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双源共蒸技术制备MgF_2/ZnS复合薄膜的特性 被引量：3
1
作者 徐均琪 师云云 +1 位作者 李候俊 苏俊宏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期82-88,共7页
目的以MgF_2和ZnS为单组分制备MgF_2/ZnS复合薄膜,研究复合薄膜的光学性能,以获取任意折射率薄膜材料,并优化高损伤阈值激光薄膜的制备工艺。方法基于光电极值膜厚监控原理,采用电子束热蒸发和电阻热蒸发技术制备了复合薄膜,测量了复合... 目的以MgF_2和ZnS为单组分制备MgF_2/ZnS复合薄膜,研究复合薄膜的光学性能,以获取任意折射率薄膜材料,并优化高损伤阈值激光薄膜的制备工艺。方法基于光电极值膜厚监控原理,采用电子束热蒸发和电阻热蒸发技术制备了复合薄膜,测量了复合薄膜的折射率、消光系数和透射率光谱,并对其激光损伤特性进行了研究。结果在所研究的工艺参数范围内,当Mg F_2和ZnS的沉积速率比为5∶1、4∶1、2∶1、1∶1和0.5∶1时,所制备复合薄膜的折射率分别为1.4227、1.4932、1.6318、1.9044和2.0762(波长550 nm)。复合薄膜的折射率符合正常色散,当沉积速率选取合适,可以获得介于两种组分薄膜材料之间的任意折射率。对激光损伤性能测试的结果显示,不同沉积速率比率下制备的复合薄膜的激光损伤阈值可能介于两种单组分薄膜之间,也可能高于每种单组分薄膜的激光损伤阈值,其激光损伤阈值最高比单组分MgF_2薄膜高28.6%,比单组分ZnS薄膜高96.4%。结论采用光电极值法监控膜厚,可根据不同蒸发源的蒸发特性,获得介于单组分膜料折射率之间的任意折射率材料,双源共蒸技术获取中间折射率是可行的。采用双源共蒸技术制备的复合薄膜,可改善单组分膜层的缺陷,获得高于单组分薄膜激光损伤阈值的材料。 展开更多
关键词 复合薄膜 折射率 消光系数 激光损伤阈值 热蒸发 双源共蒸
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多组分复合薄膜的光学、电学、机械性能及其应用 被引量：1
2
作者 师云云 徐均琪 苏俊宏 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期405-420,共16页
复合薄膜因其可具有比单组份薄膜更加优异的性能而得到广泛的应用。通过以膜层的防护、催化、电学、光学以及力学性能等复合思想为切入点,阐述了通过膜层的复合掺杂旨在增强合金的抗腐蚀性,提高润滑摩擦性能,改善膜层的导电性能以及进... 复合薄膜因其可具有比单组份薄膜更加优异的性能而得到广泛的应用。通过以膜层的防护、催化、电学、光学以及力学性能等复合思想为切入点,阐述了通过膜层的复合掺杂旨在增强合金的抗腐蚀性,提高润滑摩擦性能,改善膜层的导电性能以及进行光学薄膜折射率和光谱吸收的调控,增强膜层的硬度及拉伸强度等机械性能的方法。对国内外的相关前沿成果进行简要介绍,并对复合薄膜的未来发展进行展望,为相关领域的研究提供参考。 展开更多
关键词 复合薄膜 防护性能 电学性能 催化性能 光学性能 机械性能
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中国颜色类行政地名空间分布及原因分析 被引量：1
3
作者 郭艳丽 贾文毓 +2 位作者 郭海燕 周鑫 师云云 《山西师范大学学报（自然科学版）》 2015年第S1期46-48,共3页
