新型陶瓷材料Ti_3SiC_2制备技术的研究进展 被引量：9

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作者 向其军 刘咏 刘伯威 《粉末冶金技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期301-305,共5页

Ti3SiC2兼有金属和陶瓷的许多优异性能。因此,Ti3SiC2在作为高温结构材料、自润滑材料以及电极材料等方面具有十分广阔的应用前景。本文重点介绍了Ti3SiC2的各种制备技术,并指出了各自的应用特点和存在的主要问题以及未来的研究方向。

关键词 TI3SIC2 制备技术 陶瓷材料 新型陶瓷材料 高温结构材料 自润滑材料 电极材料 应用

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磷酸钙骨水泥/聚乳酸-聚羟基乙酸复合材料的制备及性能 被引量：5

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作者 向其军 刘咏 +3 位作者 郑治 苏哲安 王剑龙 肖飞 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2005年第6期361-364,共4页

为深入研究磷酸钙骨水泥(CPC)/聚乳酸-聚羟基乙酸(PLGA)生物复合材料的制备工艺及性能,也为临床应用提供理论依据,实验制备了CPC-PLGA生物复合材料;并通过测定该材料在模拟体液中浸泡后引起的浸泡液pH值的变化,以及采用JSM 5600LV型扫... 为深入研究磷酸钙骨水泥(CPC)/聚乳酸-聚羟基乙酸(PLGA)生物复合材料的制备工艺及性能,也为临床应用提供理论依据,实验制备了CPC-PLGA生物复合材料;并通过测定该材料在模拟体液中浸泡后引起的浸泡液pH值的变化,以及采用JSM 5600LV型扫描电镜观察该材料在体外降解后的微观形貌,间接评估了该材料引起体液pH值的变化以及该材料降解性能对人体细胞和骨组织可能存在的影响。结果表明,所制备的CPCPLGA复合材料没有引起浸泡液pH值的较大波动,该值始终处于人体安全范围之内,对人体细胞的刺激影响将会较小;由于该材料复合了高分子聚合物PLGA,使其具有良好的降解性,可为骨组织细胞、血管等的粘附和生成创造良好的条件。 展开更多

关键词 磷酸钙骨水泥 聚乳酸-聚羟基乙酸 复合材料 骨修复 降解性

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高性能陶瓷材料Ti_3SiC_2的研究进展 被引量：7

3

作者 向其军 刘咏 +1 位作者 杜勇 刘伯威 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2004年第1期35-40,共6页

主要介绍了Ti3SiC2的制备方法、性能和应用。

关键词 TI3SIC2 制备 性能 应用

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粉末冶金法制备云母/羟基磷灰石玻璃陶瓷 被引量：2

4

作者 向其军 刘咏 +2 位作者 黄伯云 盛小娴 单小宏 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A03期409-412,共4页

为了获得良好的可加工性和生物活性,采用粉末冶金法制备了云母/羟基磷灰石玻璃陶瓷。随着烧结温度的提高,材料的力学性能有所增加。在1100℃下、保温1.5 h可以获得材料的最佳力学性能.其相对密度、抗弯强度和断裂韧性分别为95%、124 MPa... 为了获得良好的可加工性和生物活性,采用粉末冶金法制备了云母/羟基磷灰石玻璃陶瓷。随着烧结温度的提高,材料的力学性能有所增加。在1100℃下、保温1.5 h可以获得材料的最佳力学性能.其相对密度、抗弯强度和断裂韧性分别为95%、124 MPa和2.1 MPa·m^(1/2)。随着温度的提高,烧结过程中玻璃相的扩散速度加快并填充到剩余的孔隙中,使得材料的相对密度增加,从而提高了材料的抗弯强度。断裂韧性的提高来源于材料中高长径比的云母晶体相互交错的微观结构。 展开更多

关键词 云母 羟基磷灰石 玻璃陶瓷 粉末冶金

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可加工生物活性云母/氟磷灰石玻璃陶瓷的制备及生物活性 被引量：2

5

作者 向其军 刘咏 +1 位作者 黄伯云 盛小娴 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1025-1030,共6页

