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分子束外延技术及其进展 被引量:1
1
作者 周均铭 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第5期281-293,共13页
由于高频、高速光电子器件发展的需要,器件工作层的厚度及尺寸愈来愈小,已经较成熟的液相外延、汽相外延、真空淀积等薄膜制备方法已不能满足要求。许多新发展起来的多层异质器件,在某些场合希望组分和掺杂有较陡的分布。
关键词 分子束外延技术 液相外延 真空淀积 共淀积 光电子器件 薄膜制备 单原子 汽相外延 高能电子衍射仪 生长速率
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InGaAs/GaAs应变层量子阱的光学性质
2
作者 周均铭 候宏启 +1 位作者 王莉君 黄绮 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1989年第4期364-367,共4页
当由两种晶格失配的材料组成量子阱时,只要每层的厚度小于临界值,则两种材料会通过应变而使界面处不产生失配位错,可获高质量的晶体材料。这谓之应变层超晶格结构。
关键词 INGAAS GAAS 量子阱 光学特性
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不同严重度慢性阻塞性肺疾病患者肺康复策略比较 被引量:24
3
作者 任蕾 李庆云 +3 位作者 杜井波 周均铭 翁秋霖 陈小虎 《上海交通大学学报(医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期620-624,共5页
目的探讨不同严重度慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者如何选择肺康复策略。方法将89例稳定期COPD患者按严重度分为中度COPD组(n=32)、重度COPD组(n=36)和极重度COPD组(n=21),每组再随机分为对照组和肺康复干预策略1组和策略2组,并进行20周的... 目的探讨不同严重度慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者如何选择肺康复策略。方法将89例稳定期COPD患者按严重度分为中度COPD组(n=32)、重度COPD组(n=36)和极重度COPD组(n=21),每组再随机分为对照组和肺康复干预策略1组和策略2组,并进行20周的康复干预。比较干预前后及各组间患者BODE指数、6 min步行距离(6MWD)、呼吸困难程度评分(MMRC)、肺功能(FEV1)、体质量指数(BMI)及COPD急性加重次数的变化。结果经过20周的肺康复干预,COPD中度、重度患者策略2疗效最好,干预前后6MWD比较差异有统计学意义(P<0.01),但BODE指数、MMRC、BMI和FEV1比较差异无统计学意义(P>0.05)。极重度COPD患者策略1组疗效最好,干预前后MMRC比较差异有统计学意义(P<0.05),但BODE指数、6MWD、BMI和FEV1比较差异无统计学意义(P>0.05)。重度COPD患者策略2组的BODE指数和6MWD改善效果最好(均P<0.000 1);极重度COPD患者策略1组MMRC改善效果最好(P<0.01)。Poisson回归分析显示,重度COPD患者在肺康复干预后急性加重次数明显减少(P<0.01);其余不同干预组和不同严重度组间比较差异均无统计学意义(P>0.05)。结论针对不同严重度COPD患者可采取不同的肺康复策略以取得最佳疗效。 展开更多
关键词 慢性阻塞性肺疾病 肺康复 BODE指数 6MIN步行距离 呼吸困难程度评分 急性加重次数
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256×1甚长波量子阱红外焦平面研究 被引量:7
4
作者 李宁 郭方敏 +4 位作者 熊大元 陆卫 王文新 黄绮 周均铭 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期756-758,共3页
GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器由于其所依据的GaAs基材料较为成熟的材料生长和器件制备工艺,使其特别适合于高均匀性、大面积红外焦平面的应用。报道了甚长波256×1元GaAs/AlGaAs多量子阱红外焦平面器件的研制成果,探测器的峰值波长... GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器由于其所依据的GaAs基材料较为成熟的材料生长和器件制备工艺,使其特别适合于高均匀性、大面积红外焦平面的应用。报道了甚长波256×1元GaAs/AlGaAs多量子阱红外焦平面器件的研制成果,探测器的峰值波长为15μm,响应带宽大于1.5μm。在40 K工作温度下,器件的平均黑体响应率Rp=3.96×106 V/W,平均黑体探测率为Db*=1.37×109 cm.Hz1/2/W,不均匀性为11.3%,并应用研制的器件获得了物体的热像图。 展开更多