以中国省、地、县、乡镇四级行政地名中的颜色类地名为研究对象,并利用GIS技术对颜色类行政地名进行分析,输出所需的专题地图.研究得出:全国共有1 882个颜色类行政地名;颜色类行政地名涉及到36种颜色,分成九大类:白、黄、青、红、黑、... 以中国省、地、县、乡镇四级行政地名中的颜色类地名为研究对象,并利用GIS技术对颜色类行政地名进行分析,输出所需的专题地图.研究得出:全国共有1 882个颜色类行政地名;颜色类行政地名涉及到36种颜色,分成九大类:白、黄、青、红、黑、紫、灰、褐和虹.从总体来看,中国颜色类行政地名的分布并不均匀,与人口密度、经济发展水平以及当地文化有着密切联系;通过对白、黄、青、红、黑五种颜色类行政地名进行重点分析得出,多数颜色类行政地名的分布都与民族文化和宗教文化关系密切. 展开更多
关键词 中国行政地名 颜色类地名 空间分布 民族文化 GIS
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中国建筑类行政地名空间分布及成因分析 被引量：1
4
作者 郭艳丽 贾文毓 +2 位作者 郭海燕 周鑫 师云云 《城市地理》 2015年第11X期57-58,共2页
以中国省、地、县、乡镇四级行政地名中的建筑类地名为研究对象,并用GIS技术对建筑类行政地名进行分析,输出所需专题地图。研究得出:全国共有建筑类行政地名5464个;含有218种建筑类型,可分成五大类:栖息地地名、与宗教有关的地名、与水... 以中国省、地、县、乡镇四级行政地名中的建筑类地名为研究对象,并用GIS技术对建筑类行政地名进行分析,输出所需专题地图。研究得出:全国共有建筑类行政地名5464个;含有218种建筑类型,可分成五大类:栖息地地名、与宗教有关的地名、与水有关的地名、屏障物地名和与祭祖有关的地名;建筑类行政地名空间分布不均,大体呈现东多西少的特征。各大类建筑类地名的分布,与当地的人口密度、自然环境和风俗文化有着很大关系。 展开更多
关键词 中国行政地名 建筑类地名 空间分布 自然环境 GIS
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驻马店市行政村名与自然环境要素 被引量：2
5
作者 周鑫 贾文毓 +1 位作者 郭艳丽 师云云 《城市地理》 2015年第11X期59-61,共3页
以《中华人民共和国地名大词典》中记载的地名来源为参考,借用计算机技术,以GIS和数理统计分类方法为支撑,对驻马店市范围内的行政村名进行自然地理环境要素命名的探讨。研究发现,山水类地名的分布与地形地貌的地理环境具有一致性,反映... 以《中华人民共和国地名大词典》中记载的地名来源为参考,借用计算机技术,以GIS和数理统计分类方法为支撑,对驻马店市范围内的行政村名进行自然地理环境要素命名的探讨。研究发现,山水类地名的分布与地形地貌的地理环境具有一致性,反映地形、水文、方位的地名众多,并存在着明显的地域分异现象。地名中的自然地理要素对当地的自然环境具有重要的指示作用,我们能从当地的地名中或多或少的认识到当地的自然状况及其演化过程,对于指导我们分析和探究地区的地域性差异具有参考和文献价值。 展开更多
关键词 驻马店 行政村名 自然环境要素
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兼容电磁屏蔽红外增透薄膜器件的研究
6
作者 王建 徐均琪 +2 位作者 苏俊宏 李阳 师云云 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期95-104,共10页
利用光刻掩模和热蒸发沉积技术制备兼容电磁屏蔽红外窗口薄膜器件,实现3~5μm波段红外信号高效增透,且能屏蔽12~18 GHz频段的电磁波信号.通过光刻掩模和真空热蒸发沉积技术在双面抛光Si基底上制备满足要求的十字交叉对称金属网栅结构,... 利用光刻掩模和热蒸发沉积技术制备兼容电磁屏蔽红外窗口薄膜器件,实现3~5μm波段红外信号高效增透,且能屏蔽12~18 GHz频段的电磁波信号.通过光刻掩模和真空热蒸发沉积技术在双面抛光Si基底上制备满足要求的十字交叉对称金属网栅结构,通过离子束辅助电子束热蒸发沉积技术制备3~5μm波段高效增透的红外膜.