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题名一种新型投影曝光调焦方法
被引量：1
- 1
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作者
冉坐
周金运
雷亮
周亚梅
邓亚飞
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机构
广东工业大学物理与光电工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期430-435,共6页
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基金
国家自然科学基金(60977029)
国家自然科学基金青年基金(61107029)
广东工业大学重大项目培育专项(092010)
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文摘
为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量。
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关键词
投影光刻
Zemax光学设计软件
调制传递函数
离焦
调焦
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Keywords
projection lithography
Zemax optical design software
modulation transfer function
defocusing
zooming
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
O439
[机械工程—光学工程]
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题名应用于光刻领域中的固态紫外激光源的制作
被引量：1
- 2
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作者
雷亮
李凡
林清华
周金运
冉坐
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机构
广东工业大学物理与光电工程学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1019-1022,共4页
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基金
国家自然科学基金(No.61107029
No.60977029)
+3 种基金
广东省自然科学基金(No.07001789)
广东省科技计划项目(No.2007B010400071)
广东省创新实验项目(1184510158
HSZJ2011089)资助
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文摘
以半导体侧泵钇铝石榴石激光器为泵浦源,采用腔内泵浦两块三硼酸铯晶体,产生满足高功率与高光束质量要求的三倍频355nm紫外激光.通过使用法拉第旋转器谐振腔优化设计与热效应补偿提高输出光的光束质量,并且使用体光栅作为输出镜,在实现线宽窄化同时保持准相位匹配的高效性能.该光刻用紫外激光源成功地替代准分子激光器,使用在一套大面积亚纳米级投影式光刻系统上,工作时紫外光输出功率为4.37W,光束质量因子为2.27.
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关键词
半导体工业
光刻技术
三硼酸铯晶体
紫外激光
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Keywords
Semiconductor industry
Lithography technology
CBO crystal
Ultraviolet laser
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分类号
TN2
[电子电信—物理电子学]
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题名新型大面积PCB光刻投影物镜设计
被引量：3
- 3
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作者
邓亚飞
周金运
雷亮
冉坐
周亚梅
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机构
广东工业大学物理与光电工程学院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期100-104,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60977029)
国家自然科学基金青年基金(61107029)
广东工业大学重大项目培育专项(092010)
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文摘
针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构,放大倍率为-1,数值孔径NA=0.06,单次曝光面积Φ=80mm,具有优于7μm的分辨力和120μm的焦深。通过对该镜头进行公差分析,表明最紧公差为部分元件倾斜要小于0.017°。用MonteCarlo方法模拟了制造50组镜头的成像质量,得到在空间频率72line/mm处,90%的镜头的MTF>0.58,因此加工装配时能保证90%以上的成品率。
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关键词
光刻
投影物镜
印制电路板(PCB)
ZEMAX光学设计
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Keywords
lithography
projection objective lens
printed circuit board （PCB）
ZEMAX optical design
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名针对车载抬头显示器阳光倒灌的检测设计
- 4
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作者
王旭
蒋世磊
陈晓伟
王波
冉坐
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机构
西安工业大学光电工程学院
惠州市华阳多媒体电子有限公司
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期418-423,共6页
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文摘
设计完成了一款具有特定结构的光阑,光阑孔径深度设计为15mm,光阑孔径张角设计为左右张角各为10°,上方张角设计为6.5°,下方张角设计为3°,光阑安装在一级反射镜后,光阑中心线与对应主光线重合,同时采用双光电传感器与多温度传感器作为信号探测器接收信号幅值。通过特定孔径深度、张角等结构设计的光阑使得边界内、外幅值区分明显且幅值成正态分布,结合传感器的使用将光照强度及像源面温度以数值显示,便于检测标定。这检测设计光阑体积小、检测效果明显、成本低,通过光阑与传感器的逻辑配合使用,可以用于车载抬头显示器阳光倒灌的检测,对车载抬头显示器行业起到一定借鉴作用。
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关键词
应用光学
抬头显示器
阳光倒灌
光阑
传感器
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Keywords
applied optics
head-up display
sunlight backflow
diaphragm
sensor
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分类号
TB133
[机械工程—光学工程]
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题名调制因子对拉曼-纳斯声光衍射的影响
被引量：1
- 5
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作者
周亚梅
周金运
雷亮
冉坐
邓亚飞
林清华
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机构
广东工业大学物理与光电工程学院
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第5期640-642,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60977029
61107029)
广东工业大学重大项目培育专项基金资助项目(092010)
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文摘
通过建立拉曼-纳斯衍射模型,运用数值模拟法,获得了拉曼-纳斯声光衍射的各级光强分布规律。表明调制因子对拉曼-纳斯衍射现象的产生有重大作用,且随着调制因子的增加,各衍射级的光强相对系数变化明显,且各级衍射光强变得匀滑。同时进行了相应的实验测试,实验结果与理论分析一致。
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关键词
声光作用
拉曼-纳斯衍射
衍射光强
调制因子
声光器件
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Keywords
acoustooptic effect
Raman-Nath diffraction
diffraction light intensity
modulation factor
acous-tooptic device
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分类号
O426.3
[理学—声学]
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