离子束抛光仪可以快速切割试样,无应力应变层,无外来污染物,暴露试样内部的真实结构信息。Leica EM TIC 3X型三离子束抛光仪是由3个离子源同时加工,具有离子束宽度大、面积大、非聚焦型离子源能量分散、对试样损伤小等优点。对该仪器的...离子束抛光仪可以快速切割试样,无应力应变层,无外来污染物,暴露试样内部的真实结构信息。Leica EM TIC 3X型三离子束抛光仪是由3个离子源同时加工,具有离子束宽度大、面积大、非聚焦型离子源能量分散、对试样损伤小等优点。对该仪器的日常维护保养内容进行了总结归纳,并列举了若干常见问题及其解决方法,研究结果可为仪器使用者提供参考。展开更多
文摘离子束抛光仪可以快速切割试样,无应力应变层,无外来污染物,暴露试样内部的真实结构信息。Leica EM TIC 3X型三离子束抛光仪是由3个离子源同时加工,具有离子束宽度大、面积大、非聚焦型离子源能量分散、对试样损伤小等优点。对该仪器的日常维护保养内容进行了总结归纳,并列举了若干常见问题及其解决方法,研究结果可为仪器使用者提供参考。