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GaSb基光泵浦半导体碟片激光器的研究进展(特邀)
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作者 尚金铭 张宇 +7 位作者 杨成奥 谢圣文 黄书山 袁野 张一 邵福会 徐应强 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第10期26-34,共9页
GaSb基光泵浦半导体碟片激光器(OP-SDLs)可以获得高光束质量和高功率的红外激光输出,是近年来新型中红外激光器件研究领域的热点。文中介绍了GaSb基光泵浦半导体碟片激光器增益芯片的外延结构和工作原理,综述了2μm波段GaSb基泵浦半导... GaSb基光泵浦半导体碟片激光器(OP-SDLs)可以获得高光束质量和高功率的红外激光输出,是近年来新型中红外激光器件研究领域的热点。文中介绍了GaSb基光泵浦半导体碟片激光器增益芯片的外延结构和工作原理,综述了2μm波段GaSb基泵浦半导体碟片激光器的研究进展,讨论了该类激光器的波长扩展、功率提升、实现窄线宽短脉冲发射和有效热管理关键问题,评述了性能发展的主要技术方向和应用前景。 展开更多
关键词 GaSb基光泵浦半导体碟片激光器 2μm 热管理 高光束质量
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2μm GaSb基大功率半导体激光器研究进展 被引量:6
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作者 谢圣文 杨成奥 +8 位作者 黄书山 袁野 邵福会 张一 尚金铭 张宇 徐应强 倪海桥 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第5期14-22,共9页
2μm波段GaSb基大功率激光器在诸多领域具有广阔的应用前景,如气体探测、医疗美容、激光加工等。基于功率提升,综述和讨论了2μm波段GaSb基激光器结构的发展过程,介绍了目前国内外的研究状况,讨论和分析了GaSb基激光器提升功率、效率的... 2μm波段GaSb基大功率激光器在诸多领域具有广阔的应用前景,如气体探测、医疗美容、激光加工等。基于功率提升,综述和讨论了2μm波段GaSb基激光器结构的发展过程,介绍了目前国内外的研究状况,讨论和分析了GaSb基激光器提升功率、效率的主要技术问题。并详细介绍了该领域近年来在传统激光器中引入的两种新结构,分析了其技术优势。指出目前2μm波段GaSb基大功率激光器面临瓶颈,并讨论了其发展趋势。 展开更多
关键词 大功率半导体激光 2μm GaSb基
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锑化物中红外单模半导体激光器研究进展 被引量:3
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作者 杨成奥 谢圣文 +6 位作者 黄书山 袁野 张一 尚金铭 张宇 徐应强 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第5期6-13,共8页
锑化物材料因为其天然的禁带宽度较小的优势,是2~4μm波段半导体光电材料和器件研究的理想体系。近年来,国内外在锑化物大功率半导体激光器方面的研究取得了很大的进展,实现了大功率单管、阵列激光器的室温工作。然而,由于锑化物材料与... 锑化物材料因为其天然的禁带宽度较小的优势,是2~4μm波段半导体光电材料和器件研究的理想体系。近年来,国内外在锑化物大功率半导体激光器方面的研究取得了很大的进展,实现了大功率单管、阵列激光器的室温工作。然而,由于锑化物材料与常见的半导体单模激光器制备工艺的不兼容性,只有少数几个研究单位和公司掌握了锑化物单模激光器的制备技术。文中介绍了锑化物单模激光器常用的侧向耦合分布反馈激光器的基本原理,分析了其设计的关键技术,回顾了锑化物单模激光器的设计方案和制备技术,并针对国内外锑化物单模激光器主要研究内容进行了总结。 展开更多
关键词 侧向耦合分布反馈激光器 LC-DFB 量子阱 GASB 二阶布拉格光栅
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2~4μm中红外锑化物半导体激光器研究进展(特邀) 被引量:3
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作者 杨成奥 张一 +7 位作者 尚金铭 陈益航 王天放 佟海保 任正伟 张宇 徐应强 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第12期155-163,共9页
2~4μm波段是非常重要的红外大气窗口,工作在这个波段的激光器在气体检测,医疗美容和工业加工领域具有十分巨大的应用价值。锑化物半导体材料低维结构具有窄禁带直接跃迁发光的独特优势,是实现中红外波段半导体激光器的理想材料体系。... 2~4μm波段是非常重要的红外大气窗口,工作在这个波段的激光器在气体检测,医疗美容和工业加工领域具有十分巨大的应用价值。锑化物半导体材料低维结构具有窄禁带直接跃迁发光的独特优势,是实现中红外波段半导体激光器的理想材料体系。近年来,国内外锑化物半导体激光器研究不断取得重要进展,先后实现了量子阱发光的波长拓展、大功率单管和阵列激光器的室温连续激射,也实现了多波段的单模激光器的室温连续工作。锑化物半导体低维材料组分复杂、界面钝化性质特殊,材料外延和工艺制备技术难度较大。文中从锑化物半导体激光器的基本原理出发,综述了国内外研究现状,介绍了锑化物材料低维结构激光器的设计方案、关键制备技术的主要进展,分析了今后该类激光器性能优化的重点研发方向等。 展开更多
关键词 锑化镓 量子阱半导体激光器 红外激光器
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3~4μm锑化物带间级联激光器研究进展(特邀) 被引量:2
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作者 张一 张宇 +8 位作者 杨成奥 谢圣文 邵福会 尚金铭 黄书山 袁野 徐应强 倪海桥 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第10期19-25,共7页
