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题名无掩膜光刻图形的数据提取技术
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作者
刘丹玥
侯文玫
许琦欣
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机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
上海微电子装备有限公司
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出处
《信息技术》
2015年第5期212-214,共3页
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文摘
由于掩膜的成本在整个光刻成本中所占的份额不断攀升,所以降低掩膜的成本,甚至发展到不需要昂贵的掩膜的无掩膜光刻技术已经成为了关键。掩膜的图形格式如DXF和GDSII无法直接用于无掩膜光刻机,需要对掩膜图形数据进行提取。了解DXF格式的掩膜图形特点,编写算法对掩膜图形信息进行提取和解析,并通过MATLAB仿真验证读入图形的正确性。
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关键词
无掩膜光刻
MATLAB
DXF文件
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Keywords
maskless lithography
MATLAB
DXF file
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名软覆盖熵及其在多属性群决策中的应用
被引量：1
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作者
吴家明
黄哲煌
李进金
刘丹玥
吴哲
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机构
华侨大学数学科学学院
闽南师范大学数学与统计学院
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出处
《模式识别与人工智能》
CSCD
北大核心
2021年第6期541-551,共11页
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基金
国家自然科学基金项目(No.11871259)
福建省自然科学基金项目(No.2020J02043,2017J01114)资助。
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文摘
结合软覆盖与信息熵,提出软覆盖信息熵.定义软覆盖信息熵、软覆盖联合熵、软覆盖条件熵,并研究这些熵之间的关系及它们的重要性质.最后给出两种基于软覆盖条件熵的多属性群决策的算法,举例说明这两种算法的结果具有一致性.
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关键词
软覆盖
信息熵
条件熵
多属性群决策
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Keywords
Soft Covering
Information Entropy
Conditional Entropy
Multi-attribute Group Decision-Making
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分类号
TP301
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名σ优劣关系熵及其在多属性决策的应用
被引量：1
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作者
吴家明
黄哲煌
李进金
刘丹玥
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机构
华侨大学数学科学学院
闽南师范大学数学与统计学院
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出处
《控制与决策》
EI
CSCD
北大核心
2024年第2期613-624,共12页
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基金
国家自然科学基金项目(12271191,11871259)
福建省自然科学基金项目(2017J01114,2022J01306)
华侨大学高层次人才项目(16BS814)。
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文摘
目前大多数的模糊关系熵是由一般的模糊二元关系构造,无法有效地对具有优劣顺序的模糊关系族进行评估,这限制了它们在多属性决策的应用.为此,提出一种新的优劣关系熵.首先,研究一种参数化的模糊优劣关系用于表征样本间的差异,进而探讨几种σ优劣关系的模糊类;然后,在此基础上提出一种新的σ优劣关系熵,并介绍其一些衍生熵,如σ优劣关系条件熵、σ优劣关系联合熵和σ优劣关系互信息,探讨它们间的关系以及一些重要性质;最后,给出2种基于σ优劣关系熵的多属性决策方法,并通过数据实例验证所提出方法的有效性和可行性.比较和敏感性分析表明,所提出方法与一些经典多属性决策方法的排序结果具有高度一致性.特别地,在多专家评判环境下,所提出方法具有更广泛的适用性.
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关键词
优势关系
粗糙集
模糊集
信息熵
多属性决策
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Keywords
dominance relation
rough sets
fuzzy sets
information entropy
multi-attribute decision making
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分类号
TP301
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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