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基于电容传感器的精密压电微位移系统研究 被引量:7
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作者 李慧鹏 唐若祥 +1 位作者 吕亚宁 孙业飞 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第1期146-150,共5页
利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统,极大地矫正了压电陶瓷的非线性。设计了高精度的位移检测电路,实时采集电容传感器的电容量并转换成数字信号反馈给DSP,形成位移信息的闭环。结合带有前馈补偿的... 利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统,极大地矫正了压电陶瓷的非线性。设计了高精度的位移检测电路,实时采集电容传感器的电容量并转换成数字信号反馈给DSP,形成位移信息的闭环。结合带有前馈补偿的PID闭环控制策略,矫正压电陶瓷的非线性特性,进而实现微位移系统精密定位。对设计研制的微位移系统进行试验测试,结果表明:位移检测电路的电容分辨率可达0.000 1pF,微位移系统定位精度优于5nm,校正后迟滞误差低于1.0%。 展开更多
关键词 压电陶瓷 电容传感器 PID闭环控制 微位移 AD7745
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基于光切法的曲面划痕深度测量技术 被引量:5
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作者 李慧鹏 吕亚宁 +2 位作者 孙业飞 唐若祥 刘缤艳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期92-98,共7页
提出了一种基于光切法的曲面划痕测量方法,相对传统光切法,能有效地提高划痕测量的精度.对传统光切法测量存在的不足进行分析,对曲面上划痕的测量误差进行分析建模及仿真.结果表明,传统光切法对曲面上划痕的测量误差会随着曲率半径和划... 提出了一种基于光切法的曲面划痕测量方法,相对传统光切法,能有效地提高划痕测量的精度.对传统光切法测量存在的不足进行分析,对曲面上划痕的测量误差进行分析建模及仿真.结果表明,传统光切法对曲面上划痕的测量误差会随着曲率半径和划痕宽度的变化而变化.实验选取不同曲率半径的精密零部件,对其表面的划痕进行测量.发现当曲率半径越小,划痕宽度越大,传统光切法对划痕深度测量的误差越大,而用本文所提方法测量的结果精度越高,当曲率半径小于10mm,划痕宽度大于283μm时,利用该方法能减小超过1μm的测量误差. 展开更多
关键词 光切法 划痕 曲面 测量误差 建模仿真
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直线超声电机动子运动特性研究 被引量:1
3
作者 李慧鹏 孙业飞 +2 位作者 唐若祥 吕亚宁 刘缤艳 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期344-348,共5页
对基于面内振动的直线超声电机运动特性进行研究,简述了电机工作原理及定子椭圆运动产生条件,分析了电机运转时动子与定子的接触状态。结合定子周期性伸缩振动,以等速点(定子与动子速度相等时刻点)和临界接触点为分割点,研究了一个激励... 对基于面内振动的直线超声电机运动特性进行研究,简述了电机工作原理及定子椭圆运动产生条件,分析了电机运转时动子与定子的接触状态。结合定子周期性伸缩振动,以等速点(定子与动子速度相等时刻点)和临界接触点为分割点,研究了一个激励信号周期内动子的速度变化趋势,建立了稳态下动子的速度模型和位移模型。基于所建模型,借助仿真手段研究了动、定子装配间距与动子速度之间的关系。结果表明,在保证电机正常工作的前提下,动子运动速度与动、定子间装配间距近似线性关系。 展开更多
关键词 直线超声电机 运动特性 装配间距 速度模型 位移模型
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基于L型工装的质心及转动惯量测量方法 被引量:2
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作者 唐若祥 李慧鹏 +1 位作者 吕亚宁 孙佳欣 《航天制造技术》 2016年第5期28-31,34,共5页
针对航天产品尺寸大、重量大的特点,为满足其质量特性测量需求,以气浮轴承型质量特性测量设备为基础,设计了一种基于L型翻转工装的质量特性测量系统,水平测量时无需二次吊装,极大提高了测量精度与测量效率,实现了某型号产品的质心及转... 针对航天产品尺寸大、重量大的特点,为满足其质量特性测量需求,以气浮轴承型质量特性测量设备为基础,设计了一种基于L型翻转工装的质量特性测量系统,水平测量时无需二次吊装,极大提高了测量精度与测量效率,实现了某型号产品的质心及转动惯量的三轴测量。 展开更多
关键词 L型工装 质心 转动惯量 质量特性测量
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基于U型工装的质心及转动惯量测量误差分析
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作者 孙业飞 李慧鹏 +1 位作者 唐若祥 张斌 《计量技术》 2017年第2期8-12,共5页
飞行器质量特性参数是飞行器自动控制导航技术的重要参数,精确测量飞行器质量特性参数至关重要,为此提出了使用非平衡力矩法测量飞行器质心以及扭摆法测量转动惯量,该测量方法选用U型工装作为连接部件。通过对测量过程中测量误差进... 飞行器质量特性参数是飞行器自动控制导航技术的重要参数,精确测量飞行器质量特性参数至关重要,为此提出了使用非平衡力矩法测量飞行器质心以及扭摆法测量转动惯量,该测量方法选用U型工装作为连接部件。通过对测量过程中测量误差进行分析,给出了理论误差计算公式。最后通过实验验证了利用U型工装作为连接工件时完全满足精度要求。 展开更多
关键词 质心 转动惯量 U型工装 误差分析
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