双酚A在黄河兰州段沉积物上的吸附行为研究

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作者 吴嘉丽 苏宏伟 +3 位作者 蒋煜峰 张晓珍 何蕊 刘哲炜 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期133-139,共7页

为研究典型环境激素类污染物在黄河上游沉积物上的吸附行为,文章选用黄河兰州段沉积物为研究对象,双酚A(BPA)为代表性污染物。采用批平衡实验法研究了BPA在黄河沉积物上的吸附动力学、吸附等温线以及沉积物粒径、pH对吸附过程的影响。... 为研究典型环境激素类污染物在黄河上游沉积物上的吸附行为,文章选用黄河兰州段沉积物为研究对象,双酚A(BPA)为代表性污染物。采用批平衡实验法研究了BPA在黄河沉积物上的吸附动力学、吸附等温线以及沉积物粒径、pH对吸附过程的影响。结果表明,准二级动力学模型能更好地拟合BPA在黄河兰州段沉积物上的吸附动力学过程(R^(2)=0.999),且分为快、慢和吸附平衡3个阶段,10 h左右达到吸附平衡;Freundlich模型对BPA在沉积物上的吸附等温线拟合度更高(R^(2)≥0.986)。25~45℃温度范围内吉布斯自由能ΔG^(θ)和焓变ΔH^(θ)均<0,熵变ΔS^(θ)>0,表明吸附为自发进行的放热过程,且吸附过程体系的混乱度增加。沉积物粒径越小,对BPA的吸附能力越强;pH对吸附的影响表现为酸性促进而碱性抑制。 展开更多

关键词 黄河沉积物 双酚A 吸附动力学 吸附等温线 影响因素

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泰乐菌素在黄土中的吸附持留能力及影响因素研究 被引量：1

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作者 刘哲炜 蒋煜峰 +4 位作者 何蕊 吴嘉丽 张晓珍 刁静茹 吴应琴 《环境科学研究》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期2006-2019,共14页

兽药抗生素(Veterinary antibiotics,VAs)通过多种途径进入土壤,极易对土壤及地下水环境带来严重危害。探究VAs在土壤中的吸附过程,对于深入了解土壤环境中VAs的污染与防控具有重要意义。选取兽药泰乐菌素(Tylosin,TYL)为目标污染物,采... 兽药抗生素(Veterinary antibiotics,VAs)通过多种途径进入土壤,极易对土壤及地下水环境带来严重危害。探究VAs在土壤中的吸附过程,对于深入了解土壤环境中VAs的污染与防控具有重要意义。选取兽药泰乐菌素(Tylosin,TYL)为目标污染物,采用批平衡实验法探讨其在3种不同类型黄土(灰钙土、棕黄土和黄绵土)中的吸附/解吸特性以及关键环境因素(温度、初始浓度、pH、离子强度等)对TYL吸附持留的影响,并结合动力学、热力学模型探究其作用机制。结果表明:TYL在3种黄土中的吸附平衡时间均在120 min内,吸附动力学过程符合准二级动力学模型(R^(2)>0.995),吸附热力学过程可以用Freundlich等温吸附模型描述(R^(2)>0.985),表明黄土有机质疏水分配和阳离子交换作用对TYL的吸附过程起到关键作用,土壤黏粒含量和pH也有一定影响。此外,解吸实验结果显示,解吸滞后系数(HI)在0.270~0.573之间,且解吸量始终大于50%,表明TYL吸附的不可逆性较低,在土壤中表现出的滞后现象不明显,容易解吸,会对地下水环境造成潜在威胁。随TYL初始浓度的增加,其在3种黄土中的吸附平衡时间延长,吸附容量也随之增大。吸附体系为酸性时有助于土壤对TYL的吸附;吸附体系为碱性时,灰钙土、棕黄土和黄绵土由于静电引力减弱,导致其对TYL的吸附量分别由0.264、0.341、0.289 mg/g显著降至0.105、0.077、0.078 mg/g。相对于K^(+)、NH_(4)^(+),高价态离子(如Ca^(2+)、Mg^(2+))及浓度较高离子的存在对TYL的吸附有明显抑制作用。研究显示,黄土对TYL的吸附主要与土壤有机质含量和阳离子交换容量有关,其主要吸附机制是阳离子交换作用和疏水作用。 展开更多

