在碳化钨硬质合金WC-6%Co基体上采用多弧离子镀技术制备Ti Al NC涂层,采用扫描电镜和透射电镜观察涂层的微观组织结构,采用X射线衍射仪和X射线能谱分析仪分别确定涂层的物相及其化学成分。实验结果表明:涂层表面粗糙但均匀连续,且表面...在碳化钨硬质合金WC-6%Co基体上采用多弧离子镀技术制备Ti Al NC涂层,采用扫描电镜和透射电镜观察涂层的微观组织结构,采用X射线衍射仪和X射线能谱分析仪分别确定涂层的物相及其化学成分。实验结果表明:涂层表面粗糙但均匀连续,且表面出现孔隙和少量的微裂纹;涂层与基体结合较好,无分层现象出现,其沉积速率约4.5μm/h。涂层的平均化学组成为Ti(20±9 at%),Al(16±5 at%),N(39±5 at%)和C(25±10 at%),涂层由纳米晶Ti N和非晶(Ti,Al)(N,C)两物相组成。展开更多