采用高温熔铸法制备可加工生物活性云母/氟磷灰石玻璃陶瓷;用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM/EDS)和傅里叶变换红外(FTIR)光谱分析等手段对材料的相组成和微观形貌进行研究,测定材料的抗弯强度、硬度和断裂韧性等力学性能;采用体外模拟体... 采用高温熔铸法制备可加工生物活性云母/氟磷灰石玻璃陶瓷;用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM/EDS)和傅里叶变换红外(FTIR)光谱分析等手段对材料的相组成和微观形貌进行研究,测定材料的抗弯强度、硬度和断裂韧性等力学性能;采用体外模拟体液(SBF)浸泡法测试材料的生物活性。研究结果表明:氟磷灰石相呈针状,与人体骨和牙齿的磷灰石形貌相似,有利于提高材料的生物活性和生物相容性;氟磷灰石的形成是材料被迅速加热至高温进行热处理,使磷灰石以螺旋位错生长机制沿c轴晶化长大所致;经热处理获得的材料具有优良的力学性能,基本满足骨科和齿科用生物材料的性能要求;材料在体外模拟体液中浸泡3 d后,样品表面已有磷灰石层生成,表明该材料具有较高的生物活性。 展开更多

关键词 玻璃陶瓷 显微结构 生物活性 云母 氟磷灰石

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可切削云母基玻璃陶瓷的研究概况 被引量：6

6

作者 向其军 刘咏 盛小娴 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2006年第1期7-12,共6页

可切削云母基玻璃陶瓷是一种新型的玻璃陶瓷,其优异的可加工性能和良好的生物相容性,使其在骨科及牙科修复学领域具有广阔的应用前景,并受到了材料学家和医学家们的广泛关注。文内介绍了云母基玻璃陶瓷的分类、结构、可切削性及制备方法... 可切削云母基玻璃陶瓷是一种新型的玻璃陶瓷,其优异的可加工性能和良好的生物相容性,使其在骨科及牙科修复学领域具有广阔的应用前景,并受到了材料学家和医学家们的广泛关注。文内介绍了云母基玻璃陶瓷的分类、结构、可切削性及制备方法,并对其制备方法的优缺点进行了评价;综述了国内外对云母基玻璃陶瓷改性的研究进展,包括Ba云母和Ca云母增强,ZrO2增韧,热挤压和热压增强以及生物活性的改善。并讨论了云母基玻璃陶瓷的研究趋势,指出:合理设计原料成分和制定正确的工艺路线,以期得到所需的成分和显微组织;尤其是探索低熔点云母基玻璃陶瓷的制备工艺,以期降低成本、加速规模化生产,必然是未来几年的研究重点和热点。 展开更多

关键词 云母玻璃陶瓷 可切削性 制备方法 生物活性

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治癌用Fe2O3-CaO-SiO2基铁磁性微晶玻璃的研究现状 被引量：1

7

作者 向其军 卢安贤 贾明 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F10期240-242,246,共4页

Fe2O3-CaO-SiO2基铁磁性微晶玻璃因具有磁滞生热性能和良好的生物活性而成为理想的温热疗法治疗癌症的热种子材料。主要介绍了Fe2O3-CaO-SiO2基铁磁性微晶玻璃的组成结构、制备、主要性能及其应用。

关键词 SiO2基 微晶玻璃 铁磁性 研究现状 治癌 生物活性 组成结构 主要性能 热疗法 热性能

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新型的高性能陶瓷材料Ti_3SiC_2的研究现状

8

作者 向其军 张贵兴 +2 位作者 刘咏 杜勇 刘伯威 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第7期49-51,共3页