关键词 泰乐菌素 黄土 吸附持留 影响因素

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干燥工艺对香菇挥发性成分的影响

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作者 吴嘉丽 刘舒 +2 位作者 王哲 吴树连 彭国平 《浙江农业科学》 2024年第8期1915-1919,共5页

挥发性成分是决定香菇香气品质的关键。研究采用顶空固相微萃取(HS-SPME)结合气相质谱联用(GC-MS)对冷冻干燥(FD)、低温恒温干燥(LD)、高温恒温干燥(HD)和红外干燥(ID)加工的香菇进行挥发性成分分析。结果表明,从4种工艺香菇中共鉴定出4... 挥发性成分是决定香菇香气品质的关键。研究采用顶空固相微萃取(HS-SPME)结合气相质谱联用(GC-MS)对冷冻干燥(FD)、低温恒温干燥(LD)、高温恒温干燥(HD)和红外干燥(ID)加工的香菇进行挥发性成分分析。结果表明,从4种工艺香菇中共鉴定出48种挥发性成分。通过对4种工艺香菇总挥发性成分和各类挥发性成分进行比较分析,发现HD和ID工艺香菇总挥发性成分、醛类和含硫化合物含量高于LD和FD工艺香菇。进一步比对4种工艺香菇各类挥发性成分差异,发现HD和ID工艺香菇中重要香气物质二甲基三硫、1,2,4-三硫杂戊烷和香菇素含量显著高于LD和FD工艺。综合分析,HD和ID工艺加工的香菇品质较好。本研究可为香菇加工技术研究提供理论基础。 展开更多

关键词 香菇 挥发性成分 干燥工艺

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诺氟沙星在黄河上游沉积物中的吸附/解吸行为及影响因素探究

4

作者 张晓珍 何蕊 +4 位作者 刘哲炜 吴嘉丽 刁静茹 黄魁 蒋煜峰 《中国环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期4009-4020,共12页

选取诺氟沙星(NOR)为目标污染物,以黄河上游沉积物为主要研究对象,采用批平衡方法,研究NOR在沉积物上的吸附/解吸行为,在不同环境条件下(初始浓度、离子强度及类型、pH值、粒径等)对吸附的影响来探究其吸附/解吸规律,结合相关动力学、... 选取诺氟沙星(NOR)为目标污染物,以黄河上游沉积物为主要研究对象,采用批平衡方法,研究NOR在沉积物上的吸附/解吸行为,在不同环境条件下(初始浓度、离子强度及类型、pH值、粒径等)对吸附的影响来探究其吸附/解吸规律,结合相关动力学、热力学模型来探究其吸附机制.结果表明:动力学符合准二级动力学模型(R2>0.996),表明吸附和解吸过程均为多种作用控制的复合机制,且解吸有明显的滞后现象.热力学结果显示,Freundlich模型拟合结果最好(R2>0.981),Linear模型次之(R2>0.937),表明非均相表面的多分子层吸附和疏水分配作用均影响NOR在沉积物上吸附行为的关键机制,且温度升高加速NOR在水相的迁移风险.随NOR初始浓度增大,吸附量随之增加,且平衡时间相应延长;pH表现为酸性促进NOR吸附,碱性情况下迁移风险增加;共存可溶性离子对NOR吸附影响结果表明,同种离子共存时,浓度越大,NOR在沉积物上的吸附抑制作用越强;不同共存离子对吸附的影响主要与共存离子特性有关,如离子半径、阳离子交换能力及水解性等,价态的升高,抑制作用越强;粒径越小,吸附量越大.研究结果将为控制黄河上游水体中抗生素类污染物的环境行为及控制提供科学依据. 展开更多

关键词 诺氟沙星 沉积物 吸附/解吸动力学 吸附热力学 影响因素

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信息技术在初中英语听说教学中的应用

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作者 吴嘉丽 《中国科技期刊数据库 科研》 2024年第9期0160-0163,共4页

