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题名超光滑硅柱面反射镜的加工和检测
被引量：8
- 1
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作者
孙侠菲
余景池
丁泽钊
郭培基
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机构
苏州大学现代光学技术省重点实验室
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第6期497-498,共2页
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文摘
介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法。给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果。
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关键词
超光滑
柱面反射镜
加工
检测
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Keywords
super-smooth
cylindrical mirror
fabrication and testing
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分类号
TH706
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名光学玻璃光学均匀性的绝对测量技术
被引量：13
- 2
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作者
郭培基
余景池
丁泽钊
孙侠菲
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机构
苏州大学现代光学技术研究所
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期26-27,共2页
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文摘
光学玻璃的光学均匀性的测量是制造高质量光学玻璃的保证 ,本文详细介绍了三种用于测量光学玻璃光学均匀性的绝对测量方法 ,并利用其中的一种方法研制了一台高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪 ,实验结果表明其对 40mm左右厚光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达 1× 10 - 6 。
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关键词
光学玻璃
绝对测量方法
光学均匀性测量仪
干涉检测
检测丰青度
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Keywords
homogeneity of optical glass,testing apparatus,absolute testing
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分类号
TQ171.734
[化学工程—玻璃工业]
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题名光学玻璃光学均匀性高精度测量技术
被引量：11
- 3
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作者
郭培基
余景池
丁泽钊
孙侠菲
-
机构
苏州大学现代光学技术研究所
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出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2001年第6期528-529,531,共3页
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文摘
高质量的透射光学系统对光学材料的光学均匀性要求非常高 ,材料局部折射率 10 -6 量级的变化就可能破坏整个系统的性能。详细介绍了三种用于测量光学玻璃光学均匀性的干涉法 ,研制了一台高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪。实验结果表明 :40mm左右厚的光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达 1× 10 -6 。
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关键词
光学材料
光学均匀性
检测
光学玻璃
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Keywords
Error analysis
Optical properties
Optical variables measurement
Refractive index
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分类号
TQ171.734
[化学工程—玻璃工业]
TH706
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计
被引量：8
- 4
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作者
郭培基
余景池
孙侠菲
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机构
苏州大学现代光学技术研究所
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002年第5期518-532,共15页
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文摘
利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法 ,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪 ,用补偿法的关键是补偿器的设计。本文介绍了补偿法检测非球面的原理 ,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯 ,设计了一种由 4片薄球面透镜组成的补偿器 ,该补偿器由前后两部分组成 ,前面两片组成一个数值孔径很小的系统 ,主要用于产生适量的球差 ,后组两片组成一个数值孔径较大的系统 ,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要。文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析。用这种补偿器检测相应的非球面 ,检测精度可达 0 .0 5λ ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要。
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关键词
补偿法
补偿器
大数值孔径小非球面
控制
设计
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Keywords
compensation null test
null lenses
small aspherical surface with large NA
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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题名高精度光学玻璃光学均匀性测量仪研制
被引量：7
- 5
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作者
郭培基
余景池
丁泽钊
孙侠菲
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机构
苏州大学现代光学技术研究所
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期36-37,共2页
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文摘
围绕研制大口径高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪 ,简要介绍一种光学玻璃光学均匀性的绝对测量原理及其优点 ,介绍了系统组成、数据处理方法与流程 ,给出了与Zygo干涉仪的对比测量结果 ,结果表明其对大于 3 0mm厚光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达 1×10 - 6 。
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关键词
光学玻璃
光学均匀性
测量仪
检测精度
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Keywords
homogeneity of optical glass
testing apparatus
accuracy
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分类号
TQ171.734
[化学工程—玻璃工业]
-
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题名光学元件检测技术的研究
被引量：11
- 6
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作者
余景池
孙侠菲
郭培基
丁泽钊
-
机构
苏州大学现代光学技术省重点实验室
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第S1期15-18,共4页
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文摘
介绍了光学非球面加工精磨阶段和抛光阶段的检测技术、柱面镜面形的测量方法、超高精度球面面形的测量方法和光学元件参数的高精度测量技术。
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关键词
光学元件
非球面
面形测量
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Keywords
Optical elements
Aspheric surface
Profile measurement
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分类号
TP274.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名波差与表面斜率误差评价方法的讨论
被引量：1
- 7
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作者
余景池
郭培基
孙侠菲
丁泽钊
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机构
苏州大学现代光学技术省重点实验室
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第6期543-544,共2页
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文摘
对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论。以具有不同面形精度的光学元件 ,在不同的数据处理方法下得到的结果为例 ,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系。
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关键词
波差
斜率误差
面形评价
光学元件
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Keywords
wavefront error
slope error
assessment method
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分类号
TH706
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名超声波加工盲孔的研究
被引量：1
- 8
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作者
张忠玉
余景池
孙侠菲
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机构
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
1999年第2期38-41,共4页
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文摘
本文以超声波加工机对玻璃等硬脆材料元件的加工工艺为主要研究对象，阐述了超声波加工的原理、变幅杆和刀具的设计以及加工工艺的研究，并将它应用在空间光学系统中光学元件的轻量化的加工。同时对加工后的表面微观特性——表面微裂纹和表面微应力进行具体测试分析，以解决在复杂的空间环境中元件的表面质量对使用精度和应力变形的影响，从而提出适于大型光学元件轻量化的工艺技术方法。
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关键词
超声波加工
表面微裂纹
轻量化
盲孔
光学元件
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Keywords
Ultrasonic machining
Surface microcrack
weight lightening
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分类号
TH740.6
[机械工程—光学工程]
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题名计算机控制光学表面成型技术综述
被引量：23
- 9
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作者
余景池
张学军
孙侠菲
张忠玉
郑卫平
王权陡
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机构
长春光机所应用光学国家重点实验室
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
1998年第3期6-8,共3页
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文摘
介绍了计算机控制光学表面成型技术的原理基础，目前的进展及其将来的趋势。主要介绍美国、法国、俄罗斯的科学家在这项技术上的成果，也简单介绍了我国在这一领域的研究工作。最后提出了目前还存在的问题。
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关键词
计算机控制
表面成型
非球面
光学表面
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Keywords
computer controlled surfacing, aspheric surface
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分类号
TH740.6
[机械工程—光学工程]
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题名计算机控制非球面加工精磨阶段的检测技术
被引量：6
- 10
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作者
余景池
张学军
孙侠菲
张忠玉
王权陡
郑卫平
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机构
长春光机所应用光学国家重点实验室
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出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
1998年第3期38-40,共3页
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文摘
讨论了计算机控制非球面加工（ＣＣＯＳ）过程中精磨阶段的面形误差数字化技术。提出了线性插值法代替惯用的泽尼克多项式拟合用于表面的精磨。并给出应用实例，验证了该方法的有效性。
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关键词
非球面
面形误差
检测
精度
计算机控制
光学
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Keywords
aspheric surface, surface map error, testing, fine grinding.
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分类号
TH740.6
[机械工程—光学工程]
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