和特有的社会价值,成为当今教育改革的重要方向和重要任务,而提高大学生就业能力又是素质教育的重要组成部分。本文针对大学生的就业能力的现状、不足以及社会对大学生就业能力的具体需求,探讨如何提高大学生的就业能力,完善高校的素质教育体系。 展开更多
关键词 大学生 就业能力 素质教育
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高校后勤基层党组织组织力提升的建设机制与有效路径 被引量：1
6
作者 付国柱 王寒 +2 位作者 李冠宁 原京晶 杨雯 《延边教育学院学报》 2021年第4期39-41,共3页
当前正处于深化推进高校后勤社会化改革的重要时期,高校后勤基层党组织在后勤工作中发挥着政治核心作用和战斗堡垒作用,可以有效地促进着高校后勤事业的持续健康发展,为高校稳定和谐发展起着重要的保驾护航作用。高校后勤基层党组织要... 当前正处于深化推进高校后勤社会化改革的重要时期,高校后勤基层党组织在后勤工作中发挥着政治核心作用和战斗堡垒作用,可以有效地促进着高校后勤事业的持续健康发展,为高校稳定和谐发展起着重要的保驾护航作用。高校后勤基层党组织要深入思考"从何发力、如何发力",要结合后勤工作特色,从领导力、引领力、发展力、凝聚力四个方面探索提升组织力的建设机制与有效路径。 展开更多
关键词 高校后勤 基层党组织 组织力 建设机制 路径
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传统与新型抗精神病药副反应与预后关系的研究 被引量：2
7
作者 付国柱 《世界中医药》 CAS 2015年第A02期1452-1453,共2页
目的探讨传统与新型抗精神病药治疗精神分裂症的疗效以及副作用,比较预后.方法：选取2012年7月至2014年8月在我院治疗的85例精神分裂症患者,随机分为观察组45例（新型抗精神病药物组）与对照组40例（传统药物组）,连续治疗8周为-个疗程... 目的探讨传统与新型抗精神病药治疗精神分裂症的疗效以及副作用,比较预后.方法：选取2012年7月至2014年8月在我院治疗的85例精神分裂症患者,随机分为观察组45例（新型抗精神病药物组）与对照组40例（传统药物组）,连续治疗8周为-个疗程,用阳性和阴性综合征量表（PANSS）,药物副反应量表（ TESS）评定药物副反应,观察患者预后.结果：治疗8周后,两组的阳性症状、阴性症状、精神病例以及总分均显著降低,差异有统计学意义（P〈0.05）,治疗后组间比较,两组 PANSS 各项评分比较,差异均无统计学意义（P 〉0. 05）,观察组的肌紧张、静坐不能、震颤、体质量增加的发生率明显低于对照组,比较差异有统计学意义（P〈0.05）.结论：新型抗精神病药物与传统抗精神病药物疗效相当,新型抗精神病药物不良反应相对少,且患者预后较好,临床使用安全性相对较高. 展开更多
关键词 阿立哌唑 氟哌啶醇 精神分裂症 不良反应
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锡掺杂金红石TiO_2纳米棒的低温快速合成及其光电性能研究
8
作者 付国柱 杨彦秋 +3 位作者 魏刚 乔宁 商哲海 邓利 《北京化工大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期46-50,共5页
采用水热合成法,在较低温度下通过仅引入Sn4+合成了金红石型棒状TiO2纳米晶。X射线衍射仪(XRD)及透射电子显微电镜(TEM)对不同Sn4+掺杂比例粉体的晶型及形貌的分析表明,Sn4+能促进TiO2由颗粒状的锐钛矿相向棒状的金红石型的转变,棒状纳... 采用水热合成法,在较低温度下通过仅引入Sn4+合成了金红石型棒状TiO2纳米晶。X射线衍射仪(XRD)及透射电子显微电镜(TEM)对不同Sn4+掺杂比例粉体的晶型及形貌的分析表明,Sn4+能促进TiO2由颗粒状的锐钛矿相向棒状的金红石型的转变,棒状纳米晶的形成是纳米颗粒沿着(110)晶面发生定向生长的结果,且形貌转变与晶相转变伴随发生。掺杂样品的光电转换性能研究结果表明,薄膜电极的光电转换效率与材料的晶相组分及其形貌之间有一定的关系,掺杂比例达到0.75%以后,样品的晶相组分及形貌不再随掺杂比例的增大而发生变化,进而光电转换效率不再变化。 展开更多
