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制备双面大面积BDD电极的HFCVD设备流场仿真与结构设计 被引量：2
1
作者 孙达飞 卢文壮 +3 位作者 薛海鹏 王浩 张林 左敦稳 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第2期8-13,共6页
用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备双面大面积掺硼金刚石(BDD)电极时,沉积系统的气体流场均匀性对薄膜质量均匀性有着重要影响。针对大面积BDD电极制备的设备流场问题,采用仿真分析,研究了相关结构与流场的关系。通过设计均匀分散的进出... 用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备双面大面积掺硼金刚石(BDD)电极时,沉积系统的气体流场均匀性对薄膜质量均匀性有着重要影响。针对大面积BDD电极制备的设备流场问题,采用仿真分析,研究了相关结构与流场的关系。通过设计均匀分散的进出气口以及在基板四周配置宽度为20 mm的减速板,可以有效消除横向流速差和边缘流速峰值,与结构改进之前相比能显著提高流场均匀性,高低流速差值从0.04 m/s降低到0.005 m/s。研究结果为薄膜的均匀制备提供了必要条件。 展开更多
关键词 掺硼金刚石 热丝化学气相沉积设备 气体流场
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模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究 被引量：4
2
作者 薛海鹏 卢文壮 +3 位作者 沈飞荣 孙达飞 王浩 左敦稳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期877-882,895,共7页
本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化。实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著... 本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化。实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著,热丝间距和热丝温度对衬底温度的均匀性影响显著;模具法制备的CVD金刚石复制了模具型腔,保证了热沉片的结构完整性和尺寸精度,最终制备了精度较高的小型CVD金刚石热沉片。 展开更多
关键词 模具 CVD金刚石 热沉 温度场 流场
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渗硼高速钢表面CVD金刚石膜制备研究 被引量：3
3
作者 王浩 卢文壮 +3 位作者 薛海鹏 孙达飞 张林 左敦稳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期572-576,共5页
直接在高速钢表面生长CVD金刚石非常困难。为了克服高速钢中Fe元素对金刚石生长的不利影响,在高速钢表面利用渗硼技术先生成B、Fe的化合物的中间层然后再制备CVD金刚石膜。采用显微维氏硬度计、XRD衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光... 直接在高速钢表面生长CVD金刚石非常困难。为了克服高速钢中Fe元素对金刚石生长的不利影响,在高速钢表面利用渗硼技术先生成B、Fe的化合物的中间层然后再制备CVD金刚石膜。采用显微维氏硬度计、XRD衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和洛氏硬度计对渗硼基体和金刚石膜进行检测,研究渗硼处理对高速钢基体和金刚石膜生长的影响。结果表明:渗硼热处理可以在高速钢表面形成一层致密的B、Fe化合物层,能有效降低Fe元素的不利影响,有利于金刚石的生长,在高速钢表面形成一层高附着的致密金刚石膜。 展开更多
关键词 CVD金刚石膜 高速钢 渗硼
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后处理工艺对硼掺杂金刚石电极膜/基结合性能的影响 被引量：3
4
作者 赵鹏 左敦稳 +3 位作者 周春 孙达飞 薛海鹏 卢文壮 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第3期36-39,共4页
为改善硼掺杂金刚石(boron-doped diamond,简称BDD)涂层电极的膜/基结合性能,利用热丝气相沉积法(HFCVD法)制备了BDD涂层电极,研究了退火时间和退火温度对涂层电极上BDD膜的残余应力和膜/基结合性能的影响。采用XRD残余应力测试仪对BDD... 为改善硼掺杂金刚石(boron-doped diamond,简称BDD)涂层电极的膜/基结合性能,利用热丝气相沉积法(HFCVD法)制备了BDD涂层电极,研究了退火时间和退火温度对涂层电极上BDD膜的残余应力和膜/基结合性能的影响。采用XRD残余应力测试仪对BDD膜的残余应力进行了测试,采用压痕法对BDD涂层电极膜/基结合性能进行了检测。结果表明:(1)在测试范围内,随退火温度升高、退火时间延长,后处理效果提高;(2)在退火温度700℃、退火时间3 h条件下,涂层电极上BDD膜的残余应力最大可降低45%,BDD涂层电极膜/基结合性能有所提高。 展开更多