Ti_3SiC_2是一种新型的高性能陶瓷材料,既具有金属的优异性能,如在常温下有很好的导热性能、导电性能、良好的抗热震性、易加工性以及高温塑性,又具有陶瓷的优异性能,如高的屈服强度、高熔点、高热稳定性、高温强度以及良好的抗氧化性... Ti_3SiC_2是一种新型的高性能陶瓷材料,既具有金属的优异性能,如在常温下有很好的导热性能、导电性能、良好的抗热震性、易加工性以及高温塑性,又具有陶瓷的优异性能,如高的屈服强度、高熔点、高热稳定性、高温强度以及良好的抗氧化性能和耐腐蚀性能。因此,Ti_3SiC_2可用作交流电机的电刷材料,航空发动机的涡轮叶片、固定子材料和金属熔炼的电极材料等。主要介绍了 Ti_3SiC_2的晶体结构、制备方法、性能和应用。 展开更多

关键词 TI3SIC2 晶体结构 制备 性能 陶瓷材料

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骨、齿用可加工生物活性玻璃陶瓷的研究

9

作者 向其军 刘咏 +2 位作者 黄伯云 谭彦妮 盛小娴 《粉末冶金技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期349-352,387,共5页

为了获得良好的可加工性和生物活性,通过熔铸法制备了“卷心菜”状的云母/氟磷灰石玻璃陶瓷,该材料有望用于人体骨、牙齿的替代和修复。采用差热分析(DTA)、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对材料的相组成、微观形貌等进行了研究。研究表... 为了获得良好的可加工性和生物活性,通过熔铸法制备了“卷心菜”状的云母/氟磷灰石玻璃陶瓷,该材料有望用于人体骨、牙齿的替代和修复。采用差热分析(DTA)、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对材料的相组成、微观形貌等进行了研究。研究表明,随着原料中CaO和P2O5成分的增加,材料结晶温度提高,材料中氟磷灰石的相对含量增加。由于K2O的添加,云母和氟磷灰石在一个较宽的温度范围里同时从玻璃中析出。球形氟磷灰石晶体均匀的分布在相互交错的“卷心菜”状云母晶体表面。 展开更多

关键词 云母 氟磷灰石 玻璃陶瓷 显微结构

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磷酸钙骨水泥生物材料用磷酸四钙的制备

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作者 向其军 刘咏 +3 位作者 郑治 苏哲安 王剑龙 肖飞 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2005年第4期211-215,共5页

采用CaCO3和CaHPO4的混合粉分别在空气和真空2种气氛条件下制备磷酸四钙。结果表明:在空气中较难制得磷酸四钙,这主要是由于潮湿的空气中含有较多水分和制备工艺中采取随炉缓慢冷却,对反应产生了不利影响;在真空条件下,采用n(Ca)∶n(P)=... 采用CaCO3和CaHPO4的混合粉分别在空气和真空2种气氛条件下制备磷酸四钙。结果表明:在空气中较难制得磷酸四钙,这主要是由于潮湿的空气中含有较多水分和制备工艺中采取随炉缓慢冷却,对反应产生了不利影响;在真空条件下,采用n(Ca)∶n(P)=2∶1,1.8∶1和1.5∶1的3种混合粉均容易制得磷酸四钙,但同时都含有其它杂质相,对其纯度有影响,其中以n(Ca)∶n(P)=2∶1的混合粉制备的磷酸四钙纯度最高,其产物中仅含少量CaO杂质相,这种磷酸四钙可用于磷酸钙骨水泥。 展开更多

关键词 磷酸钙骨水泥 生物材料 磷酸四钙 制备 骨修复

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反应热压法制备TiN-SiC复合陶瓷材料

11

作者 向其军 刘咏 刘伯威 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2004年第2期151-155,共5页

以Ti,Si3N4,石墨和SiC粉体为原料,用反应热压法合成了TiN-SiC复合陶瓷材料,并对其显 微结构及力学性能进行了研究。结果表明:该复合材料的维氏硬度和断裂韧性分别为13.6 GPa 和6.89 MPa·m1/2,其增韧机制主要为裂纹偏转和裂纹分叉... 以Ti,Si3N4,石墨和SiC粉体为原料,用反应热压法合成了TiN-SiC复合陶瓷材料,并对其显 微结构及力学性能进行了研究。结果表明:该复合材料的维氏硬度和断裂韧性分别为13.6 GPa 和6.89 MPa·m1/2,其增韧机制主要为裂纹偏转和裂纹分叉机制。 展开更多

