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面向多搬运任务的柔性制造车间多载具AGV节能路径规划 被引量:5
1
作者 吴立辉 胡文博 +1 位作者 周秀 张中伟 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2023年第1期57-62,共6页
自动导引搬运车(automated guided vehicle,AGV)能够灵活、准确、高效地进行物料搬运,被广泛应用于柔性制造车间。多载具AGV能同时搬运多个工件,具有较强的搬运灵活性,其路径规划问题的复杂性和多约束性更强,求解难度更大。针对柔性制... 自动导引搬运车(automated guided vehicle,AGV)能够灵活、准确、高效地进行物料搬运,被广泛应用于柔性制造车间。多载具AGV能同时搬运多个工件,具有较强的搬运灵活性,其路径规划问题的复杂性和多约束性更强,求解难度更大。针对柔性制造车间多载具AGV节能路径规划问题,首先建立了以能耗和搬运距离为优化目标的AGV节能路径规划模型;然后,提出了一种改进Dijkstra算法和非支配排序遗传算法(non-dominated sorting genetic algorithm-Ⅱ,NSGA-Ⅱ)集成的多载具AGV节能路径规划方法;最后通过案例验证了模型的节能效果和求解方法的有效性。 展开更多
关键词 多载具AGV 节能路径规划 改进DIJKSTRA算法 非支配排序遗传算法
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基于CNN-LSTM的晶圆良率预测 被引量:1
2
作者 吴立辉 周秀 张中伟 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第7期142-146,151,共6页
晶圆良率是衡量半导体制造系统加工能力的关键指标,对其精准预测有利于排查晶圆制程工艺缺陷、提高晶圆生产率、控制企业生产成本。基于晶圆允收测试(wafer acceptance test,WAT)大数据,提出了基于卷积神经网络和长短期记忆网络(convolu... 晶圆良率是衡量半导体制造系统加工能力的关键指标,对其精准预测有利于排查晶圆制程工艺缺陷、提高晶圆生产率、控制企业生产成本。基于晶圆允收测试(wafer acceptance test,WAT)大数据,提出了基于卷积神经网络和长短期记忆网络(convolutional neural networks and long short-term memory,CNN-LSTM)的晶圆良率预测方法。该方法对WAT数据进行缺失、异常与归一化预处理;构建CNN模型对复杂WAT参数的关键特征进行识别;考虑相邻晶圆间的时序相关性,设计长短期记忆网络进行回归分析,从而实现晶圆良率的准确预测。以某工厂晶圆允收测试过程中采集的实际生产数据进行实验,并与其他传统晶圆良率预测方法的结果进行对比分析,从而验证所提方法的有效性。 展开更多
关键词 晶圆良率 晶圆允收测试 预测 卷积神经网络 长短期记忆网络
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晶圆制造AMHS防堵塞路径规划方法研究 被引量:1
3
作者 吴立辉 李元生 +1 位作者 周秀 张中伟 《计算机仿真》 北大核心 2023年第11期284-289,共6页
自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分,AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport,OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞,提出... 自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分,AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport,OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞,提出一种基于运输导轨通行权重动态调整与Dijkstra算法(Guide-rail Passing-weight Dynamic Adjustment and Dijkstra Algorithm,GPDADA)的动态路径规划方法。方法基于各运输导轨中的OHT实时通行时间与实时堵塞信息动态调整运输导轨通行权重表,并采用Dijkstra算法动态获取通行权重加权最小的OHT优化搬运路径。实验研究表明,提出的GPDADA方法在多个AMHS性能指标方面均优于传统OHT防堵塞路径规划方法,验证了GPDADA方法的有效性。 展开更多
关键词 晶圆制造 自动化物料运输系统 防堵塞 路径规划 动态调整
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基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻区实时调度方法研究