目前,信息技术迅猛发展,人工智能、各种软件层出不穷,给教师教学也带来了新的机遇和挑战。教师如何将信息技术更好地应用于教育教学中,是新时代教师需要回答的重要课题。本文剖析了如何将信息技术应用于听说教学的现实意义以及如何将其... 目前,信息技术迅猛发展,人工智能、各种软件层出不穷,给教师教学也带来了新的机遇和挑战。教师如何将信息技术更好地应用于教育教学中,是新时代教师需要回答的重要课题。本文剖析了如何将信息技术应用于听说教学的现实意义以及如何将其应用于初中英语听说教学,并结合具体听说内容,从教学模式、教学活动、教学评价以及教师自身发展四个方面阐述了信息技术在初中英语听说教学中的应用,旨在更好地将信息技术应用于一线英语教学中,为广大教师提供参考。 展开更多

关键词 信息技术 初中英语 听说教学

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T形圆钢管节点受弯抗震性能试验研究

6

作者 赵必大 吴嘉丽 +2 位作者 李福龙 黄禛哲 邵智华 《浙江工业大学学报》 CAS 北大核心 2024年第2期149-155,共7页

为了研究T形圆钢管节点受弯抗震性能,进行了支主管直径比不同的2个节点受循环往复弯矩作用下的试验研究。试验结果表明:节点主要耗能方式为主管管壁的塑性变形和裂纹扩散,在试验后期还有一部分耗能来自支管根部管壁的塑性变形;最终破坏... 为了研究T形圆钢管节点受弯抗震性能,进行了支主管直径比不同的2个节点受循环往复弯矩作用下的试验研究。试验结果表明:节点主要耗能方式为主管管壁的塑性变形和裂纹扩散,在试验后期还有一部分耗能来自支管根部管壁的塑性变形;最终破坏模式为节点域主管管壁延性撕裂破坏;节点的荷载—相对位移滞回曲线饱满,开裂后节点承载力逐渐下降,裂纹延性扩散,表现出良好的抗震耗能能力。试验所得的极限承载力比规范计算值高了20%~33%。对比2个节点的试验数据及结果,发现支主管直径比较大节点的延性和耗能能力均比支主管直径比中等节点的更好。 展开更多

关键词 T形圆钢管节点 循环往复弯矩 支管与主管直径比 节点域 极限承载力

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基于阿基米德螺旋线的低g值微惯性开关(英文) 被引量：13

7

作者 陈光焱 吴嘉丽 +1 位作者 赵龙 王超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1257-1261,共5页

低g值惯性开关是一种对线加速度敏感并在施加的加速度作用下完成闭合的惯性装置。由于微小尺寸的限制,低g值(1-30g)惯性开关只能设计为微质量块和低刚度支撑梁的结构。为了获得低刚度,设计了基于阿基米德螺旋线的平面螺旋梁结构。微开... 低g值惯性开关是一种对线加速度敏感并在施加的加速度作用下完成闭合的惯性装置。由于微小尺寸的限制,低g值(1-30g)惯性开关只能设计为微质量块和低刚度支撑梁的结构。为了获得低刚度,设计了基于阿基米德螺旋线的平面螺旋梁结构。微开关由一个带触点的基座、一个惯性敏感单元以及框架和封盖组成。惯性敏感单元则由一个居中的质量块和支撑它的螺旋梁组成。在加速度作用下可动的质量块发生位移,与其下的触点接触,实现开关的闭合。惯性敏感单元采用有限元软件ANSYS进行分析,采用UV-LIGA工艺制作。进行了离心试验以获得低g值惯性开关的闭合门限。经3次测试,闭合门限值分别为21.22 ,21 .39和21.20g,平均值为21.27g。测试结果表明,低g值惯性开关具有0.5g的闭合精度,多次测试重复性较好。 展开更多

关键词 惯性开关 低g值开关 阿基米德螺旋线 微机电系统

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应用双埋层SOI工艺制备低g值微惯性开关 被引量：7

8

作者 王超 吴嘉丽 陈光焱 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1076-1083,共8页

采用双埋层SOI(Silicon-On-Insulator)材料,结合KOH腐蚀工艺、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺、阳极键合以及喷雾式涂胶工艺,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关。利用二氧化硅KOH腐蚀/ICP刻蚀自停止的特点,平面矩形螺旋梁... 采用双埋层SOI(Silicon-On-Insulator)材料,结合KOH腐蚀工艺、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺、阳极键合以及喷雾式涂胶工艺,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关。利用二氧化硅KOH腐蚀/ICP刻蚀自停止的特点,平面矩形螺旋梁厚度的精度为±0.46μm。分析了双埋层SOI材料的电学特性,采用等电位技术,实现了双埋层SOI与上下两层硼硅玻璃的阳极键合。采用玻璃无掩模湿法腐蚀技术,在玻璃封盖底部设计制作了大小为200μm×200μm的防粘连凸台,解决了芯片在清洗干燥过程中的粘连问题。采用ICP刻蚀用硅衬片方法,解决了ICP刻蚀工艺中高温导致的金硅共晶合金问题。实验验证显示,提出的方法效果较好,芯片成品率得到较大提高,为大批量地研制低g值微惯性开关提供了可靠的工艺基础。 展开更多

