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氧化镓单晶在酸碱条件下的腐蚀坑形貌研究
1
作者 高崇 韦金汕 +5 位作者 欧阳政 何敬晖 王增辉 卜予哲 赛青林 赵鹏 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第12期2186-2195,共10页
氧化镓晶体材料由于其优异的性能以及可以用熔体法生长的优势,在功率器件、光电领域有着巨大的潜力。近年来,国内外众多专家也随之开展对氧化镓单晶材料的研究工作,高质量低缺陷的氧化镓单晶材料对后续的外延、器件的制备极其重要。目前... 氧化镓晶体材料由于其优异的性能以及可以用熔体法生长的优势,在功率器件、光电领域有着巨大的潜力。近年来,国内外众多专家也随之开展对氧化镓单晶材料的研究工作,高质量低缺陷的氧化镓单晶材料对后续的外延、器件的制备极其重要。目前,国际上主流的生长方法是导模法,导模法具有生长周期短、尺寸大及生长稳定等优点,然而在晶体缺陷控制方面还有很大的进步空间。本文围绕氧化镓单晶的腐蚀坑形貌,对导模法生长的氧化镓单晶进行加工制样,进行了不同酸碱条件下的腐蚀实验。详细介绍了观察到的不同腐蚀坑形貌,分析了晶体缺陷对腐蚀坑形貌的影响,对今后氧化镓单晶生长机理和晶体缺陷的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 氧化镓单晶 导模法 缺陷 腐蚀 腐蚀坑形貌 单晶生长
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不同晶粒尺寸对CVD金刚石膜机械性能的影响 被引量：4
2
作者 何敬晖 秦松岩 +3 位作者 玄真武 董长顺 苗雨新 陈磊 《超硬材料工程》 CAS 2009年第5期5-7,共3页
采用热丝辅助化学气相沉积(CVD)工艺制备出纳米、微米及细晶粒金刚石膜材料。观察了这三种金刚石膜的表面形貌并对上述金刚石膜的物理机械性能包括抗弯强度和耐磨性进行了实验性研究。结果表明,细晶粒结构的金刚石膜具有最高的抗弯强度... 采用热丝辅助化学气相沉积(CVD)工艺制备出纳米、微米及细晶粒金刚石膜材料。观察了这三种金刚石膜的表面形貌并对上述金刚石膜的物理机械性能包括抗弯强度和耐磨性进行了实验性研究。结果表明,细晶粒结构的金刚石膜具有最高的抗弯强度,纳米结构的金刚石膜耐磨性最好。综合两个技术指标认为:细晶粒金刚石膜是三种晶粒结构中最佳的刀具制造材料。 展开更多
关键词 CVD金刚石膜 纳米 微米 细晶粒 机械性能
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硅基底上生长金刚石层细晶粒的研究(英文) 被引量：2
3
作者 何敬晖 玄真武 刘尔凯 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期1202-1206,共5页
金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播损耗的降低,本文采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行... 金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播损耗的降低,本文采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行了扫描电镜和拉曼散射谱分析。结果表明:在低气压范围,相同氩气浓度,随着气压的降低,甲烷浓度也要相应降低,能保证金刚石结晶质量。同时,降低气压达到一定值后,金刚石晶粒尺寸变小,经测试可达到纳米级。 展开更多
关键词 金刚石膜 低气压 细晶粒 拉曼光谱
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CVD法制声表面波基片金刚石层细晶粒的生长研究 被引量：1
4
作者 何敬晖 玄真武 刘尔凯 《超硬材料工程》 CAS 2005年第5期9-12,共4页
金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播能量损耗的降低,采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行... 金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播能量损耗的降低,采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行了扫描电镜和拉曼散射光谱分析。结果表明:在低气压范围、相同氩气浓度下,随着气压的降低,甲烷浓度也要相应降低,才能保证类似的金刚石结晶质量。同时,降低气压达到一定值后,金刚石晶粒尺寸变小,经测试可达到纳米级。 展开更多
关键词 金刚石膜 化学气相沉积法 低气压 细晶粒 拉曼分析
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论化学气相沉积(CVD)金刚石技术最新发展 被引量：8
5
作者 王亨瑞 雷亚民 +2 位作者 玄真武 何敬晖 董长顺 《超硬材料工程》 CAS 2010年第1期22-27,30,共7页
描述了国内外化学气相沉积(CVD)金刚石技术研究及产业最新进展,介绍了CVD金刚石的基本生产方法、加工手段、产品类型及应用领域。通过对国内外CVD金刚石技术及产品研究最新进展情况的介绍,指出了我国与世界先进的(CVD)金刚石技术存在的... 描述了国内外化学气相沉积(CVD)金刚石技术研究及产业最新进展,介绍了CVD金刚石的基本生产方法、加工手段、产品类型及应用领域。通过对国内外CVD金刚石技术及产品研究最新进展情况的介绍,指出了我国与世界先进的(CVD)金刚石技术存在的差距,阐述了CVD金刚石市场发展存在的问题并提出改进的建议。 展开更多
关键词 CVD 金刚石 沉积 加工
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金刚石膜的声学特性及其应用 被引量：4
6
作者 雷亚民 王亨瑞 +4 位作者 秦松岩 董长顺 何敬晖 陈磊 玄真武 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期644-650,共7页
金刚石具有最高的声传播速度和极高的杨氏模量,以及优异的机械和化学性能,在声学方面具有广阔的应用前景。本文介绍了金刚石膜的声学特性和在声学方面的一些应用,以及国内外有关研究开发的情况等。
关键词 金刚石膜 声学特性 应用 声表面波器件
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CVD金刚石技术和应用 被引量：3
7
作者 秦松岩 陈磊 +1 位作者 何敬晖 玄真武 《超硬材料工程》 CAS 2012年第1期17-20,共4页
通过大量文献资料和有关网页,叙述了近年来国内外化学气相沉积金刚石的制备、加工和应用技术研究的进展、商业化现状等。文章列举了大量图片和数据,试图展示近几年CVD金刚石有关方面的信息。文章显示,CVD金刚石技术研究和商业开发虽然... 通过大量文献资料和有关网页,叙述了近年来国内外化学气相沉积金刚石的制备、加工和应用技术研究的进展、商业化现状等。文章列举了大量图片和数据,试图展示近几年CVD金刚石有关方面的信息。文章显示,CVD金刚石技术研究和商业开发虽然都取得了长足的进步,但仍然有巨大的发展空间,特别是在传统的金刚石无法涉足的一些高技术应用领域。 展开更多
关键词 CVD金刚石 技术 应用 市场
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CVD金刚石技术和应用(下) 被引量：1
8
作者 秦松岩 陈磊 +1 位作者 何敬晖 玄真武 《超硬材料工程》 CAS 2012年第2期30-34,共5页
通过大量文献资料和有关网页,叙述了近年来国内外化学气相沉积金刚石的制备、加工和应用技术研究的进展、商业化现状等。文章列举了大量图片和数据,试图展示近几年CVD金刚石有关方面的信息。文章显示,CVD金刚石技术研究和商业开发虽然... 通过大量文献资料和有关网页,叙述了近年来国内外化学气相沉积金刚石的制备、加工和应用技术研究的进展、商业化现状等。文章列举了大量图片和数据,试图展示近几年CVD金刚石有关方面的信息。文章显示,CVD金刚石技术研究和商业开发虽然都取得了长足的进步,但仍然有巨大的发展空间,特别是在传统的金刚石无法涉足的一些高技术应用领域。 展开更多
关键词 CVD金刚石 技术 应用 市场
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