4
作者 吴立辉 石津铭 +1 位作者 金克山 张洁 《工业工程》 2024年第3期12-21,30,共11页
为求解具有动态性、实时性、多约束、多目标特点的晶圆光刻区调度问题,提出一种基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻区实时调度方法。设计引入门控循环单元学习光刻区历史调度决策与状态的时序信息,为双深度强化学习模型提供辅助决策信... 为求解具有动态性、实时性、多约束、多目标特点的晶圆光刻区调度问题,提出一种基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻区实时调度方法。设计引入门控循环单元学习光刻区历史调度决策与状态的时序信息,为双深度强化学习模型提供辅助决策信息;设计双深度强化学习模型的输入状态空间、输出动作集,并面向晶圆最小化最大完工时间和晶圆准时交货率指标设计多目标奖励函数,为智能体优化调度输出;设计设备专用性约束与掩模版约束的解约束规则与调度方法相结合,提高调度方案实施的实用性。通过某晶圆制造企业实际算例,将该方法与传统双深度强化学习和光刻区启发式规则方法比较,该方法均为最优,证明了其解决此问题的有效性。 展开更多
关键词 晶圆制造系统 光刻区调度 深度强化学习 门控循环单元(GRU) 多目标
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基于卷积神经网络的盘式刹车片表面缺陷检测 被引量:3
5
作者 武照云 高梦媛 +2 位作者 张颖旭 张中伟 吴立辉 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第3期70-73,共4页
汽车刹车片质量关系车辆驾驶安全,目前汽车刹车片表面缺陷主要采用人工抽检和机器视觉检测的方法,人工抽检存在效率低、易出现漏判与误判表面缺陷的问题,机器视觉检测则需要依靠被检测对象的特定特征进行检测。为此,以业界广泛应用的盘... 汽车刹车片质量关系车辆驾驶安全,目前汽车刹车片表面缺陷主要采用人工抽检和机器视觉检测的方法,人工抽检存在效率低、易出现漏判与误判表面缺陷的问题,机器视觉检测则需要依靠被检测对象的特定特征进行检测。为此,以业界广泛应用的盘式刹车片为研究对象,提出一种改进AlexNet卷积神经网络模型,即AlexNet6_BN模型,对盘式刹车片进行表面缺陷检测。对经典AlexNet卷积神经网络模型中的卷积层进行调整,增加了1层卷积层和1层池化层,调整首层卷积核大小为13×13以提取更为显著的样本特征,并在每层卷积层后用批量标准化代替原来的局部响应归一化以加快网络收敛速度。实验测试表明,改进后的网络模型对刹车片表面缺陷识别的准确率均高于AlexNet、VGG16等经典网络,其检测准确率达到97%。 展开更多
关键词 盘式刹车片 表面缺陷检测 AlexNet 卷积神经网络
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基于孪生人工蜂鸟算法的多作业模式半导体封测环节调度
6
作者 王洪 吴立辉 +1 位作者 陈达 张洁 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期260-267,279,共9页
针对多作业模式的半导体封装测试环节调度问题,以最小化最大完工时间为目标,提出了孪生人工蜂鸟算法。设计了孪生种群机制,通过构建双解码、孪生种群生成与协作方法,扩大解的搜索空间,提高初始解的质量,增加优化过程中解的多样性,进而... 针对多作业模式的半导体封装测试环节调度问题,以最小化最大完工时间为目标,提出了孪生人工蜂鸟算法。设计了孪生种群机制,通过构建双解码、孪生种群生成与协作方法,扩大解的搜索空间,提高初始解的质量,增加优化过程中解的多样性,进而提高求解精度。通过双向引导觅食策略,平衡算法多样性与收敛性,增强算法稳定性。通过构建四邻域搜索策略,增强算法局部优化能力。实验结果表明,该方法能有效缩短半导体封测环节的最大完工时间。 展开更多
关键词 生产调度 半导体封装测试 多作业模式 孪生人工蜂鸟算法
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基于环保和安全考虑的锅炉运行优化技术研究
7
作者 吴立辉 刘炜 江勇 《化工安全与环境》 2024年第11期73-78,共6页
为实现油气田企业中锅炉的安全、平稳、高效运行,从环保和安全两个方面出发,对现有锅炉的运行方案进行优化。首先,采用以气代油工艺解决锅炉烟气排放不达标的问题,其次,从设置火焰监测及熄火保护系统、炉膛负压控制系统和炉内氧含量控... 为实现油气田企业中锅炉的安全、平稳、高效运行,从环保和安全两个方面出发,对现有锅炉的运行方案进行优化。首先,采用以气代油工艺解决锅炉烟气排放不达标的问题,其次,从设置火焰监测及熄火保护系统、炉膛负压控制系统和炉内氧含量控制系统等方面增强锅炉运行的安全性,并对环保和安全效果进行了分析和对比。结果表明,燃气锅炉的单位运行成本和碳排放量均优于燃油锅炉,单位运行成本可降低49%~62%,碳排放量可降低27.3%;燃气锅炉改造后,锅炉的熄火次数大幅降低,炉膛负压值维持在-20 Pa左右,炉内氧气含量维持在3%~5%范围内,锅炉的热效率有所提升,运行能耗有所降低。 展开更多
