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微型机械材料的力学特性测量 被引量：3
1
作者 何日晖 叶雄英 周兆英 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期201-204,共5页
概述了国内外 MEMS材料力学特性的测量原理、方法和特点 ,主要包括弹性模量、残余应力、疲劳特性、破坏强度的测量 ,为微机电系统的设计和制造提供有益的参考。
关键词 微型机械 力学特性 弹性模量 残余应力 疲劳特征 破坏强度
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微型机械材料的残余应力测量
2
作者 何日晖 叶雄英 周兆英 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期29-32,共4页
硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料 ,它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命 ,而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点 ,可供微机电... 硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料 ,它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命 ,而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点 ,可供微机电系统的设计和制造者参考。 展开更多
关键词 微型机械 力学特性 残余应力 薄膜材料
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复合膜机械特性的片上测量
3
作者 朱俊华 叶雄英 +1 位作者 何日晖 周兆英 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期987-989,共3页
结合微型隧道效应磁强计的制作 ,在同一个硅片上制作了与磁强计功能结构相似的两端固支梁结构 ,采用谐振频率法 ,进行复合膜机械特性的测量。通过测量不同长度的梁的谐振频率 ,同时得到复合膜的杨氏模量和残余应力参数。测量结果表明 ,... 结合微型隧道效应磁强计的制作 ,在同一个硅片上制作了与磁强计功能结构相似的两端固支梁结构 ,采用谐振频率法 ,进行复合膜机械特性的测量。通过测量不同长度的梁的谐振频率 ,同时得到复合膜的杨氏模量和残余应力参数。测量结果表明 ,以浓硼硅为主要材料的复合膜的杨氏模量和残余应力分别为 1 2 0 .2 GPa和 - 6 6 .4MPa。 展开更多
关键词 复合膜 片上测量 微机电系统 机械特性 杨氏模量 残余应力 谐振频率 硅微薄膜
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不同镇痛方法用于腹部手术后留置胃管病人的比较
4
作者 陈力 何日晖 李士通 《临床麻醉学杂志》 CAS CSCD 2005年第4期245-246,共2页
目的将病人自控静脉镇痛(PCIA)和自控硬膜外镇痛(PCEA)分别用于腹部手术术后保留胃管病人,观察镇痛和镇静效果及对胃管的耐受性。方法择期行腹部手术术后保留胃管病人90例,随机分为对照组、PCEA组和PCIA组,每组30例。分别记录术后8、24... 目的将病人自控静脉镇痛(PCIA)和自控硬膜外镇痛(PCEA)分别用于腹部手术术后保留胃管病人,观察镇痛和镇静效果及对胃管的耐受性。方法择期行腹部手术术后保留胃管病人90例,随机分为对照组、PCEA组和PCIA组,每组30例。分别记录术后8、24、48h视觉模拟评分(VAS)、镇静评分(RSS)、留置胃管舒适度评分(GTCS)。结果VAS评分在同一时间,PCIA组与PCEA组均小于对照组(P<0.01)。Ramsay镇静评分在同一时间,PCIA组显著大于其他两组(P<0.01)。GTCS评分在同一时间,除术后8h,PCIA组显著小于其他两组(P<0.01)。结论对于留置胃管的术后病人PCIA优于PCEA。 展开更多
关键词 镇痛 腹部手术 留置胃管 病人自控镇痛 静脉内镇痛 硬膜外镇痛
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