关键词 低g值微惯性开关 双埋层SOI 等电位 防粘连 硅衬片

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用于低g_n值微惯性开关的低刚度平面微弹簧设计与制作 被引量：6

9

作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期620-627,共8页

针对低gn值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求（0．1～1N／m数量级），设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性，根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论，推导得到了微弹簧的弹性系数计算公式，... 针对低gn值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求（0．1～1N／m数量级），设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性，根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论，推导得到了微弹簧的弹性系数计算公式，并根据ANSYS有限元仿真分析结果对其进行了修正。基于多层高深宽比硅台阶刻蚀方法，采用MEMS体硅加工工艺，完成了微弹簧的制备，划片后微弹簧芯片尺寸为7mm×7mm×0．3mm。分析结果表明，完善后的弹性系数计算公式与ANSYS仿真结果更为接近，可直接应用于微弹簧的结构优化设计以简化设计过程。纳米压痕法的测试结果表明，微弹簧样品的弹性系数约为0．554N／m，满足设计要求。该微弹簧具有体积小、结构简单、加工容易实现等特点，其成功研制为实现低gn值微惯性开关的工程实用化奠定了基础。 展开更多

关键词 平面微弹簧 低刚度微弹簧 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 微机电系统

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硅MEMS器件键合强度在线检测方法 被引量：4

10

作者 李仁锋 马凯 +3 位作者 郑英彬 袁明权 施志贵 吴嘉丽 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第12期758-763,共6页

键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用。为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS叉指式器件工艺介绍了一种新型键合强度检测结构;... 键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用。为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS叉指式器件工艺介绍了一种新型键合强度检测结构;借助于材料力学的相关知识,推导出了键合强度计算公式,经过工艺实验,获得了键合强度检测数据;对获得的不同键合面积的键合强度加以对比,指出这些数据的较小差异,是由刻度盘最小刻度误差和尺度效应造成的。结合叉指式器件的工作环境,认为这种方法获得的键合强度更接近实际的工作情况。 展开更多

关键词 微电子机械系统 阳极键合 键合强度 微结构 在线检测

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基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作 被引量：6

11

作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期653-657,共5页

惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用A... 惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7 mm×7 mm×1.5 mm。经离心实验测试,微惯性开关的闭合阈值约为4.28gn,导通电阻约为9.3Ω。多次测试结果表明,微惯性开关具有0.5gn的闭合精度,多次测试重复性较好,具有体积小,结构简单,加工容易实现等特点。 展开更多

关键词 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统(MEMS)

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激光点火系统用高功率光纤光开关 被引量：2

12

作者 赵兴海 杨波 +8 位作者 单光存 高杨 杨晴 吴嘉丽 谭刚 苏伟 袁明权 张茜梅 屈明山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期939-942,共4页

仿真和实验研究了一种控制Nd:YAG脉冲激光能量通断的光纤直接连接型光开关。建立光纤耦合模型,分析了光纤对准误差中对耦合效率的影响,其中横向偏移的影响最显著。采用微机电系统V型槽固定光纤,微小型凸轮作为制动器,步进电机驱动凸轮旋... 仿真和实验研究了一种控制Nd:YAG脉冲激光能量通断的光纤直接连接型光开关。建立光纤耦合模型,分析了光纤对准误差中对耦合效率的影响,其中横向偏移的影响最显著。采用微机电系统V型槽固定光纤,微小型凸轮作为制动器,步进电机驱动凸轮旋转,微小型凸轮与移动光纤相切,带动光纤移动,实现两光纤的错开和对准。制造了这种高功率直接连接型光纤光开关原理样机,并进行了主要性能测试。测试结果表明,这种光开关能够满足激光点火系统的大容量、高隔离度的要求。 展开更多