关键词 Sn4+掺杂 低温 晶型转变 形貌转变 染料敏化太阳能电池 光电性能
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利培酮与奋乃静治疗首发偏执型精神分裂症5年随访对照分析 被引量：3
9
作者 付国柱 《现代医药卫生》 2008年第11期1634-1635,共2页
目的:比较利培酮与奋乃静治疗偏执型精神分裂症患者远期社会功能状况。方法:随机抽取符合本文入组条件的偏执型精神分裂症患者。单一利培酮或奋乃静治疗的各15例,出院5年后用社会功能缺陷量表(SDSS)评定,统计采用t检验和χ2检验。结果:... 目的:比较利培酮与奋乃静治疗偏执型精神分裂症患者远期社会功能状况。方法:随机抽取符合本文入组条件的偏执型精神分裂症患者。单一利培酮或奋乃静治疗的各15例,出院5年后用社会功能缺陷量表(SDSS)评定,统计采用t检验和χ2检验。结果:5年后随访时发现,服用利培酮的精神分裂症患者在职业工作、婚姻职能、父母职能和社会退缩等社会功能方面好于奋乃静组。结论:利培酮和奋乃静相比:利培酮远期治疗能较好的改善患者的社会功能,减少患者的慢性衰退。 展开更多
关键词 偏执型精神分裂症 利培酮 奋乃静 社会功能
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草酸艾司西酞普兰与氟西汀治疗老年抑郁症的疗效和安全性比较 被引量：1
10
作者 付国柱 《医疗装备》 2015年第16期96-97,共2页
目的:比较草酸艾司西酞普兰与氟西汀治疗老年抑郁症的疗效和安全性。方法:将60例抑郁症患者随机分为观察组和对照组,每组30例。观察组患者给予草酸艾司西酞普兰治疗,对照组患者给予氟西汀,疗程6周,分别于治疗前、治疗后1周、2周、4周、... 目的:比较草酸艾司西酞普兰与氟西汀治疗老年抑郁症的疗效和安全性。方法:将60例抑郁症患者随机分为观察组和对照组,每组30例。观察组患者给予草酸艾司西酞普兰治疗,对照组患者给予氟西汀,疗程6周,分别于治疗前、治疗后1周、2周、4周、6周采用汉密顿抑郁量表(HAMD)进行疗效评定,使用TESS评定不良反应。结果:两组治疗后各时间点的HAMD均低于治疗前,观察组治疗1周后评分显著下降,但对照组从第2周开始评分才显著下降,治疗结束后,两组HAMD总分比较差异无统计学意义(P>0.05)治疗6周后,观察组总有效率为83.3%,对照组为80.0%,两组总有效率比较差异无统计学意义(P>0.05)。结论:草酸艾司西酞普兰与氟西汀治疗老年抑郁症疗效相当,但草酸艾司西酞普兰起效快,且不良反应较少,老年患者依从性好。 展开更多
关键词 抑郁症 草酸艾司西酞普兰 氟西汀 老年
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帕罗西汀治疗以躯体症状为首发的抑郁症的疗效观察
11
作者 付国柱 《中国医药导报》 CAS 2008年第15期69-69,共1页
目的:探讨帕罗西汀治疗首发以躯体症状为主诉的抑郁症的疗效。方法:21例以躯体症状为主诉的抑郁症患者用帕罗西汀20～40mg/d治疗,共6周,应用汉密尔顿抑郁量表(HAMD)及副反应量表于治疗前及治疗第2、4、6周末各评定1次。结果:帕罗西汀治... 目的:探讨帕罗西汀治疗首发以躯体症状为主诉的抑郁症的疗效。方法:21例以躯体症状为主诉的抑郁症患者用帕罗西汀20～40mg/d治疗,共6周,应用汉密尔顿抑郁量表(HAMD)及副反应量表于治疗前及治疗第2、4、6周末各评定1次。结果:帕罗西汀治疗2、4、6周后HAMD总分与治疗前相比,差异均非常显著,不良反应少。结论:帕罗西汀治疗首发以躯体症状为主诉的抑郁症疗效良好。 展开更多
关键词 帕罗西汀 躯体症状 抑郁症
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激光晶化多晶硅的制备与XRD谱 被引量：17
12
作者 廖燕平 黄金英 +4 位作者 郜峰利 邵喜斌 付国柱 荆海 缪国庆 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期99-102,共4页
