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等离子体低温刻蚀单晶硅高深宽比结构 被引量:15
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作者 卢德江 蒋庄德 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期25-30,共6页
等离子体低温刻蚀是一种针对高深宽比结构的干法刻蚀技术。本文在低温刻蚀单晶硅样品时得到典型的刻蚀结果为:各向异性值>0.99,硅刻蚀速率>1.5μm/min,对SiO2刻蚀选择比>75,说明该刻蚀方法很具竞争力。通过对载片台温度、反应... 等离子体低温刻蚀是一种针对高深宽比结构的干法刻蚀技术。本文在低温刻蚀单晶硅样品时得到典型的刻蚀结果为:各向异性值>0.99,硅刻蚀速率>1.5μm/min,对SiO2刻蚀选择比>75,说明该刻蚀方法很具竞争力。通过对载片台温度、反应气体配比、腔体气压和ICP线圈功率等工艺参数的系列实验分析,证明低温刻蚀高深宽比硅微结构必需一定的低温和氧,同时揭示出低温刻蚀过程的主要控制因素是离子轰击而非刻蚀表面的化学反应。本文还对刻蚀过程中刻蚀滞后和凹蚀现象的产生机理进行了分析讨论,指出介电质掩蔽层的充放电效应导致了凹蚀,而刻蚀滞后的诱因则与通常的刻蚀情况不同,主要是台阶对离子轰击的覆盖效应。 展开更多
关键词 低温刻蚀 微机电系统 深宽比 刻蚀滞后
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微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量 被引量:5
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作者 蒋庄德 卢德江 +1 位作者 王小斌 陈伟 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期55-58,共4页
为实现对硅微机械与光纤组合式阵列传感器的核心敏感元件———微型硅梁的杨氏模量和内应力进行测试 ,提出了利用光纤耦合机理来测量微型硅梁的横向固有振动频率 ,进而推导梁构件杨氏模量和内应力的方法 ,原理简洁 ,具体实现也较为可行 ... 为实现对硅微机械与光纤组合式阵列传感器的核心敏感元件———微型硅梁的杨氏模量和内应力进行测试 ,提出了利用光纤耦合机理来测量微型硅梁的横向固有振动频率 ,进而推导梁构件杨氏模量和内应力的方法 ,原理简洁 ,具体实现也较为可行 ,从而为机械构件的机械性能测试分析提供了方法 ,具有实用意义 . 展开更多
关键词 杨氏模量 内应力 微型硅梁 MEMS 固有频率法
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基于三维特征的微机电系统器件结构设计方法 被引量:1
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作者 张长富 蒋庄德 +2 位作者 卢德江 任泰安 王久洪 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期571-575,共5页
提出了一种表面硅微器件结构设计方法,解决了目前微机电系统(MEMS)结构设计中直观性差、工艺难度大等问题.该方法将三维特征建模的设计思想运用到MEMS设计中,在建立三维特征库的基础上实现了器件结构的快速直观设计.通过三维设计软件S... 提出了一种表面硅微器件结构设计方法,解决了目前微机电系统(MEMS)结构设计中直观性差、工艺难度大等问题.该方法将三维特征建模的设计思想运用到MEMS设计中,在建立三维特征库的基础上实现了器件结构的快速直观设计.通过三维设计软件SolidWorks的用户接口开发的应用程序不仅实现了从器件结构中自动提取掩膜版和工艺流程,而且消除了人工设计掩膜版和工艺流程的繁琐过程.应用实例表明,与传统的通过掩膜版设计MEMS器件结构的方法相比,该方法简洁、高效,更符合设计者所看即所得的思维方式.同时,SolidWorks软件作为开发MEMS辅助设计工具的基础平台,可以省去开发几何造型模块的任务,从而为新一代MEMS辅助设计工具的开发提供了新的思路. 展开更多
关键词 三维特征 微机电系统 SOLIDWORKS
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平行平板微型槽间气体的滑移流动 被引量:2
