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纳米操作加工过程定位检测问题研究
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作者 区仲荣 傅惠南 夏继盛 《机电工程技术》 2006年第9期30-32,共3页
微纳米操作、加工、检测和控制在各个领域获得广泛的研究和应用,在微纳米层次上进行原位、定位的操作、检测、加工是经常遇到的问题。扫描探针显微镜技术(Scanningprobemicroscope,SPM)提供强有力的工具,人们利用其不同类型的针尖与相... 微纳米操作、加工、检测和控制在各个领域获得广泛的研究和应用,在微纳米层次上进行原位、定位的操作、检测、加工是经常遇到的问题。扫描探针显微镜技术(Scanningprobemicroscope,SPM)提供强有力的工具,人们利用其不同类型的针尖与相应样品表面产生的化学或物理作用达到目的。但扫描探针显微镜针尖同时用于检测、加工和成像,会因为针尖磨损、状态的改变,影响检测信息的准确性、可靠性,直接影响结果的判定。本文提出一种在微操作加工过程的定位检测技术,即操作过程工具和探针承担不同任务,工具负责加工操作,探针用于检测并定位于操作加工位置,进行了实验并分析讨论定位过程相关问题。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 检测 纳米操作 定位
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SPM探针制造技术的研究和发展 被引量:6
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作者 傅惠南 王宏霞 +1 位作者 王晓红 区仲荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第6期622-628,共7页
探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表... 探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响。本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖
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扫描探针制备技术的研究现状及发展 被引量:3
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作者 傅惠南 王宏霞 区仲荣 《微纳电子技术》 CAS 2005年第5期237-243,共7页
探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这些方面反映探针制备技术正朝着... 探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这些方面反映探针制备技术正朝着尖锐化、多样化、功能化和组合方向发展。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖
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SPM探针制备的新进展 被引量:5
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作者 王宏霞 傅惠南 区仲荣 《新技术新工艺》 2005年第2期49-51,共3页
扫描探针显微技术应用越来越广泛 ,其探针制备技术也不断得到开发。从探针结构的改进和探针功能的扩展等方面对近几年来探针制备技术的相关发展进行了阐述 ,探讨了 SPM技术的拓展和新应用 ,同时也讨论各种制备方法的特点和适用条件。
关键词 探针制备 新进展 显微技术 SPM 制备方法 改进 拓展 发展 扩展 开发
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注射压缩成型技术在塑料光学透镜生产中的应用 被引量:6
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作者 陈燕春 何文翰 区仲荣 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第2期159-161,共3页
研究和开发了实现注射压缩的结构,并做相关实验考察该结构是否能够达到设计和制造的要求以及满足实际生产需要。
关键词 高精度塑料光学透镜 面型精度 模芯压缩机构 注射压缩成型技术
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满足光学镜片较高光轴同轴度要求的模具结构设计 被引量:1
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作者 陈燕春 何文翰 区仲荣 《机床与液压》 北大核心 2012年第7期120-122,共3页
光学镜片对光轴的同轴度要求高,对模具的定位精度提出严格的要求。但一般来说,模具由于温差而存在金属膨胀问题,难以满足光学镜片光轴同轴度的高要求。如何在常温和高温的转换中保证模具的定位精度,对光学镜片的注塑成型生产工艺来说是... 光学镜片对光轴的同轴度要求高,对模具的定位精度提出严格的要求。但一般来说,模具由于温差而存在金属膨胀问题,难以满足光学镜片光轴同轴度的高要求。如何在常温和高温的转换中保证模具的定位精度,对光学镜片的注塑成型生产工艺来说是一个挑战。针对如何满足数码相机塑料非球面透镜较高的光轴同轴度要求,进行模具结构设计与实验,以指导实际生产,提高制品的质量和成品率。 展开更多
关键词 光轴同轴度 定位精度 模具温度 模具结构
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中小尺寸超薄导光板的射出压缩成型技术 被引量:4
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作者 区仲荣 何文瀚 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2011年第4期120-121,125,共3页
介绍可应用于超薄导光板生产的射出压缩成型技术,能有效提高超薄导光板的品质,降低成型周期、成本和交货期,具有品质与成本上明显的市场竞争优势。
关键词 超薄导光板 射出压缩 翘曲变形 残余内应力
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浇注系统对高精度光学塑料透镜成型工艺的影响
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作者 陈燕春 何文瀚 区仲荣 《模具工业》 2011年第12期48-51,共4页
针对高精度非球面光学塑料透镜模具中的浇注系统进行设计和试验,探讨了模具结构和成型工艺的关系,并以此指导实际生产,提高制品的质量和成品率。
关键词 非球面塑料透镜 模具结构 浇注系统设计 成型工艺
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