面向微加工的虚拟光刻系统建模与实现

1

作者 孙广毅 赵新 卢桂章 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期76-81,共6页

提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D。该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型,实现了投影式光学光刻的三维模拟。它拥有标准的GDSII、CIF版图格式接口和支持各种光学参数(包括数值孔径、波长、离焦量,光刻胶厚度... 提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D。该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型,实现了投影式光学光刻的三维模拟。它拥有标准的GDSII、CIF版图格式接口和支持各种光学参数(包括数值孔径、波长、离焦量,光刻胶厚度、表面折射率等)的模拟设置。模拟结果的显示采用了体绘制与网格相结合的方法,增强了结果的可视性。此外,光刻模拟结果可以直接导入到虚拟工艺系统ZProcess中作为刻蚀工艺的掩膜输入,实现了光刻工艺与其他微机电系统(MEMS)工艺模拟的无缝集成。一系列模拟结果验证了该系统的可行性。 展开更多

关键词 微加工 光刻 虚拟工艺 工艺模拟

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基于三维数据场可视化方法的虚拟MEMS加工工艺的研究

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作者 孙广毅 赵新 卢桂章 《自动化与仪表》 2005年第S1期6-10,共5页

虚拟加工工艺是利用计算机产生三维图形的动态生长来模拟实际的加工过程,而如何生成真实自然的三维图形就成了关键所在。本文提出了一种基于三维数据场可视化来实现虚拟加工的方法。该方法类似于医学数据三维重建, 由一序列的分层切片... 虚拟加工工艺是利用计算机产生三维图形的动态生长来模拟实际的加工过程,而如何生成真实自然的三维图形就成了关键所在。本文提出了一种基于三维数据场可视化来实现虚拟加工的方法。该方法类似于医学数据三维重建, 由一序列的分层切片的二维图像重构三维形体。首先根据给出的虚拟加工工艺数据对原始二维版图进行相应的数学形态学变换生成一系列所需的二维切片图像,然后利用这些二维切片图像对体数据场进行初始化,最后采用Marching Cubes方法从体数据场中构造出等值面。本文主要阐述了如何根据工艺参数对原始版图进行数学形态学变换以及如何构造体数据场进行等值面的绘制。 展开更多

关键词 三维数据场可视化 数学形态学 虚拟工艺 分层切片

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基于超宽带的移动机器人室内定位系统设计 被引量：26

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作者 卢靖宇 余文涛 +1 位作者 赵新 孙广毅 《电子技术应用》 北大核心 2017年第5期25-28,共4页

针对目前移动机器人室内定位方式灵活性差和精度不高的问题,设计了一种基于超宽带(UWB)的高精度移动机器人室内定位系统。系统以UWB射频模块组成无线传感器网络,包括基站(Anchor)和安装在移动机器人顶端的标签(Tag)。采用非对称双边双... 针对目前移动机器人室内定位方式灵活性差和精度不高的问题,设计了一种基于超宽带(UWB)的高精度移动机器人室内定位系统。系统以UWB射频模块组成无线传感器网络,包括基站(Anchor)和安装在移动机器人顶端的标签(Tag)。采用非对称双边双向测距技术(ADS-TWR)获得标签到各基站之间的距离信息,无需基站与标签、基站与基站之间的时钟同步。距离信息通过Wi Fi由基站传输到上位机,利用卡尔曼滤波算法对距离信息进行优化后进行定位。测试结果表明,该系统具有布设简单、高精度、高实时性的特点,定点定位误差在13 cm以内,动态点定位误差小于20 cm。 展开更多

关键词 超宽带 室内定位 移动机器人 系统设计

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Sobolev空间中集值映射不动点的连续选择(Ⅰ)——连续选择定理 被引量：1

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作者 孙广毅 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第1期139-142,共4页

在Sobolev空间中利用Lebesgue积分引入了一种函数 ,给出了该函数连续的条件 ,证明了该函数是Sobolev空间上的连续半范 .在此基础上 ,建立了Sobolev空间中一类集值映射连续选择的存在性定理 。