对氢化非晶硅(a-Si:H)进行了脱氢和不同能量密度的准分子激光晶化多晶硅的实验,对所得样品用X射线衍射表征.针对多晶硅(111)面特征峰的强度、晶面间距和宽化信息,分析了激光功率密度对晶化多晶硅结晶度和应力的影响,根据谢乐公式(Scherr... 对氢化非晶硅(a-Si:H)进行了脱氢和不同能量密度的准分子激光晶化多晶硅的实验,对所得样品用X射线衍射表征.针对多晶硅(111)面特征峰的强度、晶面间距和宽化信息,分析了激光功率密度对晶化多晶硅结晶度和应力的影响,根据谢乐公式(Scherrer)估算了晶粒的大小,得到用准分子激光晶化多晶硅的较佳工艺参数,并且验证了激光辐射对薄膜材料作用的3种情况. 展开更多
关键词 氢化非晶硅 脱氢 激光晶化 多晶硅 X射线衍射 半宽度 制备 XRD谱 薄膜材料
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纳米TiO_2在涂料中的抗菌性能研究 被引量：105
13
作者 徐瑞芬 许秀艳 付国柱 《北京化工大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2002年第5期45-48,共4页
将实验室自制的抗菌纳米TiO2 添加于苯 丙乳液中 ,制成抗菌涂料。透射电镜测试结果表明 ,表面处理后的抗菌纳米TiO2 在乳液中能够均匀分散 ,可充分发挥纳米TiO2 的杀菌作用。杀菌测试结果表明 ,该抗菌涂料对金黄色葡萄球菌、大肠杆菌... 将实验室自制的抗菌纳米TiO2 添加于苯 丙乳液中 ,制成抗菌涂料。透射电镜测试结果表明 ,表面处理后的抗菌纳米TiO2 在乳液中能够均匀分散 ,可充分发挥纳米TiO2 的杀菌作用。杀菌测试结果表明 ,该抗菌涂料对金黄色葡萄球菌、大肠杆菌、枯草芽孢的杀菌率均达到 99%以上 ,并且它不受光源条件限制 ,抗菌作用彻底、持久。 展开更多
关键词 TIO2 纳米二氧化钛 涂料 抗菌性能 抗菌剂 苯-丙乳液
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纳米二氧化钛在抗菌塑料中的应用性能研究 被引量：80
14
作者 徐瑞芬 许秀艳 付国柱 《塑料》 CAS CSCD 2002年第3期26-29,共4页
利用纳米TiO2 作为无机抗菌剂 ,研制抗菌广谱长效的功能塑料 ,探讨了塑料制品的抗菌长效性、抗菌广谱性和安全稳定性 ,展示出抗菌塑料制品的广阔应用前景。
关键词 纳米二氧化钛 抗菌塑料 应用 性能 纳米TIO2
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透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管的研究进展 被引量：8
15
作者 王中健 王龙彦 +2 位作者 马仙梅 付国柱 荆海 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期210-216,共7页
透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管(TAOS-TFT)以其诸多优势受到研究人员的青睐,最近几年发展迅速。文章以传统薄膜晶体管做对照,详细介绍了TAOS-TFT的原理、结构和性能,总结出TAOS-TFT相对于Si基TFT具有制备温度低、均一性好、迁移率高... 透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管(TAOS-TFT)以其诸多优势受到研究人员的青睐,最近几年发展迅速。文章以传统薄膜晶体管做对照,详细介绍了TAOS-TFT的原理、结构和性能,总结出TAOS-TFT相对于Si基TFT具有制备温度低、均一性好、迁移率高、对可见光全透明和阈值电压低等5方面的优势,指出了TAOS-TFT在进一步实用化过程中所面临的几个重要问题,其中最为重要的是需要尽快建立自身的集约化物理模型。 展开更多
关键词 透明非晶态氧化物半导体 薄膜晶体管 有源矩阵有机发光二极管 有源矩阵电泳显示器 集约化模型
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驱动电子墨水电子纸的柔性TFT背板制造技术 被引量：7
16
作者 杨澍 荆海 +5 位作者 廖燕平 马仙梅 孔祥建 黄霞 付国柱 马凯 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期167-175,共9页