关键词 光纤光开关 激光点火 微型凸轮 光纤对准

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微机械G开关的研制 被引量：7

13

作者 陈光焱 吴嘉丽 赵龙 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第6期82-84,共3页

设计制作了一种微机械G开关,该微加速度开关采用微机电系统(MEMS)体加工工艺,其敏感元件由螺旋梁支撑的检测质量块和它下面的微触点构成,在外界加速度作用下,检测质量块发生位移,完成与触点的接通。经离心测试,在通电0.8A情况下,接通门... 设计制作了一种微机械G开关,该微加速度开关采用微机电系统(MEMS)体加工工艺,其敏感元件由螺旋梁支撑的检测质量块和它下面的微触点构成,在外界加速度作用下,检测质量块发生位移,完成与触点的接通。经离心测试,在通电0.8A情况下,接通门限值为2.8gn,接通电阻为0.6Ω;经振动测试,不响应高于85Hz的高频振动,在5×104gn高冲击下,测试未见损坏。 展开更多

关键词 G开关 触点 螺旋粱

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基于复合形法的低g微惯性开关结构优化设计 被引量：2

14

作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期725-732,共8页

低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一致性等综合性能。针对一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关,在给定条件下以增大螺旋梁厚度为目标进... 低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一致性等综合性能。针对一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关,在给定条件下以增大螺旋梁厚度为目标进行优化建模,运用复合形法的MATLAB语言程序进行优化设计。结果表明,经优化设计后,管芯"弹簧-质量"结构面积为0.09cm2,与初始设计相比减少了约46.5%,满足应用环境的要求。优化模型梁厚度为36.3μm,比初始设计增大了约21%,验证了优化算法的有效性。与传统设计方法相比,复合形法具有较高的实用性和优化效率。为实现对螺旋梁厚度的精确控制,提出了基于双埋层SOI硅片的管芯"弹簧-质量"结构加工工艺方案,并进行了初步的工艺流片。 展开更多

关键词 微惯性开关 优化设计 复合形法 参数化设计 微机电系统(MEMS)

原文传递

妊娠合并甲状腺功能减退症的临床分析 被引量：14

15

作者 钟晓梅 吴嘉丽 《西部医学》 2008年第3期604-605,共2页

目的了解妊娠合并甲状腺功能减退症的诊断、处理及妊娠结局和围产儿预后情况。方法回顾性分析17例妊娠合并甲状腺功能减退症孕妇及其围产儿的诊治和预后情况。结果妊娠合并甲状腺功能减退症患病率为1.01%。并发子痫前期9例,糖尿病2例,早... 目的了解妊娠合并甲状腺功能减退症的诊断、处理及妊娠结局和围产儿预后情况。方法回顾性分析17例妊娠合并甲状腺功能减退症孕妇及其围产儿的诊治和预后情况。结果妊娠合并甲状腺功能减退症患病率为1.01%。并发子痫前期9例,糖尿病2例,早产4例,胎儿窘迫发生5例,新生儿死亡2例。剖宫产15例。结论①甲状腺功能减退症孕妇易发生多种妊娠并发症。②补充甲状腺素片随着孕周调整剂量维持TSH在正常范围,对孕产妇及围产儿预后较好。③积极孕前宣传,加强产前保健,对改善孕产妇及围生儿病发率及死亡率有一定意义。 展开更多

关键词 妊娠并发症 甲状腺功能减退症 妊娠合并甲状腺功能减退症

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基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关的研制 被引量：1

16

作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期679-686,共8页

以弹性材料单晶硅为结构材料,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1 g～30 g)微惯性开关.根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了惯性开关闭合阈值的计算公式,其计数结果与ANSYS有限元分析结果的相对误差小于3%.为提高低g... 以弹性材料单晶硅为结构材料,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1 g～30 g)微惯性开关.根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了惯性开关闭合阈值的计算公式,其计数结果与ANSYS有限元分析结果的相对误差小于3%.为提高低g值微惯性开关的环境适应能力,提出双触点和低频弹簧-质量的结构设计方案.为提高结构尺寸的加工精度,提出基于双埋层SOI的低g值微惯性开关加工工艺方案.采用KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7mm×7mm×1.3mm.经离心试验测试,微惯性开关的闭合阈值为6.45 g,具有优于±0.5 g的闭合精度.通过随机振动和高温等环境试验后,2只微惯性开关样品闭合阈值的变化量小于0.5 g,表明微惯性开关具有较好的环境适应能力和机械性能. 展开更多

