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题名有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用
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作者
郝永平
卢继奎
杨芳
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机构
沈阳理工大学CAO／CAM技术研究与开发中心
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2010年第2期83-87,共5页
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文摘
针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值,引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时,封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明,温度和冲击作用于压阻式传感器封装结构对传感器的性能影响很小,均在万分之一数量级,与前人的试验结果吻合。
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关键词
MEMS
Coventor
WARE
温度
冲击
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Keywords
MEMS
Coventor Ware
temperature
impact
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分类号
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名压电式驱动器参数优化设计
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作者
卢继奎
郝永平
许伟
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机构
沈阳理工大学CAD\CAM技术研究与开发中心
沈阳矿山机械集团公司
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出处
《机械工程师》
2009年第11期66-67,共2页
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文摘
根据压电效应理论设计出压电式驱动器。驱动器中悬臂梁的宽度、长度以及压电材料与非压电材料的厚度比例对驱动器的输出位移有很大影响。利用MEMS专业有限元分析软件Conventor Ware,对压电式驱动器的各项参数进行分析,并对结构进行优化。
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关键词
压电效应
参数
优化
Conventor
WARE
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Keywords
piezoelectric effect
parameters
optimization
conventor ware
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分类号
TH822
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名喷胶工艺中光刻胶热应力分析
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作者
卢继奎
谷德君
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机构
沈阳芯源微电子设备有限公司
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出处
《机械工程师》
2012年第2期84-85,共2页
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文摘
针对TSV工艺中喷胶工艺因晶圆与光刻胶的膨胀系数不同而产生的应力分布不均的情况,对喷胶后光刻胶的应力分布进行了分析,并采用有限元分析软件ANSYS中的热应力分析单元对可实现同种工艺膜厚的三种不同配方喷涂的效果进行模拟分析。三组分析数据对比发现,通过对喷胶工艺的参数控制,采取最优的工艺参数,当光刻胶稀释比例为1∶12、光刻胶流量为2.2mL/min和喷嘴的移动速度为120mm/s时,取得的胶膜应力分布最为均匀。
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关键词
TSV
喷胶工艺
有限元分析
热应力
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分类号
TP391.7
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名显影单元腔室内流场结构分析与优化
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作者
尹宁
胡延兵
卢继奎
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机构
沈阳芯源微电子设备有限公司
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出处
《机械工程师》
2014年第7期131-133,共3页
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基金
国家科技重大专项(2012ZX02102-006)
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文摘
匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成Down Flow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染。由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态。文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。
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关键词
温湿度控制器
FILTER
CUP
DOWN
FLOW
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Keywords
THS
FILTER
CUP
DOWN FLOW
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分类号
TP391.7
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名晶片传递手指优化设计
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作者
谷德君
张浩渊
卢继奎
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机构
沈阳芯源微电子设备有限公司
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出处
《装备制造技术》
2011年第11期46-47,66,共3页
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文摘
通过使用ANSYS软件的优化模块,对机器人常见的Y型手指结构进行优化,结果有效地减少了手指端部的下挠度,降低了手指下挠在示教阶段产生的不良影响。
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关键词
传递手指
优化设计
APDL
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Keywords
robot finger
optimal design
APDL
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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