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硅腐蚀液中加入醋酸作用机理的研究 被引量：1
1
作者 张前玉 何培之 朱长纯 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第5期35-38,46,共5页
本文用实验证实了化学反应计量比的HNO_3—HF腐蚀液可用作硅器件的深槽腐蚀,而在此腐蚀液中加入醋酸,用于硅器件的浅槽腐蚀比用HNO_3—HF—NH_4F体系的效果更好,并对醋酸在腐蚀液中的作用机理提出了新的见解。
关键词 硅 硅器件 腐蚀液 醋酸 反应机理
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用两步化学腐蚀法研制大功率达林顿管
2
作者 朱长纯 张前玉 +3 位作者 成勃 吴鑫奎 权孝纯 韩占元 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第5期39-45,共7页
本文报告了研制MJ11033(β>1000,I_C=50A)达林顿晶体管的设计原则、主要制造工艺,提出了制造大阻值内偏电阻R_1的Al—SiO_2双层抗蚀膜两步化学腐蚀法,比较了台面结构与平面结构的单片大功率达林顿晶体管的制造工艺,证明了前者优于后者。
关键词 晶体管 大功率 化学腐蚀 两步法
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