关键词 低g值微惯性开关 平面矩形螺旋梁 卡氏定理 双埋层SOI 微机电系统

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低g值微惯性开关单向敏感性设计与分析 被引量：1

17

作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期79-83,共5页

选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影... 选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影响较小。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备。经离心试验测试,微惯性开关的闭合阈值约为12.26g,具有约±0.2g的闭合精度。当横向惯性加速度小于15g时,对其闭合阈值的影响小于0.5g。测试结果表明,微惯性开关具有较好的单向敏感性,多次测试重复性好,具有体积小、结构简单、加工容易实现、环境适应性好等特点。 展开更多

关键词 单向敏感性 平面矩形螺旋梁 低g值微惯性开关 微机电系统

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SiH_2CL_2-NH_3-N_2体系LPCVD Si_3N_4薄膜因素分析 被引量：1

18

作者 谭刚 吴嘉丽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期34-37,共4页

以二氯甲硅烷和氨气分别作为低压化学气相淀积(LPCVD)氮化硅(Si3N4)薄膜的硅源和氨源,以高纯氮气为载气,在热壁型管式反应炉中反应生成Si3N4薄膜。考察了工作压力、反应温度、气体原料组成等因素对Si3N4薄膜淀积速率的影响。结果表明:Si... 以二氯甲硅烷和氨气分别作为低压化学气相淀积(LPCVD)氮化硅(Si3N4)薄膜的硅源和氨源,以高纯氮气为载气,在热壁型管式反应炉中反应生成Si3N4薄膜。考察了工作压力、反应温度、气体原料组成等因素对Si3N4薄膜淀积速率的影响。结果表明:Si3N4薄膜的生长速率随着工作压力的增大单调增大,随着原料气中氨气和二氯甲硅烷的流量之比的增大单调减小。随着反应温度的升高,淀积速率逐渐增加,在840℃附近达到最大,随后迅速降低。在适当的工艺条件下,制备的Si3N4薄膜均匀、平整。较低的薄膜淀积速率有助于提高薄膜的均匀性,降低薄膜的表面粗糙度。 展开更多

关键词 SiH2CL2-NH3-N2体系 LPCVD 氮化硅薄膜 淀积速率

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低压化学气相淀积多晶硅薄膜工艺研究 被引量：1

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作者 谭刚 吴嘉丽 李仁锋 《新技术新工艺》 2006年第11期34-35,共2页

在研制器件过程中,多晶硅制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了低压化学气相淀积(LPCVD)关键材料多晶硅薄膜的基本原理,考察了工作压力、反应温度等对多晶硅薄膜淀积速率的影响,以及影响多晶硅薄膜质量的因素,提出了改进措施,优化了... 在研制器件过程中,多晶硅制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了低压化学气相淀积(LPCVD)关键材料多晶硅薄膜的基本原理,考察了工作压力、反应温度等对多晶硅薄膜淀积速率的影响,以及影响多晶硅薄膜质量的因素,提出了改进措施,优化了多晶硅制备工艺参数,制备了合格的多晶硅薄膜。 展开更多

关键词 低压化学气相淀积 多晶硅薄膜 淀积速率 优化

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低g值微惯性开关防粘连结构的设计与制作

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作者 王超 吴嘉丽 张莉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第6期396-400,共5页

低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置。为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构。该结构尺寸约为135μm×135μm×20μm,采用玻璃无掩膜... 低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置。为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构。该结构尺寸约为135μm×135μm×20μm,采用玻璃无掩膜湿法腐蚀技术在深约85μm的玻璃封盖底部实现。通过减小质量块与玻璃封盖底部的接触面积,弱化液体表面张力和范德华力的影响,避免了粘连现象的发生,使得低g值微惯性开关芯片在清洗干燥环节的合格率约达95%。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,完成了带有防粘连凸台结构的低g值微惯性开关的制作。玻璃无掩膜湿法腐蚀技术具有工艺简单、便于操作等优点,它的成功应用较好地满足了器件产业化的要求,为批量研制低g值微惯性开关提供了可靠的工艺基础。 展开更多

关键词 低g值微惯性开关 防粘连 梯形凸台 玻璃无掩膜湿法腐蚀 微机电系统(MEMS)

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