矩形平面磁控溅射装置若干参数的探讨 被引量：3

1

作者 关奎之 李云奇 徐成海 《真空与低温》 1996年第2期63-67,共5页

矩形平面磁控溅射装置中存在着诸如磁场、电场、气压、靶材、基片温度及速度、几何结构等参数间的相互影响，并且最终决定了沉积薄膜的性能。为了方便矩形平面磁控溅射装置的设计，就如下参数进行探讨：磁感应强度的设计与计算；电压、... 矩形平面磁控溅射装置中存在着诸如磁场、电场、气压、靶材、基片温度及速度、几何结构等参数间的相互影响，并且最终决定了沉积薄膜的性能。为了方便矩形平面磁控溅射装置的设计，就如下参数进行探讨：磁感应强度的设计与计算；电压、电流和气压的关系；基片温度及速度；膜厚均匀度。 展开更多

关键词 矩形平面 磁控溅射 磁控靶 薄膜 沉积

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旋转式圆柱形磁控溅射靶的磁场计算 被引量：8

2

作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1997年第3期5-11,共7页

类似于矩形平面溅射靶的磁场和旋转式圆柱形的靶筒组成旋转式圆柱形磁控溅射靶。与常规的圆柱形磁控溅射靶相比较，该旋转式靶提高了靶材利用率和膜厚均匀度。本文介绍了旋转式圆柱形靶的结构和磁场计算方法，给出了计算公式、数据及其... 类似于矩形平面溅射靶的磁场和旋转式圆柱形的靶筒组成旋转式圆柱形磁控溅射靶。与常规的圆柱形磁控溅射靶相比较，该旋转式靶提高了靶材利用率和膜厚均匀度。本文介绍了旋转式圆柱形靶的结构和磁场计算方法，给出了计算公式、数据及其特性曲线。强度适度和均匀分布的磁场，保证了溅射靶的工作性能，并为靶结构的设计提供了依据。 展开更多

关键词 磁控溅射靶 磁场 计算 真空镀膜 旋转式

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JGP-600型磁控溅射薄膜沉积装置的研制 被引量：1

3

作者 关奎之 张世伟 +1 位作者 慈连鳌 康虹 《真空》 CAS 北大核心 1997年第1期30-33,共4页

本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子泵真空系统，磁力偶合输送机构及行星转动工作架。测试表明本装置... 本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子泵真空系统，磁力偶合输送机构及行星转动工作架。测试表明本装置是一台先进的半导体工艺设备，７５ｍｍ样品的膜厚均匀度不大于５％。 展开更多

关键词 磁控溅射靶 离子束 清洗 薄膜 半导体

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第七讲 : 真空检漏 被引量：5

4

作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1997年第5期42-44,共3页

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）一、概述１．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这... 第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）一、概述１．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气... 展开更多

关键词 真空检漏 真空技术 讲座

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磁流体真空动密封的质谱检漏

5

作者 关奎之 李云奇 +2 位作者 姜增奎 孙广生 张世伟 《真空》 CAS 北大核心 1991年第4期19-21,31,共4页

漏气率是磁流体真空动密封组件的关键技术指标。本文描述了磁流体真空动密封组件的结构、检漏系统以及氦质谱仪充气检漏方法。文中给出了测试结果。

关键词 磁流体 真空动密封 质谱检漏

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真空冷冻干燥设备的真空测量

6

作者 关奎之 张世伟 +1 位作者 徐成海 李云奇 《真空》 CAS 北大核心 1996年第3期23-26,共4页

本文依据真空冷冻干燥设备中温度对真空测量的影响。

关键词 真空规 真空冷冻干燥 真空低温泵 真空测量

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第七讲 : 真空检漏

7

作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1998年第1期48-50,共3页

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）三、检漏技术（上接１９９７年第６期第４４页）１．各种检漏方法的概况真空检漏就是用适当的方法，迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内，找出漏孔的位置、测定漏率大小，以便进行修补。充... 第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）三、检漏技术（上接１９９７年第６期第４４页）１．各种检漏方法的概况真空检漏就是用适当的方法，迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内，找出漏孔的位置、测定漏率大小，以便进行修补。充压检漏法、真空检漏法和其它检漏法的... 展开更多

关键词 真空检漏 灵敏度 水压法 压降法

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真空镀膜设备的氦质谱仪检漏

8

作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1990年第1期44-48,共5页

真空镀膜技术，目前在国内已经广泛地应用，但是，真空镀膜设备存在着气密性差 的问题。本文论述了真空镀膜设备气密性的特点、氦质谱仪检漏特点及其检漏系统，说 明氦质谱仪检漏是检查真空镀膜设备漏气的最有效的方法。文中还介绍了一... 真空镀膜技术，目前在国内已经广泛地应用，但是，真空镀膜设备存在着气密性差 的问题。本文论述了真空镀膜设备气密性的特点、氦质谱仪检漏特点及其检漏系统，说 明氦质谱仪检漏是检查真空镀膜设备漏气的最有效的方法。文中还介绍了一检漏实例。 展开更多

关键词 真空镀膜设备 氦质谱仪 气密性 检漏

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第七讲 : 真空检漏

9

作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1998年第3期46-47,共2页

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）四、标准漏孔（接１９９８年第２期第４８页）标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指... 第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）四、标准漏孔（接１９９８年第２期第４８页）标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指温度为２９６±３Ｋ、入口压力为１．... 展开更多

关键词 真空检漏 标准漏孔 玻璃毛细管型

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第七讲 : 真空检漏

10

作者 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1997年第6期42-46,共5页

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）二、检漏仪器（接１９９７年第５期第４４页）用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、... 第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）二、检漏仪器（接１９９７年第５期第４４页）用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国... 展开更多

