并联机构的发展及应用 被引量：22

1

作者 彭忠琦 《光机电信息》 2011年第12期45-50,共6页

绍了国内外并联机构的发展,通过与串联机构的比较,详细说明了并联机构的特点及其在各个领域中的应用。六杆并联机构是并联机构的一种特殊形式,文中具体阐述了其工作原理,并结合上海第三代同步辐射装置软X谱学显微光束线中使用的特殊六... 绍了国内外并联机构的发展,通过与串联机构的比较,详细说明了并联机构的特点及其在各个领域中的应用。六杆并联机构是并联机构的一种特殊形式,文中具体阐述了其工作原理,并结合上海第三代同步辐射装置软X谱学显微光束线中使用的特殊六杆并联调节机构,对其特点做进一步说明。 展开更多

关键词 并联机构 六杆并联机构 应用领域

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基于连续投影算法的土壤总氮近红外特征波长的选取 被引量：57

2

作者 高洪智 卢启鹏 +1 位作者 丁海泉 彭忠琦 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2951-2954,共4页

讨论了如何利用连续投影算法提取土壤总氮的近红外特征波长。使用连续投影算法对光谱数据进行初步压缩,将优选出的波长按其对总氮贡献值的大小进一步筛选,剔除不敏感的波长,降低模型的复杂度。分析85份土壤样品的近红外光谱,使用连续投... 讨论了如何利用连续投影算法提取土壤总氮的近红外特征波长。使用连续投影算法对光谱数据进行初步压缩,将优选出的波长按其对总氮贡献值的大小进一步筛选,剔除不敏感的波长,降低模型的复杂度。分析85份土壤样品的近红外光谱,使用连续投影算法得到了总氮的12个波长,贡献值筛选后,波长数量减少到6个,所建模型的预测相关系数(Rp)为0.913,预测均方根误差(RMSEP)为0.011%,模型的预测精度与贡献值筛选前相当,且优于全谱偏最小二乘回归结果。结果表明结合贡献值筛选的连续投影算法能够有效选取待测成分的特征波长,文章所优选的土壤总氮的6个特征波长可以作为小型滤光片式近红外光谱仪波长选择的参考依据。 展开更多

关键词 连续投影算法 贡献值筛选 土壤总氮 特征波长 近红外光谱

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SX-700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量 被引量：20

3

作者 吴坤 薛松 +3 位作者 卢启鹏 彭忠琦 陈家华 刘楷 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期45-51,共7页

为了使上海光源(SSRF)研制的SX-700单色器的主要设计指标——波长扫描转角重复精度满足优于0.43″的要求,研究了单色器的波长扫描组件—光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时,运用有限元分析软件AN-SYS对光栅正弦机构进行... 为了使上海光源(SSRF)研制的SX-700单色器的主要设计指标——波长扫描转角重复精度满足优于0.43″的要求,研究了单色器的波长扫描组件—光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时,运用有限元分析软件AN-SYS对光栅正弦机构进行数值模拟计算,并根据模拟结果对光栅正弦机构的转角重复精度进行了误差分析,得到的转角重复精度为0.28″。依据分析结果制定了工程设计方案,并成功加工、装配了SX-700单色器。利用作者建立的一套由光电自准直仪组成的测试系统对光栅正弦机构的转角重复精度进行测试,实测精度为0.15″。结果表明,设计的SSRF的SX-700单色器光栅正弦机构的转角重复精度满足设计要求。 展开更多

关键词 SX-700单色器 正弦机构 转角精度 数值模拟

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近红外光谱技术用于无创生化检验研究的进展 被引量：13

4

作者 丁海泉 卢启鹏 +1 位作者 彭忠琦 陈星旦 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2107-2110,共4页

20世纪90年代初,近红外光谱技术在人体无创生化检验方面的潜力逐渐获得重视。然而,人体是一个极其复杂多变的检测对象,因此虽然各研究小组在实验模拟和离体分析方面取得了一定成果,但在临床应用上始终没有实质性突破。文章讨论了目前阻... 20世纪90年代初,近红外光谱技术在人体无创生化检验方面的潜力逐渐获得重视。然而,人体是一个极其复杂多变的检测对象,因此虽然各研究小组在实验模拟和离体分析方面取得了一定成果,但在临床应用上始终没有实质性突破。文章讨论了目前阻碍近红外光谱技术实现临床意义上的人体无创生化检验的关键问题,即信号微弱、组织背景干扰、血流容积变化问题。将国际上现有的近红外无创生化检验研究工作的思路按照分析方法大致归为两类,即经典近红外分析法和扣除组织背景干扰分析法。详细介绍了这两类研究思路各自的研究现状,并认为在现有条件下第二类思路更有希望取得临床可以应用的结果。 展开更多