关键词 锅炉 安全 环保 熄火保护
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大飞机智能精准锤铆虚拟仿真实验课程设计
8
作者 王华 董婉娇 +1 位作者 吴立辉 郑刚 《创新教育研究》 2024年第10期243-251,共9页
虚拟仿真实验作为物理实验的有效补充,在专业教育过程中起着非常重要的作用。气动锤铆是飞机装配的主要连接工艺之一,开展气动锤铆物理实验具有场地需求大、实验材料价格高、技能水平要求高、干涉量测量复杂等问题。采用信息化手段开展... 虚拟仿真实验作为物理实验的有效补充,在专业教育过程中起着非常重要的作用。气动锤铆是飞机装配的主要连接工艺之一,开展气动锤铆物理实验具有场地需求大、实验材料价格高、技能水平要求高、干涉量测量复杂等问题。采用信息化手段开展虚拟仿真实验,通过三维虚拟仿真的形式,将大型飞机铝合金构件的锤铆连接过程真实展现在学生面前,使学生在大型飞机虚拟装配环境中进行锤铆工艺系统软硬件搭建、锤铆工艺参数选择、锤铆工艺装备选择和铆接接头质量检测等仿真实验操作和理论学习,帮助学生架构面向高端复杂产品智能制造的机械设计制造及其自动化专业知识体系架构。Virtual simulation experiment, as an effective supplement to physical experiments, plays a very important role in professional education. Pneumatic percussive riveting is one of the main connection processes in aircraft assembly. Conducting physical experiments on pneumatic percussive riveting has issues such as high site requirements, high material prices, high skill requirements, and complex interference measurement. Using information technology to conduct virtual simulation experiments, the percussiveriveting process of large aircraft aluminum alloy components is realistically presented to students in the form of 3D virtual simulation. This enables students to conduct simulation experiments and theoretical learning in the virtual assembly environment of large aircraft, such as software and hardware construction of percussiveriveting systems, selection of riveting parameters, selection of riveting equipment, and quality inspection of riveted joints. It helps students construct a professional knowledge system architecture for mechanical design, manufacturing, and automation for intelligent manufacturing of complex products. 展开更多
关键词 虚拟仿真实验 精准锤铆 工艺装备 刚度
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电子装配行业的MES体系结构及技术实现 被引量:11
9
作者 吴立辉 张洁 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期12-14,18,共4页
针对电子装配行业的特点和制造执行系统(MES)的需求,采用基于SOA的设计方法和理念,提出基于Web服务的MES软件体系结构,建立基于工作流的电子装配过程实时可视化、实时生产排程、实时生产过程跟踪技术框架。提出基于Web Services技术和J... 针对电子装配行业的特点和制造执行系统(MES)的需求,采用基于SOA的设计方法和理念,提出基于Web服务的MES软件体系结构,建立基于工作流的电子装配过程实时可视化、实时生产排程、实时生产过程跟踪技术框架。提出基于Web Services技术和J2EE平台的软件体系结构技术实现框架。开发的MES系统应用在某SMT车间,证明该系统具有较好的实时、可配置、可重构、可集成性能。 展开更多