关键词 TIN SIC 制备 复合陶瓷

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磷酸钙骨水泥/聚乳酸-聚羟基乙酸生物复合材料的实验研究 被引量：7

12

作者 郑治 王剑龙 +2 位作者 肖飞 向其军 刘咏 《中国现代医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1152-1154,共3页

目的探讨磷酸钙骨水泥(CPC)/聚乳酸-聚羟基乙酸(PLGA)生物复合材料的理化性能,为临床应用提供理论依据。方法制备了CPC-PLGA复合材料,测定其抗压强度,通过X射线衍射(XRD)分析固化产物的物相组成、扫描电镜(SEM)观察其微观结构,并与单一... 目的探讨磷酸钙骨水泥(CPC)/聚乳酸-聚羟基乙酸(PLGA)生物复合材料的理化性能,为临床应用提供理论依据。方法制备了CPC-PLGA复合材料,测定其抗压强度,通过X射线衍射(XRD)分析固化产物的物相组成、扫描电镜(SEM)观察其微观结构,并与单一的CPC材料进行对照。结果CPC-30vol%PLGA复合材料的抗压强度比单一的CPC材料提高了1倍多;与单一CPC材料相比,复合材料中CPC的固化产物羟基磷灰石晶体的聚集形态发生了改变,颗粒排列更加紧密。结论PLGA的加入可以提高CPC的抗压强度,对CPC的固化反应无不利影响,该复合材料在整形外科、骨外科及牙科领域具有较好应用前景。 展开更多

关键词 磷酸钙骨水泥 聚乳酸-聚羟基乙酸 复合材料 骨修复

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牙科光固化复合树脂材料的性能与展望 被引量：14

13

作者 谭彦妮 刘咏 向其军 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2007年第3期139-145,共7页

牙科光固化复合树脂具有色泽美观,强度高,临床操作方便,粘结固位效果好等优点,在牙科修复领域引起了广泛关注。该复合材料是由树脂基体、无机填料和光引发体系组成的,原料混合后经特定波长的可见光照射即可固化。牙科光固化复合树脂虽... 牙科光固化复合树脂具有色泽美观,强度高,临床操作方便,粘结固位效果好等优点,在牙科修复领域引起了广泛关注。该复合材料是由树脂基体、无机填料和光引发体系组成的,原料混合后经特定波长的可见光照射即可固化。牙科光固化复合树脂虽然已在临床上得到了应用,但在性能方面仍然存在某些不足之处,所以如何进一步提高其性能成为目前研究的热点之一。该文作者综述了树脂基体、无机填料和光引发剂的研究情况,对光固化复合树脂的力学性能、聚合度、吸水性和溶解性等性能及其影响因素进行了评述,并对今后的研究进行了展望。 展开更多

关键词 光固化复合树脂 牙科修复材料 填料 光引发剂

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生物玻璃填充牙科复合树脂材料的制备及其性能 被引量：2

14

作者 郑治 黄伯云 +2 位作者 向其军 谭彦妮 刘咏 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期94-98,共5页

通过光固化的方法制备以磷灰石玻璃陶瓷和气相二氧化硅为无机填料的牙科复合树脂。采用扫描电镜/能谱仪(SEM/EDS)对复合材料的微观形貌进行分析,测量复合材料的三点抗弯强度。采用体外模拟体液(Simulated body fluid,SBF)浸泡法测试材... 通过光固化的方法制备以磷灰石玻璃陶瓷和气相二氧化硅为无机填料的牙科复合树脂。采用扫描电镜/能谱仪(SEM/EDS)对复合材料的微观形貌进行分析,测量复合材料的三点抗弯强度。采用体外模拟体液(Simulated body fluid,SBF)浸泡法测试材料的生物活性。研究结果表明:材料的抗弯强度达到(137±10)MPa,能够满足牙齿修复的力学性能要求;材料在SBF中浸泡3d后,在表面形成矿化的碳酸磷灰石晶体层,表明材料具有较强的生物活性,可加快该材料植入人体后与骨的结合,并有利于龋齿的修复愈合。 展开更多