关键词 BDD涂层电极 后处理 残余应力 结合力
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第三代与第四代移动通信系统中若干技术的比较
5
作者 孙达飞 梅文博 刘磊 《电信科学》 北大核心 2002年第10期55-56,共2页
本文简要介绍了第三代与第四代移动通信系统的一些共有的关键技术 ,然后讨论了第四代移动通信系统中的若干关键技术。
关键词 第三代 第四代 移动通信 码分多址 正交频分复用 软件无线电 智能天线 CDMA OFDM
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塑料光纤市场与技术展望 被引量：1
6
作者 孙达飞 刘磊 《世界电信》 2002年第8期20-23,共4页
塑料光纤(POF)主要应用于低速、短距离的传输中,在汽车、消费电子、工业控制总线系统和互联网领域发展前景良好。目前POF的研究重点是:努力降低衰减、设法减少色散、完善制造工艺、提高环境性能以及扩大应用领域。
关键词 塑料光纤 局域网 数据传输 应用 技术展望 POF 衰减 色散
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中国光纤光缆产业的历史、现状与前景 被引量：1
7
作者 刘磊 孙达飞 《世界电信》 2002年第2期20-24,共5页
近年来国产光纤的市场份额正逐步上升,但国内光纤生产企业在原材料上受国外制约较大,光纤预制棒严重依赖进口,而且国内光纤光缆产业联系松散,在5家光纤光缆一体化企业中,仅有两家拥有完整产业链。中国正式加入WTO后,国内光纤光缆企业的... 近年来国产光纤的市场份额正逐步上升,但国内光纤生产企业在原材料上受国外制约较大,光纤预制棒严重依赖进口,而且国内光纤光缆产业联系松散,在5家光纤光缆一体化企业中,仅有两家拥有完整产业链。中国正式加入WTO后,国内光纤光缆企业的整合在所难免,他们应积极进行产业升级,形成多个具有完整产业链的大集团。 展开更多
关键词 中国 光纤光缆产业 电子产业
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纳米化学气相沉积金刚石的拉曼光谱 被引量：9
8
作者 薛海鹏 卢文壮 +3 位作者 孙达飞 王浩 王正鑫 左敦稳 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期136-141,共6页
拉曼光谱是研究化学气相沉积(CVD)金刚石最有效的手段之一。对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析。紫外拉曼光谱的检验表明,紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景;1140cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是... 拉曼光谱是研究化学气相沉积(CVD)金刚石最有效的手段之一。对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析。紫外拉曼光谱的检验表明,紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景;1140cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是反聚乙炔的增多和sp2碳散射的增强。可见光拉曼光谱检测发现随着晶粒的减小,1140cm-1和1460cm-1峰强度增强,金刚石特征峰强度降低同时其半峰全宽(FWHM)变宽,薄膜中sp3碳含量减少;基体材料由硬质合金变为微米金刚石后,金刚石特征峰强度显著增加,FWHM有较大减小,非sp3碳成分含量明显减少。 展开更多
关键词 激光技术 拉曼光谱 化学气相沉积金刚石
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液压泥炮关键部件应力仿真 被引量：1
9
作者 孙达飞 《冶金设备》 2021年第5期55-59,共5页
泥炮是高炉生产的一种关键设备,本文在Adams中建立泥炮机构模型,分析压炮打泥过程中各铰链载荷,为有限元分析提供载荷边界。在Abaqus中分析各主要部件在该工况条件下应力状态,得出曲.臂等部件在打泥工况下应力较高。通过FE-SAFE软件,在... 泥炮是高炉生产的一种关键设备,本文在Adams中建立泥炮机构模型,分析压炮打泥过程中各铰链载荷,为有限元分析提供载荷边界。在Abaqus中分析各主要部件在该工况条件下应力状态,得出曲.臂等部件在打泥工况下应力较高。通过FE-SAFE软件,在泥炮周期工作载荷情况下,分析曲臂在周期负载下的寿命,并通过实际测试结果验证了分析结果的准确性。 展开更多
关键词 泥炮 动力学 有限元 疲劳
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空间分割问题的探索
10
作者 孙达飞 《中学生数学（高中版）》 2008年第1期31-31,共1页
问题:5个相交平面最多能分空间为几部分?想必很多同学感到无从下手(除非你背下了公式),即使想象立体空间也极易出错.
关键词 空间分割 数学归纳法 原命题 立体空间 下经 交线 朴素美 推证 王雷
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