关键词 量子阱 焦平面 甚长波 红外探测器
原文传递
r面蓝宝石衬底上采用两步AlN缓冲层法外延生长a面GaN薄膜及应力研究 被引量:5
5
作者 颜建锋 张洁 +5 位作者 郭丽伟 朱学亮 彭铭曾 贾海强 陈弘 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1562-1567,共6页
采用MOCVD技术在r面蓝宝石衬底上采用两步AlN缓冲层法外延制备了a面GaN薄膜.利用高分辨X射线衍射技术和Raman散射技术分析了样品的质量以及外延膜中的残余应力.实验结果表明:样品的(11■0)面的X射线双晶摇摆曲线的半峰宽仅为0.193°... 采用MOCVD技术在r面蓝宝石衬底上采用两步AlN缓冲层法外延制备了a面GaN薄膜.利用高分辨X射线衍射技术和Raman散射技术分析了样品的质量以及外延膜中的残余应力.实验结果表明:样品的(11■0)面的X射线双晶摇摆曲线的半峰宽仅为0.193°,Raman光谱中E2高频模的半峰宽仅为3.9cm-1,这些说明a面GaN薄膜具有较好的晶体质量;X射线研究结果表明样品与衬底的位相关系为:[11■0]GaN‖[1■02]sapphire,[0001]GaN‖[■101]sapphire和[■100]GaN‖[11■0]sapphire;高分辨X射线和Raman散射谱的残余应力研究表明,采用两步AlN缓冲层法制备的a面GaN薄膜在平面内的残余应力大小与用低温GaN缓冲层法制备的a面GaN薄膜不同,我们认为这是由引入AlN带来的晶格失配和热失配的变化引起的. 展开更多
关键词 GaN 非极性 X射线衍射 RAMAN谱 残余应力
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P^+-Ge_xSi_(1-x)/P—Si异质结红外探测器性能的提高 被引量:5
6
作者 王瑞忠 陈培毅 +3 位作者 钱佩信 罗广礼 周均铭 刘安生 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期362-365,共4页
通过采用层叠结构、增加SiO2介质腔和铝反射镜、背面蒸镀SiO抗反射层等措施,使P+-GexSi1-x/p—Si异质结内光发射红外探测器在77K下的性能提高到在不加偏置电压的条件下响应范围2~8μm,D(5.5,1000,1)=1.1×1010cmHz1/... 通过采用层叠结构、增加SiO2介质腔和铝反射镜、背面蒸镀SiO抗反射层等措施,使P+-GexSi1-x/p—Si异质结内光发射红外探测器在77K下的性能提高到在不加偏置电压的条件下响应范围2~8μm,D(5.5,1000,1)=1.1×1010cmHz1/2/W,量子效率可达4%。其Dp已达到实用的PtSi红外探测器的量级。另外,在器件的结构设计中,我们采用了一种改进的电极结构,以提高器件的性能和可靠性。 展开更多
关键词 层叠结构 介质腔 异质结 红外探测器
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Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器的光荧光表征 被引量:2
7
作者 蔡炜颖 李志锋 +4 位作者 李宁 陆卫 沈学础 周均铭 黄绮 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期66-68,共3页
对 Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器器件进行显微荧光光谱 (μ- PL)测量 ,光谱中表征势垒、势阱基态间光跃迁能量位置的荧光峰直接与势垒中 Al含量相关 ,通过光谱实验上对势垒和量子阱带间跃迁能量的确定并结合有效质量理论的计算 ,获... 对 Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器器件进行显微荧光光谱 (μ- PL)测量 ,光谱中表征势垒、势阱基态间光跃迁能量位置的荧光峰直接与势垒中 Al含量相关 ,通过光谱实验上对势垒和量子阱带间跃迁能量的确定并结合有效质量理论的计算 ,获得了 Al组分和阱宽值 ,并由此推算出相应的红外探测响应波长 ,与光电流谱的实验结果相比吻合良好 . 展开更多
关键词 量子阱 红外探测器 多量子阱 峰值响应波长 显微荧光光谱 铝组分 势阱宽度 GaAs ALGAAS
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高灵敏度穿通型异质结光电晶体管 被引量:4
