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多靶双室磁控溅射机的研制
1
作者 凌裕农 《真空》 CAS 北大核心 1998年第6期44-47,共4页
根据淀积高科技术课题所需的铂薄膜及淀积各种其它金属、合金和绝缘体薄膜的需要，提出了研制有良好均匀性、低沾污及有较好通用性的研究型磁控溅射设备的具体设计要求。在考虑了整个真空机组适当配置的基础上，对真空获得的抽速要求进... 根据淀积高科技术课题所需的铂薄膜及淀积各种其它金属、合金和绝缘体薄膜的需要，提出了研制有良好均匀性、低沾污及有较好通用性的研究型磁控溅射设备的具体设计要求。在考虑了整个真空机组适当配置的基础上，对真空获得的抽速要求进行了设计计算。所研制设备的真空性能很好地达到了设计指标（最近国内有单位欲引进国外同类产品，所以将当年的研究情况作简单介绍）。 展开更多
关键词 磁控溅射设备 真空 抽速计算 薄膜制备
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32×64元硅化铂肖特基势垒红外焦平面列阵的物理设计
2
作者 凌裕农 《高速摄影与光子学》 CSCD 1990年第4期337-342,共6页
本文介绍了国内首见报导的32×64元硅化铂肖特基势垒红外焦平面的物理设计方法。作者从计算探测目标的辐射能量出发,综合考虑了器件的结构、材料和工艺参数,电参数,光学系统参数和响应率的非均匀性,以信嗓比作为焦平面的品质因数进... 本文介绍了国内首见报导的32×64元硅化铂肖特基势垒红外焦平面的物理设计方法。作者从计算探测目标的辐射能量出发,综合考虑了器件的结构、材料和工艺参数,电参数,光学系统参数和响应率的非均匀性,以信嗓比作为焦平面的品质因数进行了性能优化计算。根据系统参数和现有工艺条件,预计焦平面对室温景物成象的温度分辨率优于1°K,这同器件的热象测试结果符合得相当好。 展开更多
关键词 硅化铂 肖特基势垒 红外焦平面
原文传递
PtSi肖脱基势垒红外焦平面光腔结构的研究
3
作者 冯志华 董建民 +2 位作者 凌裕农 吴作良 沈重辉 《红外研究》 CSCD 北大核心 1989年第3期231-236,共6页
重点介绍PtSi肖脱基势垒红外焦平面光腔的介质生长技术及介质的折射率和介质层厚度对PtSi肖脱基势垒探测器性能的影响,发现适当的合金条件和减薄PtSi层厚度有利于提高探测器的量子效率,背面增加抗反射层能减少红外辐射在入射界面的能量... 重点介绍PtSi肖脱基势垒红外焦平面光腔的介质生长技术及介质的折射率和介质层厚度对PtSi肖脱基势垒探测器性能的影响,发现适当的合金条件和减薄PtSi层厚度有利于提高探测器的量子效率,背面增加抗反射层能减少红外辐射在入射界面的能量损失. 展开更多
关键词 红外控测器 铂 焦平机 光腔结构 硅
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热释电红外焦平面初探 被引量：1
4
作者 凌裕农 廖应良 +1 位作者 胡碧波 陈正宇 《红外技术》 CSCD 1995年第3期9-12,13,共5页
热释电焦平面是一种非致冷型红外焦平面。本文简述其特点、应用和发展史，介绍了器件的工作原理，从设计角度对电荷注入结构和信号读出技术等作了一些实际考虑，提出了研制中必须密切注意的若于关键性技术问题。
关键词 热释电 红外焦平面 红外光学器件
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