为进一步改善金属网栅的透射率,在周期g为550μm,不同线宽的金属网栅薄膜上沉积红外增透膜.结果表明:通过真空式傅里叶变换红外光谱仪测试得红外膜样片在3~5μm的峰值透射率为99.8%,平均透射率为99.3%.矢量网络分析仪测试金属网栅12~18 GHz频段的电磁屏蔽效能,得到兼容电磁屏蔽红外窗口薄膜器件在12~18 GHz频段内总体电磁屏蔽效能优于27 dB,3~5μm红外波段的峰值透射率为86.3%,平均透射率为86.1%.金属网栅薄膜上镀制增透膜在保证电磁屏蔽效能不变(≥27 dB)的前提下,网栅光谱(透射率)提高了37.6%(网栅周期g为550μm,线宽2a为30μm).屏蔽效能的改善既可以通过调整网栅的周期和线宽,也可以选择电阻率较低的基底材料实现. 展开更多
关键词 电磁屏蔽 红外 真空热蒸发 金属网栅 减反膜 透射率 屏蔽效能
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中国植物类行政地名的空间分布及原因 被引量：2
7
作者 师云云 贾文毓 +1 位作者 郭艳丽 周鑫 《山西师范大学学报（自然科学版）》 2016年第2期88-91,共4页
通过对全国乡镇、县级、地级和省级四级行政地名统计得出,其中2 729个行政地名与植物相关,涉及1 195种植物,分成四大类:树木、草、花、农作物,还有一些不能包括在这四大类的植物地名被列为其他类,然后运用GIS软件作出需要的专题图.研究... 通过对全国乡镇、县级、地级和省级四级行政地名统计得出,其中2 729个行政地名与植物相关,涉及1 195种植物,分成四大类:树木、草、花、农作物,还有一些不能包括在这四大类的植物地名被列为其他类,然后运用GIS软件作出需要的专题图.研究得出:中国植物类地名的分布并不均匀,其中树木类植物的地名最多,而因植物是自然环境中的因子,植物类地名的分布首先受到自然因素的很大影响,植物多而种类丰富的地区植物类地名多;其次受到经济因素的影响,经济越发达的城市,植物地名越少. 展开更多
关键词 行政地名 植物类地名 GIS
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多波段大口径全介质高反膜的设计与制备
8
作者 师云云 徐均琪 +4 位作者 刘政 张凯锋 苏俊宏 袁松松 刘祺 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期335-341,共7页
目的研究多波段全介质高反射薄膜的光谱性能、应力特性以及膜层的抗激光损伤性能,获取应力状态良好的大口径薄膜样片。方法选用TiO_(2)、SiO_(2)高低折射率材料,设计并制备500~650 nm、780~830 nm、1050~1080 nm 3波段兼容的介质高反膜... 目的研究多波段全介质高反射薄膜的光谱性能、应力特性以及膜层的抗激光损伤性能,获取应力状态良好的大口径薄膜样片。方法选用TiO_(2)、SiO_(2)高低折射率材料,设计并制备500~650 nm、780~830 nm、1050~1080 nm 3波段兼容的介质高反膜。研究单层膜工艺参数,监控波长为560 nm,基于电场强度分布,膜系结构优化为G/(HL)^(8) H(2L)^(4)(1.4H1.4L)^(8) H2L(1.9H1.9L)^(8)1.9 H/A。在不同膜堆之间添加低折射率层来抑制虚设问题,平滑反射光谱,通过离子束辅助电子束蒸发技术在ϕ220 mm的大口径基底上成功制备出性能良好的宽波段大尺寸多层高反射薄膜。结果其反射光谱在可见光500~650 nm波段范围内,平均反射率为99.5%,峰值反射率为99.9%,最低反射率为95.1%;在780~830 nm波段内,峰值反射率为99.9%,平均反射率为99.8%,最低反射率为99.6%;在1050~1080 nm波段内,其平均反射率能够达到99.8%,峰值反射率达到99.9%,最低反射率达到99.7%。大口径薄膜样片不同位置的反射光谱一致性较高。膜层的抗激光损伤阈值为7.1 J/cm^(2),残余应力为–293.59 MPa。结论大口径薄膜样片膜厚均匀性良好,成膜致密,无起皱、龟裂、脱落等现象出现,膜层牢固性较高,具备优良的激光防护性能。 展开更多