关键词 磷灰石 无机填料 树脂 牙齿 生物活性

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医用磷酸钙骨水泥的制备及性能的实验研究 被引量：1

15

作者 郑治 向其军 +3 位作者 刘咏 苏哲安 王剑龙 肖飞 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期1048-1051,共4页

探索了磷酸四钙（Ca4（PO4）2O，TTCP）的制备，并合成了磷酸钙骨水泥（CPC），对CPC固化时间、引起浸泡液pH值的变化、抗压强度、产物物相组成及微观结构进行了研究。结果表明：在真空条件下、1500℃下煅烧6h可制得TTCP，并含有少量CaO... 探索了磷酸四钙（Ca4（PO4）2O，TTCP）的制备，并合成了磷酸钙骨水泥（CPC），对CPC固化时间、引起浸泡液pH值的变化、抗压强度、产物物相组成及微观结构进行了研究。结果表明：在真空条件下、1500℃下煅烧6h可制得TTCP，并含有少量CaO。CPC初凝时间为4min、终凝时间为15min，浸泡1d和7d后的抗压强度分别为20MPa和35MPa，浸泡液的pH值在6．4～8．9之间变化，这些性能均符合临床用CPC的性能要求。CPC水化产物为片状或针状羟基磷灰石（Ca5（PO4）3OH，HA），相互交错呈连续分布的网状结构，这种结构有利于材料强度的提高。实验研制的CPC材料可用于骨缺损的修复治疗。 展开更多

关键词 磷酸钙骨水泥 磷酸四钙 制备 固化时间 抗压强度

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云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷的体内外生物学性能研究 被引量：1

16

作者 冯云枝 王压冲 +2 位作者 刘咏 向其军 黄伯云 《中国现代医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1613-1616,共4页

目的检测自制云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷的体内外生物学性能。方法按照Ca云母/氟磷灰石的成分配比,经高温熔炼,浇铸后退火得到基础玻璃,再经特殊的热加工/热处理工艺制备新型玻璃陶瓷材料试样。采用体外模拟体液浸泡实验和置入大白兔下... 目的检测自制云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷的体内外生物学性能。方法按照Ca云母/氟磷灰石的成分配比,经高温熔炼,浇铸后退火得到基础玻璃,再经特殊的热加工/热处理工艺制备新型玻璃陶瓷材料试样。采用体外模拟体液浸泡实验和置入大白兔下颌骨部位的体内实验检测材料的生物学行为。结果新型云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷在模拟体液中能自发生成磷灰石层。体内埋置实验显示该材料具有良好的组织相容性和骨引导性能。结论新型云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷具有很好的体外生物活性、体内组织相容性和骨引导性。 展开更多

关键词 云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷 生物活性 组织相容性

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液相法制备LiMn_2O_4及掺杂研究

17

作者 奉冬文 邓意达 +3 位作者 贺跃辉 林小芹 向其军 陈立宝 《中南工业大学学报》 CSCD 北大核心 2003年第1期66-69,共4页

以LiNO3,Mn(NO3)2和弱有机酸为原料,将其按一定比例混合,先于低温蒸干水分,再在250℃加热1h,得到黑色前驱物粉末;将前驱物在650～800℃焙烧10～20h便可得到LiMn2O4晶体.此外,研究了生产LiMn2O4晶体过程中温度及添加Ni,Co,Al对LiMn2O4晶... 以LiNO3,Mn(NO3)2和弱有机酸为原料,将其按一定比例混合,先于低温蒸干水分,再在250℃加热1h,得到黑色前驱物粉末;将前驱物在650～800℃焙烧10～20h便可得到LiMn2O4晶体.此外,研究了生产LiMn2O4晶体过程中温度及添加Ni,Co,Al对LiMn2O4晶化程度和结晶结构的影响.研究结果表明:利用液相法可以使反应物充分反应,能够得到晶形完整、结晶度高的尖晶石型LiMn2O4;并通过该液相法能更均匀掺杂,得到晶粒粒径更小的掺杂Ni,Co,Al型LiMxMn2-xO4. 展开更多