关键词 制造执行系统 软件体系结构 工作流
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电子雷管起爆条件下隧道掏槽孔与辅助孔的延时优化试验研究 被引量:6
10
作者 李洪伟 吴延梦 +4 位作者 吴立辉 杨赛群 管月强 黄昕旭 章万龙 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期169-179,共11页
起爆延时严重影响隧道爆破掘进效率,研究隧道精确控制爆破中岩石的破碎效果和掘进效率具有重要意义。为此,开展了隧道爆破中掏槽孔与辅助孔之间延时的相似模型试验研究,分析了不同起爆延时情况下岩石的破碎特征。模型试验表明,在隧道爆... 起爆延时严重影响隧道爆破掘进效率,研究隧道精确控制爆破中岩石的破碎效果和掘进效率具有重要意义。为此,开展了隧道爆破中掏槽孔与辅助孔之间延时的相似模型试验研究,分析了不同起爆延时情况下岩石的破碎特征。模型试验表明,在隧道爆破中精确延时电子雷管对于提高爆破效果具有明显优势,得到了一定条件下模型试验与现场试验中起爆延时的相似关系。由现场试验可知:掏槽孔与辅助孔之间的最佳延时范围为15~25 ms,此时炮孔的利用率最高。结合相似理论的模型试验,得到最佳延时范围为8~24 ms,与现场试验结果具有较好的一致性,研究结果对隧道爆破掏槽孔与辅助孔之间的延时选取具有指导意义。 展开更多
关键词 隧道爆破 电子雷管 延时 微差爆破
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晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法 被引量:8
11
作者 吴立辉 张洁 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2013年第8期2043-2049,共7页
为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿... 为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿真分析方法比较。结果表明,扩展Markov模型与仿真模型在自动化物料搬运系统搬运量、运输小车利用率和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值为96%,处于[-8%,10%]的区间范围;与仿真模型相比,扩展Markov模型的性能分析效率提高了600倍以上。由此验证了所提扩展Markov模型建模方法的有效性。 展开更多
关键词 晶圆制造 自动化物料运输系统 建模 扩展Markov模型
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基于三维激光雷达的智能车辆SLAM技术研究
12
作者 巴浩麟 马晓录 吴立辉 《汽车实用技术》 2023年第9期197-204,共8页
智能车辆实现自主导航的必要条件之一是定位技术,目前基于三维激光雷达的同步定位与建图(SLAM)技术是定位技术的主流方案。文章从三维激光SLAM的算法框架和关键模块进行总结,具体讨论了扫描匹配、后端优化、闭环检测、地图构建等关键模... 智能车辆实现自主导航的必要条件之一是定位技术,目前基于三维激光雷达的同步定位与建图(SLAM)技术是定位技术的主流方案。文章从三维激光SLAM的算法框架和关键模块进行总结,具体讨论了扫描匹配、后端优化、闭环检测、地图构建等关键模块的常用算法及改进;综述了几种开源的三维激光SLAM,并对比了其优缺点;对在应用中激光雷达局部点云稀疏、Z轴的漂移以及动态对象引发的噪声影响等关键性问题进行了分析阐述;指出了基于三维激光雷达的SLAM与深度学习相结合、多传感器融合是未来三维激光SLAM的发展和研究方向。 展开更多
关键词 SLAM技术 扫描匹配 智能车辆 三维激光雷达
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一种Intrabay物料运输系统的多目标实时调度方法 被引量:3
13
作者 吴立辉 朱登洁 张洁 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期769-774,共6页