8
作者 李国辉 韩德俊 +4 位作者 韩卫 姬成周 朱恩均 周均铭 黄绮 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期214-221,共8页
报导了一种带有独特隔离环结构的宽禁带发射区平面穿通型光电晶体管(GR-PTHPT),在弱光信号下具有高灵敏度。器件工作时基区全部耗尽,基极电流基本为零,输出噪声电流大大下降,使光电增益提高了一个量级以上。已研制成的G... 报导了一种带有独特隔离环结构的宽禁带发射区平面穿通型光电晶体管(GR-PTHPT),在弱光信号下具有高灵敏度。器件工作时基区全部耗尽,基极电流基本为零,输出噪声电流大大下降,使光电增益提高了一个量级以上。已研制成的GaAlAs/GaAs穿通型光电晶体管(发射极直径φ=4μm)。在5V工作电压下,对0.8μm,1.3nw和43nw弱光的光电增益分别为1260和8108。折合到输入端暗电流为0.83nA。 展开更多
关键词 高灵敏度 穿通型 异质结 光电晶体管
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量子阱红外探测器响应峰值波长的Raman散射测量 被引量:2
9
作者 程兴奎 连洁 +3 位作者 王青圃 周均铭 黄绮 闫循领 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期97-99,共3页
通过测量多量子阱材料的Raman散射谱,可以预测出:由该种材料制出的量子阱红外探测器的响应峰值波长.它既不需要实际制出量子阱红外探测器,也不需要对多量子阱结构材料进行抛光处理,方法简便,结果可靠.
关键词 量子阱红外探测器 峰值波长 散射测量 响应 Raman散射谱 多量子阱材料 抛光处理 结构材料
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快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的修饰 被引量:2
10
作者 李宁 刘兴权 +7 位作者 李娜 陈效双 陆卫 徐文兰 袁先璋 沈学础 黄绮 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期264-267,共4页
应用快速热退火的方法将 Ga As/Al Ga As多量子阱红外探测器的峰值响应波长从7.7μm移动到 8~ 1 4μm大气窗口内 .通过测量单元器件的光电流谱、响应率和 I- V特性 ,分析了快速热退火对 Ga As/Al Ga
关键词 量子阱 红外探测器 快速退火 砷化镓 ALGAAS
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量子共振隧穿二极管的频率特性与分析 被引量:2
11
作者 张世林 牛萍娟 +6 位作者 梁惠来 郭维廉 赵振波 郝景臣 王文君 周均铭 黄绮 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1192-1195,共4页
用 HP8 510 C网络分析仪测量了 Al As/In Ga As/Al As共振隧穿二极管的 S参数 ,通过实测曲线拟合提取器件等效电路参数 ,计算出所研制器件的阻性截止频率为 54GHz。
关键词 量子共振隧穿二极管 频率特性 RTD S参数 纳米负阻器件
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图形衬底上应变SiGe/Si超晶格的结构及光致发光研究 被引量:2
12
作者 司俊杰 杨沁清 +4 位作者 高俊华 滕达 王启明 郭丽伟 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期353-357,共5页
本文研究了在Si的图形衬底上生长应变SiGe/Si超晶格的结构和其光致发光性质.图形衬底由光刻形成的类金字塔结构组成.发现在组成倒金字塔结构的(111)面的交界处有富Ge的SiGe量子线出现.对相同条件下图形衬底和平... 本文研究了在Si的图形衬底上生长应变SiGe/Si超晶格的结构和其光致发光性质.图形衬底由光刻形成的类金字塔结构组成.发现在组成倒金字塔结构的(111)面的交界处有富Ge的SiGe量子线出现.对相同条件下图形衬底和平面衬底上的应变SiGe层的光致发光谱进行了比较,图形衬底上总的发光强度相对提高了5.2倍.认为这种提高同富Ge的SiGe量子线的产生相关. 展开更多
关键词 锗化硅 图形衬底 结构 光致发光
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GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的γ辐照研究 被引量:2