关键词 Soboley空间 集值映射 不动点 连续选择 连续选择定理 可分解性

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有限理性基金管理人行为研究 被引量：1

5

作者 孙广毅 姜海珠 贾书丽 《中国市场》 2010年第15期130-131,134,共3页

基于基金管理人认知模式和决策选择的理性分析,探讨有限理性基金管理人的行为机理,了解到有限理性的基金管理人的博弈行为是造成股市大幅度波动的因素之一,应用学习速度很慢的成员组成的大群体反复博弈进行较深入的分析和研究,对这些行... 基于基金管理人认知模式和决策选择的理性分析,探讨有限理性基金管理人的行为机理,了解到有限理性的基金管理人的博弈行为是造成股市大幅度波动的因素之一,应用学习速度很慢的成员组成的大群体反复博弈进行较深入的分析和研究,对这些行为及背后原因的分析,将有助于规范和引导基金管理人行为,促进证券投资基金的健康发展。 展开更多

关键词 有限理性 认知模式 决策选择 行为

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MEMS版图自动生成与工艺匹配系统研究

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作者 任亮 赵新 +1 位作者 卢桂章 孙广毅 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期479-484,共6页

根据MEMS工艺设计的特点提出了反馈式专家系统运作方式,并据此给出了MEMS版图自动生成与工艺匹配系统的体系结构.同虚拟MEMS加工工艺相比,该系统可实现工艺流水的逆向推理流程,由此,进一步给出了系统逆向推理所需的专家规则描述方式和... 根据MEMS工艺设计的特点提出了反馈式专家系统运作方式,并据此给出了MEMS版图自动生成与工艺匹配系统的体系结构.同虚拟MEMS加工工艺相比,该系统可实现工艺流水的逆向推理流程,由此,进一步给出了系统逆向推理所需的专家规则描述方式和推理机实现方法,并实现了一个原型系统,该系统可实现由两种标准MEMS工艺制作器件的版图自动生成与工艺匹配工作,初步验证了系统的可行性. 展开更多

关键词 MEMS 专家系统 版图自动生成 工艺匹配

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面向微纳器件虚拟运行的包络体生成方法

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作者 徐伟 赵新 孙广毅 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期53-61,共9页

随着计算机技术的不断普及,快速获取目标物体或空间点集的包络体成为一种重要需求,基于此类问题我们提出了一种基于体素化生成包络体的方法,该方法对体素数据进行操作时运用了并行运算OpenMP(Open Multi-Processing)技术以及C++AMP(Acce... 随着计算机技术的不断普及,快速获取目标物体或空间点集的包络体成为一种重要需求,基于此类问题我们提出了一种基于体素化生成包络体的方法,该方法对体素数据进行操作时运用了并行运算OpenMP(Open Multi-Processing)技术以及C++AMP(Accelerated Massive Parallelism with Microsoft Visual C++)技术,其中C++AMP技术可以极大的提高运算速度。传统意义上包络体应用于路径规划、工业装配等领域,将包络体技术运用到微纳器件虚拟运行的仿真中。通过将运行器件包络体计算引入到微纳器件的仿真系统中可以得到微纳器件的整个运动空间,进而直观有效的辅助微纳器件设计。 展开更多

关键词 体素化 包络体 OPENMP C++AMP 微纳器件 能量采集

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图的超边优美标号和奇优美标号

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作者 高振滨 孙广毅 邱威 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2013年第1期10-16,共7页

通过定义顶点符号矩阵,证明ST(m;nm)是奇优美的,验证了Gnanajothi提出的猜想对于ST(m;nm)是正确的。利用图的分解方法和边符号矩阵,证明当ST(m;nm)的阶是奇数时是超边优美的,从而验证了Mitchem和Simosn提出的猜想对于ST(m;nm)是正确的。

关键词 奇优美图 超边优美图 ST(m nm)图 图的分解 顶点符号矩阵 边符号矩阵

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房产市场中消费者在高房价下的羊群行为

9

作者 孙广毅 孙毅 赵娇 《中国市场》 2011年第27期10-11,56,共3页

本文意在探讨如今的房产交易市场中存在羊群行为和消费者高房价下购买的成因,基于理性的模型对这一现象进行了较为深入的分析和研究,了解到开发商利用高房价来谋取利益的有利因素是来源于消费者的盲目从众心理。最后对有助于能更好地控... 本文意在探讨如今的房产交易市场中存在羊群行为和消费者高房价下购买的成因,基于理性的模型对这一现象进行了较为深入的分析和研究,了解到开发商利用高房价来谋取利益的有利因素是来源于消费者的盲目从众心理。最后对有助于能更好地控制房地产泡沫现象提供了建议。 展开更多