为了提高晶圆制造Intrabay物料运输系统(简称Intrabay系统)的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑-匈牙利方法的Intrabay系统多目标实时调度方法。该方法实时响应运输小车空载和晶圆卡请求运输等动态事件,并对各事件时刻的Intrabay... 为了提高晶圆制造Intrabay物料运输系统(简称Intrabay系统)的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑-匈牙利方法的Intrabay系统多目标实时调度方法。该方法实时响应运输小车空载和晶圆卡请求运输等动态事件,并对各事件时刻的Intrabay系统调度子问题进行多目标优化求解。采用300mm的晶圆制造系统数据进行仿真实验并与传统的Intrabay系统调度方法进行比较,结果表明该方法在Intrabay系统和晶圆加工系统的多个指标综合性能方面优于传统Intrabay系统调度方法,验证了Intrabay系统多目标实时调度方法的有效性。 展开更多
关键词 晶圆制造 Intrabay物料运输系统 调度 多目标 实时
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高原隧道应力控制技术探讨
14
作者 李清油 蔡东 +1 位作者 程鹏 吴立辉 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2024年第1期0094-0098,共5页
久马高速地处高原,场区地质多为断层、煤层、岩体破碎、地下水丰富,施工环境和地质条件极差、地质构造非常复杂,围岩变化快。岩性应力极大,在隧道施工过程中,极易发生初支变形、侵限、掉块和坍塌等现象。因此,在隧道施工中,做好隧道防... 久马高速地处高原,场区地质多为断层、煤层、岩体破碎、地下水丰富,施工环境和地质条件极差、地质构造非常复杂,围岩变化快。岩性应力极大,在隧道施工过程中,极易发生初支变形、侵限、掉块和坍塌等现象。因此,在隧道施工中,做好隧道防坍控变,控制好隧道应力,从源头上防范与化解施工风险,是极其重要环节。文章就高原软岩隧道施工过程中如何进行应力控制进行了介绍,以供同行建设管理者借鉴。 展开更多
关键词 隧道 应力控制 技术与管理
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基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法 被引量:5
15
作者 吴立辉 张洁 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2009年第10期1921-1929,共9页
为了对大规模、复杂的晶圆制造系统进行有效建模,提出了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统分层建模方法。在设备层,对晶圆制造系统的系统资源、内部行为和知识进行封装,建立了设备层代理模型。在设备组层和系统层,根据系... 为了对大规模、复杂的晶圆制造系统进行有效建模,提出了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统分层建模方法。在设备层,对晶圆制造系统的系统资源、内部行为和知识进行封装,建立了设备层代理模型。在设备组层和系统层,根据系统需求对各设备组内部及其之间的关系进行配置,分别建立了设备层和系统层代理模型。该方法提高了模型的可配置和重用性,降低了建模的复杂性,同时将知识与模型的库所和变迁集成,增强了模型的运行决策能力。通过上海某企业的150 mm晶圆的生产数据验证,证明了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统模型的有效性。 展开更多
关键词 代理 晶圆制造系统 PETRI网 建模
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基于相空间重构的半导体制造系统日产出预测 被引量:3
16
作者 吴立辉 张洁 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期176-181,共6页
半导体制造系统的生产作业计划与调度优化困难、可行性较低的现状,对半导体制造系统的日产出预测提出了需求。在对预测研究现状进行分析的基础上,针对半导体制造系统的日产出时间序列体现的非线性的确定性而又类似随机的特点,提出一种... 半导体制造系统的生产作业计划与调度优化困难、可行性较低的现状,对半导体制造系统的日产出预测提出了需求。在对预测研究现状进行分析的基础上,针对半导体制造系统的日产出时间序列体现的非线性的确定性而又类似随机的特点,提出一种基于混沌相空间重构的蚂蚁—神经网络模型的预测方法。混沌相空间重构理论用于日产出时间序列的重构;神经网络用于日产出预测模型的构建;蚂蚁算法用于神经网络预测模型的权值和阈值参数的训练。通过某企业的实际生产数据进行测试,并与传统的预测方法比较,证明了该预测方法的有效性。 展开更多
关键词 日产出预测 相空间重构 神经网络 蚂蚁算法
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基于模糊神经网络的晶圆制造产出率预测方法研究 被引量:2
17
作者 吴立辉 赵斌 朱登洁 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2012年第7期57-60,共4页