3~4μm波段中红外激光器在工业气体检测、医学医疗和自由空间光通信等诸多领域具有十分重要的应用。目前锑化物半导体带间级联激光器是实现中红外3~4μm波段的理想方案。带间级联激光器(Interband Cascade Laser,ICL)可以看做是通过电... 3~4μm波段中红外激光器在工业气体检测、医学医疗和自由空间光通信等诸多领域具有十分重要的应用。目前锑化物半导体带间级联激光器是实现中红外3~4μm波段的理想方案。带间级联激光器(Interband Cascade Laser,ICL)可以看做是通过电子和空穴复合产生光子的传统二极管激光器以及通过引入多个级联区来提高电子注入效率的子带间量子级联激光器(Quantum Cascade Laser,QCL)的融合。文中概要介绍了带间级联激光器的基本工作原理,阐述了国际上主要研究单位包括俄克拉荷马大学、美国海军实验室、德国伍兹堡大学等带间级联激光器的发展历史,介绍了国内单位包括中国科学院半导体所研制成功带间级联激光器的性能,分析了该类激光器设计制备技术难点和及性能进一步提升优化的技术方案。 展开更多
关键词 带间级联激光器 二类W型量子阱 中红外 GaSb基
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利用分子束外延在GaAs基上生长高特征温度的InAs量子点激光器 被引量:1
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作者 袁野 苏向斌 +7 位作者 杨成奥 张一 尚金铭 谢圣文 张宇 倪海桥 徐应强 牛智川 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期667-670,共4页
通过MBE外延系统生长了1.3µm的GaAs基InAs量子点激光器.为了获得更好的器件性能,InAs量子点的最优生长温度被标定为520℃,并且在有源区中引入Be掺杂.制备了脊宽100µm,腔长2 mm的激光器单管器件,在未镀膜的情况下,达到了峰值功... 通过MBE外延系统生长了1.3µm的GaAs基InAs量子点激光器.为了获得更好的器件性能,InAs量子点的最优生长温度被标定为520℃,并且在有源区中引入Be掺杂.制备了脊宽100µm,腔长2 mm的激光器单管器件,在未镀膜的情况下,达到了峰值功率1.008 W的室温连续工作,阈值电流密度为110 A/cm^-2,在80℃下仍然可以实现连续工作,在50℃以下范围内,特征温度达到405 K. 展开更多
关键词 量子点激光器 分子束外延 特征温度 中红外
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High quality 2-μm GaSb-based optically pumped semiconductor disk laser grown by molecular beam epitaxy
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作者 尚金铭 冯健 +5 位作者 杨成奥 谢圣文 张一 佟存柱 张宇 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期175-179,共5页
The epitaxial growth conditions and performance of a diode-pumped GaSb-based optically pumped semiconductor disk laser(SDL) emitting near 2.0 μm in an external cavity configuration are reported. The high quality epit... The epitaxial growth conditions and performance of a diode-pumped GaSb-based optically pumped semiconductor disk laser(SDL) emitting near 2.0 μm in an external cavity configuration are reported. The high quality epitaxial structure,grown on Te-doped(001) oriented GaSb substrate by molecular beam epitaxy, consists of a distributed Bragg reflector(DBR), a multi-quantum-well gain region, and a window layer. An intra-cavity SiC heat spreader was attached to the gain chip for effective thermal management. A continuous-wave output power of over 1 W operating at 2.03 μm wavelength operating near room temperature was achieved using a 3% output coupler. 展开更多
关键词 SEMICONDUCTOR DISK laser GASB molecular BEAM EPITAXY
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Room-temperature continuous-wave interband cascade laser emitting at 3.45 μm 被引量:1
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作者 张一 邵福会 +8 位作者 杨成奥 谢圣文 黄书山 袁野 尚金铭 张宇 徐应强 倪海桥 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第12期311-314,共4页
We report a type-Ⅱ GaSb-based interband cascade laser operating a continuous wave at room temperature. The cascade region of interband cascade laser was designed using the ‘W' configuration of the active quantum... We report a type-Ⅱ GaSb-based interband cascade laser operating a continuous wave at room temperature. The cascade region of interband cascade laser was designed using the ‘W' configuration of the active quantum wells and the ‘Carrier Rebalancing' method in the electron injector. The devices were processed into narrow ridges and mounted epitaxial side down on a copper heat sink. The 25-μm-wide, 3-mm-long ridge without coated facets generated 41.4 mW of continuous wave output power at T = 15℃. And a low threshold current density of 267 A/cm^2 is achieved. The emission wavelength of the ICL is 3452.3 nm at 0.5 A. 展开更多