基于电子墨水技术的电子纸是目前最有竞争力的类纸媒显示器。实现电子墨水电子纸的柔性是这项显示技术的关键之一。文章分析了当前电子墨水电子纸的主要研究方向,详细介绍了基于金属柔性基板的TFT制造技术、基于固定塑料基板的以激光释... 基于电子墨水技术的电子纸是目前最有竞争力的类纸媒显示器。实现电子墨水电子纸的柔性是这项显示技术的关键之一。文章分析了当前电子墨水电子纸的主要研究方向,详细介绍了基于金属柔性基板的TFT制造技术、基于固定塑料基板的以激光释放塑基电子工艺(EPLaR)为代表的TFT制造技术、以激光退火表面释放技术(SUFTLA)为代表的TFT转移技术以及有机薄膜晶体管(OTFT)技术等4项柔性TFT背板的主要实现方法。对比了它们的材料选取,工艺特点和器件性能,分析了各项柔性TFT背板工艺的优缺点,提出了改进方向。 展开更多
关键词 电子纸 电子墨水 薄膜晶体管 柔性金属基板 激光释放塑基电子技术 激光退火表面释放技术 有机薄膜晶体管
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导痰汤加减合并小剂量利培酮治疗慢性精神分裂症的临床观察 被引量：10
17
作者 刘景利 马丽 +4 位作者 王勇 黄云生 付国柱 刘峥嵘 苏健民 《中国中西医结合杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期208-210,共3页
目的评价中药导痰汤合并小剂量利培酮和单独使用利培酮治疗痰湿内阻型慢性精神分裂症的临床疗效。方法对住院的65例患者随机分为两组,治疗组(34例)用利培酮每日(3．16±0．73)mg加中药导痰汤加减(常规剂量),每日1剂煎服;对照组(31例... 目的评价中药导痰汤合并小剂量利培酮和单独使用利培酮治疗痰湿内阻型慢性精神分裂症的临床疗效。方法对住院的65例患者随机分为两组,治疗组(34例)用利培酮每日(3．16±0．73)mg加中药导痰汤加减(常规剂量),每日1剂煎服;对照组(31例)单用利培酮每日(5．11±1．27)mg;疗程均为8周。以阳性与阴性症状量表(PANSS)作为主要疗效评价指标,以治疗时出现的症状量表(TESS)评定不良反应。结果两组总体疗效比较差异无显著性,治疗组阴性症状、激活性和一般精神病理方面的改善较对照组明显(P＜0．05),且治疗组药物不良反应出现频率较对照组低,而且轻微。结论中药合并小剂量抗精神病药物不失为治疗慢性精神分裂症的一种有效方法,且减少不良反应。 展开更多
关键词 中药导痰汤加减 利培酮 慢性精神分裂症 阳性与阴性症状量表 不良反应
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驱动AM-OLED的2-a-Si∶H TFT的设计与制作 被引量：4
18
作者 刘金娥 廖燕平 +5 位作者 齐小薇 高文涛 荆海 付国柱 李世伟 邵喜斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期660-667,共8页
a-Si∶H/SiNx∶HTFT在长时间栅偏应力作用下,会产生阈值电压漂移,这主要是由绝缘层电荷注入和有源层亚稳态产生而引起的。针对电荷注入现象,文章首先通过控制源气体SiH4和NH3流量的不同,利用PECVD制作了不同N/Si比(0.87～1.68)的氮化硅... a-Si∶H/SiNx∶HTFT在长时间栅偏应力作用下,会产生阈值电压漂移,这主要是由绝缘层电荷注入和有源层亚稳态产生而引起的。针对电荷注入现象,文章首先通过控制源气体SiH4和NH3流量的不同,利用PECVD制作了不同N/Si比(0.87～1.68)的氮化硅绝缘材料,对其进行了椭偏、红外和光电子散射能谱(EDS)测试。制作了不同的MIS结构电容,对其进行老化实验和C-V测试分析,结果表明稍富氮(N/Si比稍大于标准Si3N4的化学计量比1.33)的氮化硅做成的MIS样品在老化前后C-V曲线偏移不是很明显,表明其缺陷态密度相对较小,能够有效减小半导体/绝缘层界面间的电荷注入。设计了驱动OLED的2-a-Si∶HTFT像素电路及其阵列版图,优化了电路中的几个关键参数,即T1的W/L=2.5、T2的W/L=25和存储电容Cs=0.8pF。运用7PEP生产工艺,制作了13cm(5.2in)的TFT阵列样品。对TFT进行I-V特性测试,其开态电流为10μA,开关比为106;对AMOLED显示屏样品进行了静态驱动下的亮度测试,其最高亮度为341cd/m2。 展开更多