关键词 薄膜 大口径 多波段 残余应力 激光损伤阈值
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氟-氧化物复合薄膜的特性研究
9
作者 师云云 徐均琪 苏俊宏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期190-198,共9页
以SiO2、TiO2、YF3为单组分材料分别制备了SiO2/YF3、TiO2/YF3复合薄膜,探究复合后膜层的光学、力学以及抗激光损伤性能的变化情况.采用双源共蒸技术,通过控制膜料蒸发时的沉积速率制备了混合摩尔比为1∶1的两种氟氧化物复合薄膜,对复... 以SiO2、TiO2、YF3为单组分材料分别制备了SiO2/YF3、TiO2/YF3复合薄膜,探究复合后膜层的光学、力学以及抗激光损伤性能的变化情况.采用双源共蒸技术,通过控制膜料蒸发时的沉积速率制备了混合摩尔比为1∶1的两种氟氧化物复合薄膜,对复合膜层的折射率、消光系数、透射特性、表面形貌、粗糙度进行了测量,并研究了其抗激光损伤性能.结果表明:SiO2/YF3、TiO2/YF3复合膜层的折射率分别为1.4787和1.8646(波长550 nm),介于单组分材料之间(YF3为1.4936、SiO2为1.4651、TiO2为2.0483),且均呈现正常色散分布;ZYGO干涉测量的结果显示,SiO2/YF3膜层的应力值为1.9 GPa,比单组分材料SiO2和YF3的0.4 GPa大但粗糙度小;TiO2/YF3膜层的应力值为0.8 GPa,比TiO2的3.9 GPa应力小但较YF3大,表现出较明显的应力调节效果;SiO2/YF3复合薄膜的激光损伤阈值为9.2 J/cm2,相比于单组分的SiO2提高了2.2%,较YF3提高了39.2%;TiO2/YF3的激光损伤阈值为7.8 J/cm2,相比于单组分的TiO2薄膜而言提高了85.6%,较YF3提高了17.4%.通过双源共蒸技术沉积得到的氟氧化物复合薄膜,吸收小、膜层折射率可调;SiO2/YF3、TiO2/YF3复合膜层的抗激光损伤性能均优于单组分材料;YF3的掺杂能够明显降低单一TiO2材料的应力,但SiO2/YF3的应力大于单组分的SiO2、YF3薄膜. 展开更多
关键词 复合薄膜 氟化物 氧化物 双源共蒸技术 光学性能 应力 激光损伤阈值
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中国动物类行政地名的统计分类及空间分布
10
作者 周鑫 贾文毓 +1 位作者 郭艳丽 师云云 《山西师范大学学报（自然科学版）》 2015年第S1期49-51,共3页
以《中华人民共和国地名大词典》中的资料为依据,基于数理统计方法,对中国范围内的动物类行政地名进行数量统计分类.本文分析全国动物类行政地名的空间分布特征,研究发现动物类行政地名不仅能够更好地反映特定地区的自然环境,还能间接... 以《中华人民共和国地名大词典》中的资料为依据,基于数理统计方法,对中国范围内的动物类行政地名进行数量统计分类.本文分析全国动物类行政地名的空间分布特征,研究发现动物类行政地名不仅能够更好地反映特定地区的自然环境,还能间接的指示该地区历史、经济、社会、文化、民族、经济、生活,对于指导我们分析和探究地区的地域性差异和地名的归并具有参考和文献价值. 展开更多
关键词 动物类地名 行政地名 空间分布
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