晶圆侦测产出率指标的准确预测,对晶圆制造系统的投料计划和调度优化具有重要意义。为提高晶圆侦测产出率指标的预测精度,提出了一种基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法。基于某晶圆制造企业的实际生产数据,与传统的基于神经网络模... 晶圆侦测产出率指标的准确预测,对晶圆制造系统的投料计划和调度优化具有重要意义。为提高晶圆侦测产出率指标的预测精度,提出了一种基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法。基于某晶圆制造企业的实际生产数据,与传统的基于神经网络模型、泊松模型和负二项式模型的晶圆产出率预测方法进行比较,结果表明基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法具有更高的预测精度,证明了该预测方法的有效性。 展开更多
关键词 晶圆制造 晶圆侦测产出率 预测 模糊神经网络
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一种混合智能的Interbay系统调度方法 被引量:1
18
作者 吴立辉 颜丙生 张洁 《计算机工程》 CAS CSCD 2012年第22期228-231,共4页
为提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出一种混合智能的Interbay系统调度方法。采用Takagi-Sugeno模糊逻辑方法对晶圆卡运输成本模型的参数权重进行自适应调节,用匈牙利方法对Interbay系统的运输小车和晶圆工件进行... 为提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出一种混合智能的Interbay系统调度方法。采用Takagi-Sugeno模糊逻辑方法对晶圆卡运输成本模型的参数权重进行自适应调节,用匈牙利方法对Interbay系统的运输小车和晶圆工件进行优化指派。实验结果表明,该方法在Interbay系统和晶圆加工系统的多目标综合性能方面优于传统方法。 展开更多
关键词 晶圆制造 Interbay系统 调度 多目标 匈牙利方法 模糊逻辑
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基于模糊逻辑决策的Interbay系统晶圆卡运输成本模型 被引量:1
19
作者 吴立辉 颜丙生 张洁 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2012年第11期93-96,共4页
为了提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型。基于300mm晶圆制造系统数据进行仿真实验并与固定权重的晶圆卡运输成本模型进行比较,结果表明采用该模型能获得更优的Interba... 为了提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型。基于300mm晶圆制造系统数据进行仿真实验并与固定权重的晶圆卡运输成本模型进行比较,结果表明采用该模型能获得更优的Interbay系统多目标调度性能,表明论文提出的基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型是有效的。 展开更多
关键词 Interbay物料运输系统 晶圆卡 运输成本模型 模糊逻辑
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面向紧急订单的晶圆制造AMHS多目标调度方法 被引量:2
20
作者 吴立辉 宋昊举 +1 位作者 张中伟 武照云 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2020年第1期155-159,共5页
为提高晶圆制造整体式自动化物料运输系统中紧急订单的搬运性能,以晶圆卡平均等待时间、平均加工周期、平均搬运时间作为优化目标,建立了整体式自动化物料运输系统多目标调度模型。提出了一种基于循序搜索启发式规则的物料运输系统多目... 为提高晶圆制造整体式自动化物料运输系统中紧急订单的搬运性能,以晶圆卡平均等待时间、平均加工周期、平均搬运时间作为优化目标,建立了整体式自动化物料运输系统多目标调度模型。提出了一种基于循序搜索启发式规则的物料运输系统多目标调度方法,该方法针对晶圆卡搬运请求进行邻域循序搜索以匹配更优的搬运小车,从而提高紧急晶圆卡的搬运效率。仿真实验结果表明,与现有基于启发式优先规则的调度方法相比,该方法在紧急晶圆卡的平均加工周期、平均搬运时间、平均等待时间等性能指标方面具有更优的综合性能,且对普通晶圆卡的搬运性能影响更小,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 晶圆制造 紧急订单 多目标调度
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