关键词 OLED 阈值电压漂移 N/Si C-V 2-a-Si:H TFT
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a-Si∶H-TFT阈值电压漂移机理及其在驱动OLED显示中的补偿设计 被引量：3
19
作者 刘金娥 廖燕平 +3 位作者 荆海 张志伟 付国柱 邵喜斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期491-496,共6页
分析了a-Si∶H-TFT阈值电压漂移的机理,即分析了栅偏应力下电荷注入到SiNx∶H栅绝缘层和a-Si∶H中亚稳态的产生对TFT阈值电压漂移的影响。根据非晶硅中亚稳态产生的特点,并针对驱动OLED的两管a-Si∶H-TFT像素电路,提出了一种通过对数据... 分析了a-Si∶H-TFT阈值电压漂移的机理,即分析了栅偏应力下电荷注入到SiNx∶H栅绝缘层和a-Si∶H中亚稳态的产生对TFT阈值电压漂移的影响。根据非晶硅中亚稳态产生的特点,并针对驱动OLED的两管a-Si∶H-TFT像素电路,提出了一种通过对数据信号时序的重新设计来补偿阈值电压漂移的方法,即在数据信号间加插一个与数据信号极性相反的补偿信号。通过这种正负交替的信号,使驱动管TFT中由亚稳态造成的阈值电压漂移始终保持在一个动态平衡的过程,来实现驱动OLED电流稳定的目的。 展开更多
关键词 OLED a—Si:H—TFT 阈值电压漂移 电荷注入 亚稳态 补偿方法
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用Cat-CVD方法制备多晶硅薄膜及结构分析 被引量：3
20
作者 张玉 高博 +3 位作者 李世伟 付国柱 高文涛 荆海 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期668-673,共6页
以金属钨为催化热丝,采用热丝催化化学气相沉积,在300℃的玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜。研究了H2稀释率、钨丝与衬底间的距离和反应室气体压力等沉积参数对制备多晶硅薄膜的影响,并通过XRD谱分析,确定了本实验系统的最佳多晶硅成膜条件:FR... 以金属钨为催化热丝,采用热丝催化化学气相沉积,在300℃的玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜。研究了H2稀释率、钨丝与衬底间的距离和反应室气体压力等沉积参数对制备多晶硅薄膜的影响,并通过XRD谱分析,确定了本实验系统的最佳多晶硅成膜条件:FR(SiH4)=5mL/min,FR(H2)=70mL/min,P=50Pa,L衬底与钨丝=7.5cm,T=30min,t衬底=300℃,特征峰在(111)面上。在接触式膜厚仪测量的基础上,计算出薄膜生长速率为0.6nm/s。对最佳成膜条件下制备的多晶硅薄膜进行刻蚀,形成不同的厚度,以便进行逐层分析。采用XRD和SEM方法对不同厚度的薄膜测试发现,随着薄膜厚度的减小,(111)面的XRD特征峰强度逐渐下降,(111)面上的晶粒尺寸基本没有变化,都是50nm左右。根据测试结果分析了薄膜的生长机制,提出了薄膜生长是分步成核,成核后沿(111)面纵向生长的观点。认为反应基元首先随机吸附在衬底上,在H原子的作用下在一些位置上成核,而在其他位置形成非晶相。已形成的晶核逐渐长大并沿(111)面纵向生长;已形成的非晶相也在生长,但上面不断有晶核形成。当薄膜达到一定厚度,非晶相表面完全被晶核占据,整个薄膜表面成为多晶相,此后整个薄膜处于沿(111)面的纵向生长阶段,直至反应结束,完整的晶粒结构呈柱状。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 催化化学气相沉积 沉积参数 逐层分析 分步成核
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