关键词 制备 液相法 锂离子二次电池 LiMn2O 掺杂 锰酸锂 正极材料

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烧结温度对96Al_2O_3陶瓷力学性能及热导率的影响 被引量：2

18

作者 伍海东 刘伟 +4 位作者 程利霞 刘健 谭毅成 向其军 伍尚华 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第9期1864-1868,共5页

采用CaO-MgO-SiO_2为烧结助剂,采用无压烧结技术,研究了烧结温度对96Al_2O_3陶瓷热导率及力学性能的影响。采用阿基米德排水法、三点弯曲法、激光脉冲法、扫描电子显微镜(SEM)及X射线衍射(XRD)等分析手段和设备,对烧结后陶瓷样品的密度... 采用CaO-MgO-SiO_2为烧结助剂,采用无压烧结技术,研究了烧结温度对96Al_2O_3陶瓷热导率及力学性能的影响。采用阿基米德排水法、三点弯曲法、激光脉冲法、扫描电子显微镜(SEM)及X射线衍射(XRD)等分析手段和设备,对烧结后陶瓷样品的密度、力学性能、热导率和微观组织结构进行了分析研究。研究结果表明:1600℃烧结的Al_2O_3样品的具有较好的导热性和力学性能,其热导率、密度、维氏硬度和抗弯强度分别为24.9 W/(m·K),3.82g/cm3,(13.8±0.2)GPa,(362.9±26.9)MPa。 展开更多

关键词 氧化铝 烧结温度 力学性能 导热率

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环境温度和湿度对96-Al_2O_3陶瓷电阻率的影响 被引量：1

19

作者 刘建 程利霞 +3 位作者 伍海东 谭毅成 向其军 伍尚华 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期1083-1087,共5页

采用无压烧结技术,以0.25wt%CaO、1wt%MgO、2.75wt%SiO_2为添加剂,在1500℃、1550℃、1600℃下烧结制备了Al_2O_3陶瓷,分别在150~400℃温度范围内和40%~100%的相对湿度环境下,对Al_2O_3陶瓷的直流电阻率进行检测。样品的相组成和显微结... 采用无压烧结技术,以0.25wt%CaO、1wt%MgO、2.75wt%SiO_2为添加剂,在1500℃、1550℃、1600℃下烧结制备了Al_2O_3陶瓷,分别在150~400℃温度范围内和40%~100%的相对湿度环境下,对Al_2O_3陶瓷的直流电阻率进行检测。样品的相组成和显微结构通过X-ray衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征。结果表明,环境温度由150℃上升到400℃,样品的直流电阻率降低了约2~2.5个数量级;环境相对湿度从40%上升到100%,样品的直流电阻下降了约3~4个数量级。在相同测试条件下,1500℃烧结的Al_2O_3陶瓷样品由于小的晶粒尺寸和高的孔隙率,从而导致其具有更高的电阻率。 展开更多

关键词 氧化铝 无压烧结 环境温度和湿度 直流电阻率 孔隙率 晶粒尺寸

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耐等离子刻蚀陶瓷的研究现状

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作者 谭毅成 伍尚华 +3 位作者 朱佐祥 向其军 朱祖云 田卓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期1272-1279,共8页

等离子刻蚀技术是超大规模集成电路制备工艺中不可或缺加工技术。在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩少的发展进程中,晶圆的污染问题越来越突出。而刻蚀机腔室材料作为晶圆的主要污染源之一,其耐等离子刻蚀性日益受到人们的关... 等离子刻蚀技术是超大规模集成电路制备工艺中不可或缺加工技术。在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩少的发展进程中,晶圆的污染问题越来越突出。而刻蚀机腔室材料作为晶圆的主要污染源之一,其耐等离子刻蚀性日益受到人们的关注。本文主要介绍耐等离子体刻蚀腔体材料的特性及目前国内外的研究与发展现状。 展开更多

关键词 等离子 耐刻蚀性 陶瓷 刻蚀

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