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作者 韦学勇 卢德江 蒋庄德 《微纳电子技术》 CAS 2005年第3期129-132,共4页
对平行平板微型槽中气体滑移流动的压强分布特性进行了研究。将压强和气体平均分子自由程的关系引入到一阶速度滑移边界条件中,求解Navier-Stokes方程,得到了显式的压强分布表达式。模拟计算结果表明,平行平板间滑移流动的气体压强分布... 对平行平板微型槽中气体滑移流动的压强分布特性进行了研究。将压强和气体平均分子自由程的关系引入到一阶速度滑移边界条件中,求解Navier-Stokes方程,得到了显式的压强分布表达式。模拟计算结果表明,平行平板间滑移流动的气体压强分布曲线是上凸的下降抛物曲线。在边界滑移条件下,分析了平行平板微型槽在应用中由于微型槽中压力分布变化形成的气体阻尼问题,分析结果表明无滑移边界条件在微尺度流动分析中不再适用。 展开更多
关键词 滑移流动 平均自由程 压强分布 气体阻尼
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微型旋转冲压发动机设计与分析 被引量:1
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作者 蒋庄德 王久洪 卢德江 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期20-25,共6页
针对微型动力机电系统(Power micro electromechanical systems,Power MEMS)研究中出现的发动机结构匮乏问题,引入旋转冲压概念,提出微型旋转冲压发动机方案;通过对MIT微型涡轮发动机结构与原理分析,提出离心旋转冲压发动机与向心旋转... 针对微型动力机电系统(Power micro electromechanical systems,Power MEMS)研究中出现的发动机结构匮乏问题,引入旋转冲压概念,提出微型旋转冲压发动机方案;通过对MIT微型涡轮发动机结构与原理分析,提出离心旋转冲压发动机与向心旋转冲压式发动机结构。通过对半径为5 mm的冲压转子内部气流的冷态模拟计算表明,向心旋转冲压转子在边缘线速度510 m/s情况下,最大可以实现3.6 MPa左右的冲压能力,初步达到冲压发动机运转要求。此时其切向喷口的气流相对速度约为630 m/s,满足微型发动机轴功率的输出要求。流体速度场模拟结果表明,转子内部的气流相对速度小于60 m/s,轴向速度为几米到十几米每秒,有利于组织燃烧与保证驻留时间。最后阐明了转子圆周速度,燃气最高温度,转子尺寸对发动机性能的综合影响规律。 展开更多
关键词 微型动力机电系统 微型发动机 旋转冲压发动机
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表面硅微器件中掩膜和工艺流程的自动生成方法
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作者 张长富 任泰安 +1 位作者 卢德江 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1031-1035,共5页
为消除目前手工设计掩膜和工艺流程的繁琐过程,提出了一种从表面硅微器件的三维结构模型自动生成掩膜和工艺流程的方法.该方法将三维器件模型作为输入,根据其组成特征的几何信息和材料信息识别出基底层、结构层、牺牲层和金属层等所有... 为消除目前手工设计掩膜和工艺流程的繁琐过程,提出了一种从表面硅微器件的三维结构模型自动生成掩膜和工艺流程的方法.该方法将三维器件模型作为输入,根据其组成特征的几何信息和材料信息识别出基底层、结构层、牺牲层和金属层等所有工艺层,再根据工艺层的结构特点和材料信息自动生成掩膜和工艺流程,并利用SolidWorks软件用户接口开发的应用程序验证了方法的可行性.应用实例表明,该方法不仅可以使设计者专注于器件结构本身的设计,而且易于实现掩膜和工艺流程的自动化生成,比传统的手工设计方法更加直观、高效,为相应的设计工具开发提供了理论分析和实验验证. 展开更多
关键词 表面硅微器件 掩膜 工艺流程 生成方法
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微小空间点火装置的设计(英文)
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作者 王琛英 卢德江 +2 位作者 杨树明 林启敬 蒋庄德 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第1期10-13,共4页