关键词 真空检漏 氦质谱检漏仪 检漏仪器

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真空烧结炉结构的探讨

11

作者 关奎之 李云奇 《真空与低温》 1996年第4期229-231,共3页

在理论分析的基础上，介绍了加热器和隔热屏的结构。

关键词 真空烧结炉 结构

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一种新型干式螺杆真空泵转子端面型线的研究 被引量：9

12

作者 刘春姐 徐成海 +1 位作者 张世伟 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 2003年第6期40-43,共4页

介绍了一种新型的干式螺杆真空泵的转子端面型线———双边对称圆弧型线,给出其端面型线方程。介绍了推导方法及参数计算方法,开发了计算程序并给出实例。

关键词 干式螺杆真空泵 双边对称圆弧型线 端面型线 阳转子 阴转子

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螺杆真空泵单头变螺距螺杆转子型线的研究 被引量：12

13

作者 张世伟 徐成海 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 2002年第2期9-11,共3页

本文介绍了一种用于无油螺杆真空泵的单头变螺距螺杆转子型线 ,给出了型线方程和抽速计算公式 。

关键词 变螺距螺杆 转子型线 螺杆真空泵 单头 型线方程 抽速计算公式

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食品真空冷冻干燥技术的现状及发展前景的探讨 被引量：9

14

作者 徐成海 关奎之 +2 位作者 张世伟 徐光 童建民 《真空》 CAS 北大核心 1996年第4期1-5,共5页

本文综述了真空冷冻干燥技术在食品科学领域中的应用概况和食品用真空冷冻干燥设备的现状。探讨了食品冻干技术今后的发展前景。试图对我国食品冻干技术的发展。

关键词 食品 真空冷冻 干燥

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ZLG-1型人参真空冷冻干燥机的研制 被引量：6

15

作者 徐成海 关奎之 +2 位作者 张世伟 李云奇 张树林 《真空》 CAS 北大核心 1993年第2期40-45,共6页

本文介绍一种专为生产“活性参”而研制的真空冷冻干燥装置。它的主要特点是结构简单，操作方便，性能可靠，成本和运转费用低，实践证明该设备除用于冻干“活性参”外，还可用于山野菜的生产。

关键词 干燥 人参 蒸汽冷凝器 冻结

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低电阻ITO透明导电膜的制备和应用 被引量：6

16

作者 李云奇 关奎之 +2 位作者 徐成海 王宝霞 张世伟 《真空》 CAS 北大核心 1991年第4期55-61,共7页

锡掺杂的铟锡氧化物透明导电膜（简称膜ＩＴＯ）是一种面电阻率低，透光率高，导电性能好的膜层，近年来在国内外发展较快，其制备方法较多。本文就采用磁控溅射法制备ＩＴＯ 膜的设备及成膜过程中的若干工艺问题进行了探讨。

关键词 低电阻 导电膜 磁控溅射 镀膜

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真空冷冻干燥机真空系统特性的研究 被引量：6

17

作者 徐成海 张世伟 +1 位作者 关奎之 陈卓君 《真空》 CAS 北大核心 2000年第6期16-19,共4页

本文阐述了真空冷冻干燥机真空系统的性能参数 ,介绍了能满足冻干要求的几种真空系统 。

关键词 真空系统 真空冷冻干燥机 真空泵 捕水器

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磁控溅射镀膜技术在建材及民用工业中的应用 被引量：2

18

作者 李云奇 徐成海 +5 位作者 关奎之 张世伟 金镛 石丽平 张正洪 李石 《真空》 CAS 北大核心 1994年第2期37-42,共6页

本文扼要阐述了磁控溅射镀膜技术在建材及民用工业中的应用前景及特点，所需设备类型及镀膜过程中应注意的若干问题，并对若干种镀膜玻璃的膜系及镀膜玻璃的性能要求与测试等问题进行了介绍。

关键词 溅射 镀膜 建筑材料 磁控溅射

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真空高压气体淬火中热传递过程的数学计算 被引量：2

19

作者 张世伟 李云奇 +1 位作者 王宝霞 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 1991年第6期15-22,共8页

本文定量分析了高压气淬工艺中充气冷却淬火阶段的热传递过程．首先建立了淬火炉传热模型，研究了气体循环冷却时的传热规律；其次计算了急冷过程中标准形状工件的热传递及温度变化的数学规律；最后举例说明了热传递计算的实际应用。

关键词 高压气淬 传热 数学计算 热处理

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角膜真空冷冻干燥实验的传热传质分析 被引量：1

20

作者 徐成海 邹惠芬 +2 位作者 张世伟 关奎之 陈晓隆 《真空》 CAS 北大核心 2001年第5期13-17,共5页

为保持角膜在真空冷冻干燥 (以下简称冻干 )过程中的活性 ,减少其内皮细胞的损伤 ,本文分析了冻干实验中前处理、预冻、干燥和复水检测等过程中 ,传热传质规律对角膜内皮细胞造成损伤的原因 ,在改进工艺参数的基础上 ,成功的冻干了合格... 为保持角膜在真空冷冻干燥 (以下简称冻干 )过程中的活性 ,减少其内皮细胞的损伤 ,本文分析了冻干实验中前处理、预冻、干燥和复水检测等过程中 ,传热传质规律对角膜内皮细胞造成损伤的原因 ,在改进工艺参数的基础上 ,成功的冻干了合格的角膜。 展开更多

关键词 角膜 冻干 传热 传质 真空冷冻干燥 内皮细胞 损伤 角膜移植 复水过程

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