关键词 interband cascade LASER MID-INFRARED GaSb-based type-Ⅱ W quantum well
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High performance GaSb based digital-grown InGaSb/AlGaAsSb mid-infrared lasers and bars 被引量:1
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作者 谢圣文 张宇 +8 位作者 杨成奥 黄书山 袁野 张一 尚金铭 邵福会 徐应强 倪海桥 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期411-414,共4页
InGaSb/AlGaAsSb double-quantum-well diode lasers emitting around 2 μm are demonstrated. The AlGaAsSb barriers of the lasers are grown with digital alloy techniques consisting of binary AlSb/AlAs/GaSb short-period pai... InGaSb/AlGaAsSb double-quantum-well diode lasers emitting around 2 μm are demonstrated. The AlGaAsSb barriers of the lasers are grown with digital alloy techniques consisting of binary AlSb/AlAs/GaSb short-period pairs. Peak power conversion efficiency of 26% and an efficiency higher than 16% at 1 W are achieved at continuous-wave operation for a 2-mm-long and 100-μm-wide stripe laser. The maximum output power of a single emitter reaches to 1.4 W at 7 A.19-emitter bars with maximum efficiency higher than 20% and maximum power of 16 W are fabricated. Lasers with the short-period-pair barriers are proved to have improved temperature properties and wavelength stabilities. The characteristic temperature(T_0) is up to 140?C near room temperature(25–55?C). 展开更多
关键词 mid-infrared laser diode DIGITAL alloys characteristic temperature BARS
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1.3-μm InAs/GaAs quantum dots grown on Si substrates
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作者 邵福会 张一 +8 位作者 苏向斌 谢圣文 尚金铭 赵云昊 蔡晨元 车仁超 徐应强 倪海桥 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第12期526-531,共6页
We compare the effect of InGaAs/GaAs strained-layer superlattice(SLS) with that of GaAs thick buffer layer(TBL)serving as a dislocation filter layer. The InGaAs/GaAs SLS is found to be more effective than GaAs TBL in ... We compare the effect of InGaAs/GaAs strained-layer superlattice(SLS) with that of GaAs thick buffer layer(TBL)serving as a dislocation filter layer. The InGaAs/GaAs SLS is found to be more effective than GaAs TBL in blocking the propagation of threading dislocations, which are generated at the interface between the GaAs buffer layer and the Si substrate. Through testing and analysis, we conclude that the weaker photoluminescence for quantum dots(QDs) on Si substrate is caused by the quality of capping In_(0.15)Ga_(0.85)As and upper GaAs. We also find that the periodic misfits at the interface are related to the initial stress release of GaAs islands, which guarantees that the upper layers are stress-free. 展开更多
关键词 quantum DOTS DISLOCATION filter molecular beam EPITAXY (MBE) silicon PHOTONICS