关键词 房产 消费者 羊群行为 高房价

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有限理性下基金投资者的博弈分析

10

作者 孙广毅 贾书丽 姜海珠 《中国市场》 2010年第52期91-91,共1页

在有限理性条件下,运用进化博弈论中的经典模型——蛙鸣博弈模型,对基金投资者的投资行为进行研究、分析其有限理性的投资进化稳定策略,进而研究基金投资者的投资对证券市场的稳定性影响问题。

关键词 有限理性 进化博弈 基金投资者

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基于RGB-D摄像机与IMU数据融合的动作捕捉系统 被引量：6

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作者 张瑒 许林 孙广毅 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2582-2588,共7页

近年来,低功耗全身动作捕捉在计算机视觉与自动化等领域都获得了广泛的关注。单目深度视觉与基于惯性的动作捕捉系统以其相对低廉的价格、良好的捕捉效果成为中小型用户的首选。然而,这两种系统却具有包括身体遮挡与误差漂移等一系列固... 近年来,低功耗全身动作捕捉在计算机视觉与自动化等领域都获得了广泛的关注。单目深度视觉与基于惯性的动作捕捉系统以其相对低廉的价格、良好的捕捉效果成为中小型用户的首选。然而,这两种系统却具有包括身体遮挡与误差漂移等一系列固有缺陷。因此创新性地提出一种基于RGB-D摄像机与惯性测量单元(IMU)数据融合的动作捕捉系统。该系统引入快速遮挡检测、动态阈值判断与权值分配策略,集成惯性测量技术和光学捕捉技术的优点,成本低、不易受环境影响。实验表明基于本方法的动作捕捉系统在精度、可靠性与稳定性上都具有良好的表现。 展开更多

关键词 动作捕捉 数据融合方法 KINECT 惯性测量单元

原文传递

一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真 被引量：1

12

作者 金桐 赵新 +2 位作者 谭宜勇 孙广毅 卢桂章 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2177-2181,2185,共6页

微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有... 微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性. 展开更多

关键词 MEMS 电容式微加速度计 虚拟工艺

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基于MEMS的可穿戴无线体域网设计与实现 被引量：1

13

作者 宋银灏 费允锋 +2 位作者 张瑒 许林 孙广毅 《测控技术》 CSCD 2015年第5期5-8,共4页

针对高精度低成本可穿戴式人体动作捕捉,采用MEMS微惯性传感单元(IMU)设计实现无线体域网系统。系统由六轴微惯性单元MPU^5050、三轴地磁仪AK8975、微处理器及射频模块CC2530构成。首先,详细讨论系统硬件构架和基于Z-Stack的软件构架,... 针对高精度低成本可穿戴式人体动作捕捉,采用MEMS微惯性传感单元(IMU)设计实现无线体域网系统。系统由六轴微惯性单元MPU^5050、三轴地磁仪AK8975、微处理器及射频模块CC2530构成。首先,详细讨论系统硬件构架和基于Z-Stack的软件构架,然后通过上位机Matlab用户程序进行数据采集与实验验证。实验结果表明,与其他微惯性传感器系统相比,本设计采用高集成度的芯片和无线通信方式,在减小硬件体积的同时能够获得较高精度的数据(角度传感器零漂<1.5°),对实现可穿戴无线惯性测量有着积极的作用。 展开更多

关键词 微机电系统 微惯性传感器 无线体域网 MPU6050 AK8975 CC2530

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沉浸式微机电系统三维仿真及可视化 被引量：1

14

作者 宋银灏 费允锋 +1 位作者 孙广毅 赵新 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第9期1956-1960,1968,共6页