针对微内燃机燃烧室的尺寸特征和点火形式,对微小空间点火实验装置进行了研究,设计并制作了微小空间内的放电点火装置.设计的硅微燃烧室的尺寸为1 mm×1 mm×1 mm、3 mm×3 mm×1 mm和9 mm×9 mm×1 mm;点火电... 针对微内燃机燃烧室的尺寸特征和点火形式,对微小空间点火实验装置进行了研究,设计并制作了微小空间内的放电点火装置.设计的硅微燃烧室的尺寸为1 mm×1 mm×1 mm、3 mm×3 mm×1 mm和9 mm×9 mm×1 mm;点火电极位于燃烧室腔体中央,电极间隙在10~100μm;电极材料为金.本文为微小空间放电点火特性实验研究提供了一种通用装置,也为以微型内燃机为代表的便携式微型高能电源组的微型化和实用化提供了技术支持. 展开更多
关键词 点火 放电间隙 微内燃机
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关于高校信息化建设与数字化校园的探讨 被引量:1
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作者 卢德江 《数字技术与应用》 2015年第10期214-214,共1页
信息时代的来临对于各个行业都提出了更高的发展要求,教育行业也是如此。目前我国各大高校都在向着信息化、数字化、智能化向前发展,根据自身的实际需要引进先进的数字信息技术,进而有效提升教学质量,强化管理,为社会培养更加优秀的高... 信息时代的来临对于各个行业都提出了更高的发展要求,教育行业也是如此。目前我国各大高校都在向着信息化、数字化、智能化向前发展,根据自身的实际需要引进先进的数字信息技术,进而有效提升教学质量,强化管理,为社会培养更加优秀的高素质人才。本文主要对我国高校的信息化建设现状展开探讨,对未来的数字化校园建设提出几点建议。 展开更多
关键词 高校 信息化 数字化
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基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管MEMS微力传感器
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作者 高文迪 乔智霞 +10 位作者 韩香广 王小章 Adnan Shakoor 刘存朗 卢德江 杨萍 赵立波 王永录 王久洪 蒋庄德 孙东 《Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第2期61-74,M0004,共15页
本文介绍了一种基于横向可移动栅极场效应晶体管(LMGFET)的新型微型力传感器的开发。提出了一种精确的电气模型,用于小型LMGFET器件的性能评估,与以前的模型相比,其精度有所提高。采用了一种新型三明治结构,该结构由一个金交叉解耦栅阵... 本文介绍了一种基于横向可移动栅极场效应晶体管(LMGFET)的新型微型力传感器的开发。提出了一种精确的电气模型,用于小型LMGFET器件的性能评估,与以前的模型相比,其精度有所提高。采用了一种新型三明治结构,该结构由一个金交叉解耦栅阵列层和两个软光阻层SU-8组成。通过所提出的双差分传感结构,LMGFET横向工作在垂直干扰下的输出电流被大大消除,所提出传感器的相对输出误差从4.53%(传统差分结构)降低到0.01%。提出了一种实用的传感器制造工艺,并对其进行了模拟。基于LMGFET的力传感器的灵敏度为4.65μA·nN^(-1),可与垂直可移动栅极场效应晶体管(VMGFET)器件相媲美,但非线性度提高了0.78%,测量范围扩大了±5.10μN。这些分析为LMGFET器件的电气和结构参数提供了全面的设计优化,并证明了所提出的传感器在生物医学显微操作应用中具有良好的力传感潜力。 展开更多
关键词 力传感器 场效应晶体管 横向运动 三明治结构 电气模型 显微操作 非线性度 双差分
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PES的故障处理
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作者 李晓堂 卢德江 张巍 《黑龙江气象》 2000年第4期37-38,共2页
介绍了卫星数据地面站 (PES)出现故障的为数极少的个例。提出了判断故障的途径。解决故障的办法是查阅PES5 0 0 0的相关资料 ,遵循先简后繁、由表及里。
关键词 故障 卫星数据地面站 PES5000型机器 接收机
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