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GaSb-based type-Ⅰ quantum well cascade diode lasers emitting at nearly 2-μm wavelength with digitally grown AlGaAsSb gradient layers
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作者 张一 杨成奥 +6 位作者 尚金铭 陈益航 王天放 张宇 徐应强 刘冰 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期231-234,共4页
We report a GaSb-based type-I quantum well cascade diode laser emitting at nearly 2-μm wavelength.The recycling of carriers is realized by the gradient AlGaAsSb barrier and chirped GaSb/AlSb/InAs electron injector.Th... We report a GaSb-based type-I quantum well cascade diode laser emitting at nearly 2-μm wavelength.The recycling of carriers is realized by the gradient AlGaAsSb barrier and chirped GaSb/AlSb/InAs electron injector.The growth of quaternary digital alloy with a gradually changed composition by short-period superlattices is introduced in detail in this paper.And the quantum well cascade laser with 100-μm-wide,2-mm-long ridge generates an about continuous-wave output of 0.8 W at room temperature.The characteristic temperature T_(0) is estimated at above 60 K. 展开更多
关键词 ANTIMONY quantum well cascade diode laser molecular beam epitaxy
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第四代半导体拂化物低维结构外延晶圆材料与激光器技术
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作者 牛智川 徐应强 +8 位作者 张宇 倪海桥 杨成奥 谢圣文 尚金铭 张一 袁野 陈益航 蒋俊凯 《科技纵览》 2019年第11期65-67,共3页
随着量子信息、绿色能源、人工智能等高新技术的不断涌现,能够更好地满足微电子、光电子、磁电子以及热电子等芯片应用的第四代半导体技术呼之欲出。中国科学院半导体研究所牛智川研究员带领的团队聚焦锚化物半导体光电器件新技术,系统... 随着量子信息、绿色能源、人工智能等高新技术的不断涌现,能够更好地满足微电子、光电子、磁电子以及热电子等芯片应用的第四代半导体技术呼之欲出。中国科学院半导体研究所牛智川研究员带领的团队聚焦锚化物半导体光电器件新技术,系统开展了磚化物红外激光器制备研究,攻克了纳米尺度的高精度光栅工艺制备等难题,实现了镖化物激光器量子阱短波红外高功率和单模室温连续工作。 展开更多
关键词 红外激光器 半导体技术 激光器技术 半导体光电器件 低维结构 芯片应用 短波红外 量子信息
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半导体带间级联激光器研究进展 被引量:8
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作者 张一 杨成奥 +6 位作者 尚金铭 陈益航 王天放 张宇 徐应强 刘冰 牛智川 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期211-227,共17页
半导体带间级联量子阱是实现3~5μm波段中红外激光器的重要前沿,其在半导体光电器件技术、气体检测、医学医疗以及自由空间光通信等诸多领域具有重要科学意义和应用价值。半导体带间级联量子阱发光机理是以二类量子阱中的电子与空穴的... 半导体带间级联量子阱是实现3~5μm波段中红外激光器的重要前沿,其在半导体光电器件技术、气体检测、医学医疗以及自由空间光通信等诸多领域具有重要科学意义和应用价值。半导体带间级联量子阱发光机理是以二类量子阱中的电子与空穴的带间辐射复合发光为主导,再通过电子注入区与空穴注入区形成级联放大,实现多个量子阱周期内电子与空穴的重复利用。本文综述了半导体带间级联激光器从提出能带结构、外延材料到器件制备技术的发展历程,剖析了器件结构各功能区基本概念和工作原理,介绍了器件结构设计与制备工艺技术难点的里程碑突破,详细解释了载流子再平衡、分别限制层等设计,最后展望了半导体带间级联激光器的发展方向和趋势。 展开更多
关键词 激光器 半导体 量子阱 激光理论
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2.75μm中红外GaSb基五元化合物势垒量子阱激光器 被引量:4
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作者 袁野 柴小力 +8 位作者 杨成奥 张一 尚金铭 谢圣文 李森森 张宇 徐应强 宿星亮 牛智川 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期295-299,共5页
设计制备了GaSb基I型InGaAsSb量子阱激光器,其激射波长为2。75μm。五元势垒材料AlGaInAsSb有效降低了势垒的价带能级并提高了价带带阶,使量子阱发光波长红移至2。75μm波段。通过优化分子束外延生长参数,得到了高发光效率的量子阱激光... 设计制备了GaSb基I型InGaAsSb量子阱激光器,其激射波长为2。75μm。五元势垒材料AlGaInAsSb有效降低了势垒的价带能级并提高了价带带阶,使量子阱发光波长红移至2。75μm波段。通过优化分子束外延生长参数,得到了高发光效率的量子阱激光器外延材料,在此基础上设计并制备了腔长为1。5 mm、脊宽为50μm、中心波长为2。75μm的法布里-珀罗腔结构的激光器;所设计激光器可以实现室温连续激射,其最大输出功率为60 mW,阈值电流密度为533 A·cm^-2。 展开更多
关键词 激光器 锑化物 五元势垒量子阱 中红外波段
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