设计实现了基于Voxel体积图形学和沉浸式三维立体显示的MEMS工艺仿真系统。利用三维数学形态学膨胀/腐蚀操作对MEMS加工工艺进行三维数值模拟;利用体绘制技术实现模拟结果的三维重建;采用三维立体显示技术将三维重建结果投射到Sony HMZ... 设计实现了基于Voxel体积图形学和沉浸式三维立体显示的MEMS工艺仿真系统。利用三维数学形态学膨胀/腐蚀操作对MEMS加工工艺进行三维数值模拟;利用体绘制技术实现模拟结果的三维重建;采用三维立体显示技术将三维重建结果投射到Sony HMZ T3头盔上。此外,为了方便用户在模拟出的大规模三维体数据中进行实时浏览和交互操作,还设计实现了基于微惯性测量单元(IMU)的头部跟踪传感器,进而实现了三维场景头部直接控制。 展开更多

关键词 微机电系统 工艺仿真 体绘制 头部跟踪 微惯性传感单元 沉浸式虚拟现实

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博弈论原理在社会有关领域中的应用 被引量：1

15

作者 孙广毅 《经济师》 2007年第11期37-38,共2页

文章利用博弈论的原理、理论工具将其应用在社会中的公安战线、经济领域、环境冶理、家庭关系等方面进行了论述,同时指出博弈论应用范围很广,深入掌握和运用它对于提高效益具有十分重要的意义。

关键词 博弈论 公安战线 经济 诚信 环境 考试

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博弈论及在会计工作中的应用 被引量：2

16

作者 孙广毅 《边疆经济与文化》 2007年第8期50-51,共2页

博弈论又称对策论,是研究对抗冲突中最优解决问题的一门学科。博弈论在会计工作中有广泛的应用领域。只有把每个博弈主体所接受的策略集合,找出博弈规则,最后才能解出博弈均衡解,达到纳什均衡。

关键词 博弈论 概述 各领域 会计工作 应用

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Sobolev空间中集值映射不动点的连续选择(Ⅱ)——不动点连续选择

17

作者 孙广毅 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第2期97-100,共4页

在Sobolev空间中讨论了压缩型具有闭可分解值含参集值映射不动点的连续选择的存在性问题 ,建立了类似于Michael的连续选择定理 ,证明了任意两个连续选择可以同伦连接 ,构造了Sobolev空间中一类绝对收缩集 .

关键词 集值映射 可分解 不动点 连续选择

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关于哈市住房合理房价与房租的研究

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作者 胡运权 孙广毅 《理论探讨》 CSSCI 北大核心 1994年第4期103-106,共4页

关于哈市住房合理房价与房租的研究胡运权，孙广毅１９９２年９月，哈市政府正式公布了《哈尔滨市住房制度改革实施方案》，这标志着哈市住房将逐步改变由国家包投资、包建设、包维修、包管理的福利性制度，纳入商品经济轨道。合理的房... 关于哈市住房合理房价与房租的研究胡运权，孙广毅１９９２年９月，哈市政府正式公布了《哈尔滨市住房制度改革实施方案》，这标志着哈市住房将逐步改变由国家包投资、包建设、包维修、包管理的福利性制度，纳入商品经济轨道。合理的房价房租是住房制度改革的核心。这是因... 展开更多

关键词 住房消费 哈尔滨市 住房支出 恩格尔系数 支出比 综合开发 作价补偿 住房制度改革 思格尔系数 集资费

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PNKP在DNA损伤修复中的作用 被引量：1

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作者 逄璐 孙广毅 +2 位作者 张志慧 任自敬 曾赵军 《生命的化学》 CAS CSCD 2014年第6期787-792,共6页