13
作者 李宁 李娜 +5 位作者 胡新文 袁先漳 陆卫 沈学础 黄绮 周均铭 《量子电子学报》 CAS CSCD 2000年第3期265-268,共4页
本文报道了γ射线辐照对量子阱红外探测器性能的影响.γ射线的辐射剂量分别为1mrad、6mrad、16mrad.测量了器件在不同γ辐照剂量下的光谱响应、暗电流、黑体响应率.通过对实验结果的分析,暗电流和黑体响应率随γ辐照剂量增加而递减... 本文报道了γ射线辐照对量子阱红外探测器性能的影响.γ射线的辐射剂量分别为1mrad、6mrad、16mrad.测量了器件在不同γ辐照剂量下的光谱响应、暗电流、黑体响应率.通过对实验结果的分析,暗电流和黑体响应率随γ辐照剂量增加而递减,表明探测器的性能随γ射线辐照剂量的增加而逐步衰减. 展开更多
关键词 多量子阱 红外探测器 Γ射线辐照 砷化镓
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纳电子器件谐振隧道二极管的研制 被引量:2
14
作者 梁惠来 赵振波 +9 位作者 郭维廉 张世林 牛萍娟 杨中月 郝景臣 张豫黔 王文君 魏碧华 周均铭 王文新 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期91-94,共4页
采用分子束外延方法在砷化镓衬底上生长了双垒单阱结构 ,然后用常规半导体器件工艺制成了谐振隧穿二极管 (RTD) ,有相当好的 I- V特性 .对于 5μm× 5μm的 RTD器件 ,在室温条件下 ,测得其峰谷比最大可到 7.6∶ 1,最高振荡频率大于 2 6
关键词 纳米电子器件 谐振隧道二极管 砷化镓
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GaAs(110)量子阱材料生长和光学特性 被引量:2
15
作者 刘林生 刘肃 +8 位作者 王文新 赵宏鸣 刘宝利 蒋中伟 高汉超 王佳 黄庆安 陈弘 周均铭 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期678-683,共6页
GaAs(110)衬底上生长GaAs外延层时,不同生长条件下存在单层和双层两种生长模式,对应反射高能电子衍射(RHEED)强度振荡呈现出单双周期的变化。通过透射电子显微镜(TEM)、室温和低温光荧光谱(PL谱)对两种生长模式下的样品进行了测量。结... GaAs(110)衬底上生长GaAs外延层时,不同生长条件下存在单层和双层两种生长模式,对应反射高能电子衍射(RHEED)强度振荡呈现出单双周期的变化。通过透射电子显微镜(TEM)、室温和低温光荧光谱(PL谱)对两种生长模式下的样品进行了测量。结果表明,量子阱样品在双层生长模式下光学性能较差,单层生长模式下光学性能比较好,但是量子阱界面会变得粗糙。利用这一特点,采用RHEED强度振荡技术,能够实现在GaAs(110)衬底上生长高质量量子阱。 展开更多
关键词 光荧光谱 砷化镓 量子阱 分子束外延
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宽带3—5μm量子阱红外探测器的研制 被引量:2
16
作者 李宏伟 李卫 +1 位作者 黄绮 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期1220-1223,共4页
采用分子束外延方法在 Ga As衬底上生长了 n型掺杂的应变 In Ga As/Al Ga As多量子阱结构 ,制作成 3— 5μm波段的量子阱红外探测器 ,响应峰值波长 λp=4.2 μm,响应带宽可达 Δλ/λ=50 % ,50 0 K黑体探测率 D*BB(50 0 ,1 0 0 0 ,1 )达... 采用分子束外延方法在 Ga As衬底上生长了 n型掺杂的应变 In Ga As/Al Ga As多量子阱结构 ,制作成 3— 5μm波段的量子阱红外探测器 ,响应峰值波长 λp=4.2 μm,响应带宽可达 Δλ/λ=50 % ,50 0 K黑体探测率 D*BB(50 0 ,1 0 0 0 ,1 )达 1 .7× 1 0 10 cm.Hz1/2 /W. 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 探测率 INGAAS/ALGAAS
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GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器特性非对称性分析 被引量:1
17
作者 李娜 李宁 +9 位作者 陆卫 袁先漳 李志锋 窦红飞 刘京郊 沈学础 金莉 李宏伟 周均铭 黄绮 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期411-414,共4页
在分子束外延生长量子阱材料过程中 ,分析了在不同的 Ga As/ Al Ga As异质结生长次序中 Ga的解吸附速率不同和量子阱中掺杂的扩散造成量子阱结构的不对称 ,讨论了 Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器的性能参数相对于正负偏压的不对称性 ... 在分子束外延生长量子阱材料过程中 ,分析了在不同的 Ga As/ Al Ga As异质结生长次序中 Ga的解吸附速率不同和量子阱中掺杂的扩散造成量子阱结构的不对称 ,讨论了 Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器的性能参数相对于正负偏压的不对称性 ,并与金属有机化合物汽相沉淀法生长的量子阱材料和相应器件进行了比较 .发现 。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 不对称性 解吸附速率 砷化镓 异质结 GAAS/ALGAAS
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甚长波量子阱红外探测器光耦合性能 被引量:1
18
作者 郭方敏 李宁 +8 位作者 于绍欣 熊大元 林剑锋 侯颖 何瑜环 朱自强 陆卫 黄绮 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1109-1114,共6页
从实验、测试和计算结果出发,运用有限时域差分法(FDTD)和传统的模式扩展(MEM)理论,研究甚长波量子阱红外探测器(QWIP)几种衍射光耦合的表面近场效应和光耦合效率,重点考察QWIP45°面边耦合、光栅耦合QWIP结构、光栅尺寸、工艺条件... 从实验、测试和计算结果出发,运用有限时域差分法(FDTD)和传统的模式扩展(MEM)理论,研究甚长波量子阱红外探测器(QWIP)几种衍射光耦合的表面近场效应和光耦合效率,重点考察QWIP45°面边耦合、光栅耦合QWIP结构、光栅尺寸、工艺条件的变化对QWIP相关性能的影响.实验与计算结果证明,合理地设计二维光栅,进行甚长波QWIP光耦合,可以获得有效的光耦合效果. 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 光耦合 2D光栅 响应率 探测率
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量子干涉效应在红外探测器能带结构设计中的应用 被引量:1
19
作者 连洁 王青圃 +5 位作者 程兴奎 张飒飒 姜军 张瑞峰 周均铭 黄绮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期272-276,共5页
利用量子干涉效应,提出设计GaAs/AlxGa1-xAs量子阱红外探测器能带结构的方法。此法比K-P方法简便易行,而且随着势垒宽度的增加,两种方法所得结果趋于一致。这表明新方法更适合计算具有较宽势垒超晶格的电子态。另外,用新方法对超晶格样... 利用量子干涉效应,提出设计GaAs/AlxGa1-xAs量子阱红外探测器能带结构的方法。此法比K-P方法简便易行,而且随着势垒宽度的增加,两种方法所得结果趋于一致。这表明新方法更适合计算具有较宽势垒超晶格的电子态。另外,用新方法对超晶格样品的光电流谱进行了分析,所得结果比K-P方法更接近实验值。由此证实了量子干涉效应引起的电子能态的存在和新方法在量子阱红外探测器能带结构设计中的实用性。 展开更多
关键词 红外探测器 超晶格材料 量子干涉效应 K-P方法 能带结构
原文传递
一种新型结构的InGaP/GaAs负阻异质结晶体管 被引量:1
20
作者 郭维廉 齐海涛 +8 位作者 张世林 钟鸣 梁惠来 毛陆虹 宋瑞良 周均铭 王文新 C.Jagadish 傅岚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1783-1788,共6页
利用硅双基区晶体管(DUBAT)产生负阻的原理,针对HBT器件结构和MBE材料结构的特点,设计并研制出一种基区刻断结构的负阻型HBT(NDRHBT).经过特性和参数测试,证明此种NDRHBT具有显著的微分负阻效应,并发现负电流区负阻效应和光照可改变其I... 利用硅双基区晶体管(DUBAT)产生负阻的原理,针对HBT器件结构和MBE材料结构的特点,设计并研制出一种基区刻断结构的负阻型HBT(NDRHBT).经过特性和参数测试,证明此种NDRHBT具有显著的微分负阻效应,并发现负电流区负阻效应和光照可改变其IV特性,器件模拟结果和测试结果基本一致. 展开更多
关键词 异质结双极晶体管 双基区晶体管 三端负阻器件 逻辑功能器件
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