多聚核苷酸激酶/磷酸酶(polynucleotide kinase/phosphatase,PNKP)是一种DNA末端修复酶,同时具有激酶和磷酸酶活性,在DNA单链断裂修复途径、碱基切除修复途径以及DNA双链断裂修复中的非同源末端连接途径中发挥着至关重要的作用。近年来... 多聚核苷酸激酶/磷酸酶(polynucleotide kinase/phosphatase,PNKP)是一种DNA末端修复酶,同时具有激酶和磷酸酶活性,在DNA单链断裂修复途径、碱基切除修复途径以及DNA双链断裂修复中的非同源末端连接途径中发挥着至关重要的作用。近年来,由于一种与PNKP相关的常染色体隐性遗传病——MCSZ综合征的发现,使得人们对PNKP的关注度进一步增加。笔者从与PNKP相互作用的X射线交叉互补修复基因1(X-ray repair cross-complementing group 1,XRCC1)、X射线交叉互补修复基因4(X-ray repair cross-complementing group 4,XRCC4)和毛细血管扩张性共济失调突变基因(ataxia-telangiectasia mutated,ATM)入手,对PNKP在DNA损伤修复中的作用进行概述。 展开更多

关键词 PNKP XRCC1 XRCC4 ATM DNA损伤修复

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乳腺癌保乳术后同侧乳腺复发患者的临床病理特征及预后 被引量：19

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作者 孙广毅 王淑莲 +10 位作者 唐玉 金晶 宋永文 刘跃平 王维虎 房辉 陈偲晔 任骅 刘新帆 余子豪 李晔雄 《中华肿瘤杂志》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期352-358,共7页

目的分析乳腺癌保乳术后同侧乳腺癌复发（IBTR）患者的临床特征及预后。方法回顾性分析1999—2013年行保乳手术治疗后IBTR的63例女性乳腺癌患者，原发和复发象限部位明确，伴或不伴有区域复发和（或）远处转移，比较同象限复发组与异象... 目的分析乳腺癌保乳术后同侧乳腺癌复发（IBTR）患者的临床特征及预后。方法回顾性分析1999—2013年行保乳手术治疗后IBTR的63例女性乳腺癌患者，原发和复发象限部位明确，伴或不伴有区域复发和（或）远处转移，比较同象限复发组与异象限复发组患者的病理特征变化情况、局部复发时间和IBTR后的总生存率（IBTR-OS）、无病生存率（IBTR-DFS）。结果63例患者初诊时均接受了保乳手术治疗，其中行腋窝淋巴结清扫38例，前哨淋巴结活检13例。11.1%（7/63）的患者行新辅助治疗，68.3%（43/63）行辅助放疗，60.3%（38/63）行辅助化疗，47.6%（30/63）行辅助内分泌治疗。45例（71.4%）的患者为同象限复发，18例（28.6%）为异象限复发。复发肿瘤与初诊时比较，10.3%（6/58）的患者病理组织类型发生了改变，28.9%（13/45）分子分型发生了改变。异象限复发组的雌激素受体（ER）和孕激素受体（PR）状态变化率明显高于同象限复发组（33.3%和9.5%，P=0.012；56.3%和19.0%，P=0.005）。全组有59例患者在IBTR后接受了手术治疗，其中二次保乳术11例，挽救性全乳切除术48例。同象限复发组和异象限复发组的中位局部复发时间分别为26和62个月，分别有84.4%和44.4%的患者在术后5年内复发（P=0.012）。全组患者IBTR后5年OS和DFS分别为79.4%和60.4%，其中同象限复发组和异象限复发组的5年IBTR-OS分别为77.4%和83.6%（P=0.303），5年IBTR-DFS分别为60.0%和62.8%（P=0.780）。单因素分析显示，pN0～1（P〈0.001）、初诊Luminal型（P=0.026）、初诊接受内分泌治疗（P=0.007）、复发肿瘤最大径〈3 cm（P=0.036）和IBTR后接受手术治疗（P=0.002）的患者IBTR-OS具有优势，初诊pN0～1（P〈0.001）、复发分期为Ⅰ～Ⅱ期（P〈0.001）和IBTR后接受手术治疗（P=0.001）的患者IRTR-DFS具有优势，但二次保乳术与挽救性全乳切除术患者的IBTR-OS和IBTR-DFS差异均无统计学意义（均P〉0.05）。结论 乳腺癌保乳术后IBTR以同象限复发为主，二次保乳术不影响患者预后。同象限复发和异象限复发肿瘤具有不同的生物学特性，需要采取不同的治疗策略。 展开更多

关键词 乳腺肿瘤 同侧乳腺复发 部分乳腺照射 保乳手术

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