关键词 近红外光谱分析 无创生化检验 血糖 血脂

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六杆并联机构运动学正解研究及其在同步辐射光束线中的应用 被引量：9

5

作者 卢启鹏 李勇军 +1 位作者 彭忠琦 凌丽青 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1874-1879,共6页

从相关物理模型出发,以同步辐射光束线六杆并联机构的运动学反解为基础,采用信赖域法优化了非线性超越方程组,编制了相应的MATLAB程序,得到了机构的运动学正解。实例应用结果表明,信赖域法是解决运动学正解问题的有效途径,求解程序稳定... 从相关物理模型出发,以同步辐射光束线六杆并联机构的运动学反解为基础,采用信赖域法优化了非线性超越方程组,编制了相应的MATLAB程序,得到了机构的运动学正解。实例应用结果表明,信赖域法是解决运动学正解问题的有效途径,求解程序稳定可靠,运算速度快,误差小,线性精度达10-12mm,转动精度达10-15°。采用差动螺旋的微动调节方式,即可使单色器箱体姿态的线性调节分辨达5μm,转角分辨达3″,完全满足实际工作的要求。 展开更多

关键词 同步辐射 单色器 六杆并联机构 运动学正解 信赖域法

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变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 被引量：15

6

作者 卢启鹏 马磊 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1548-1553,共6页

针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了... 针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测,结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求。在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率,测试结果好于10000,进一步验证了该检测方法的有效性。 展开更多

关键词 同步辐射 变包含角单色器 波长扫描机构 转角精度 多角棱镜

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自适应滤波在近红外无创生化分析中的应用 被引量：13

7

作者 卢启鹏 陈丛 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期873-879,共7页

提出用血流容积差光谱相减法来消除近红外无创生化分析中组织背景的干扰。为提高光谱相减中所需获得的脉搏波近红外光谱信号的信噪比,研究了自适应滤波处理方法。介绍了最小均方算法(LMS)自适应滤波的基本原理,在此基础上提出了一种适... 提出用血流容积差光谱相减法来消除近红外无创生化分析中组织背景的干扰。为提高光谱相减中所需获得的脉搏波近红外光谱信号的信噪比,研究了自适应滤波处理方法。介绍了最小均方算法(LMS)自适应滤波的基本原理,在此基础上提出了一种适用于处理本实验脉搏波光谱信号的自适应滤波方法;采用实验室自行研制的16元近红外脉搏波采集系统,获得人体脉搏波光谱信号;最后,利用提出的自适应滤波方法处理脉搏波光谱信号并分析其滤波效果。结果表明,利用该方法处理采集的脉搏波信号,可使血流容积光谱相减后血液光谱吸光度噪声由800μAU降低至12μAU,相邻波长的脉搏波相关系数由0.994 0提高至0.999 9。分析结果说明该自适应滤波方法可以有效地应用于近红外无创生化分析中。 展开更多

关键词 自适应滤波 最小均方算法 脉搏波 近红外光谱 无创生化分析

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同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿 被引量：10

8

作者 卢启鹏 高飒飒 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2644-2650,共7页

为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光... 为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21μrad减小到0.86μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。 展开更多

关键词 同步辐射 压弯机构 水平偏转 面形误差 补偿

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便携式近红外光谱仪器现状及展望 被引量：18

9

作者 于新洋 卢启鹏 +1 位作者 高洪智 彭忠琦 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2983-2988,共6页

近红外光谱分析技术具有速度快、操作简单等优点,在农业、制药等行业得到了大量应用,其中一些应用需要将仪器携带到分散的分析现场使用,为满足这一需求,很多体积小、便于移动的便携式近红外光谱仪被研制出来。这些仪器的种类较为繁多,... 近红外光谱分析技术具有速度快、操作简单等优点,在农业、制药等行业得到了大量应用,其中一些应用需要将仪器携带到分散的分析现场使用,为满足这一需求,很多体积小、便于移动的便携式近红外光谱仪被研制出来。这些仪器的种类较为繁多,采用了很多不同的基本原理,使用了不同的光路结构。文章综述了国内外便携式近红外光谱仪的技术现状,根据光路结构的不同将仪器分成滤光片型、光栅型、傅里叶变换型、声光可调滤波器型以及使用微机电系统(MEMS)的新型光谱仪等类型,重点介绍各类仪器的原理和主要部分的结构,同时简要介绍不同类型仪器的特点,并列举典型产品。也对测量附件、操作、显示等外围部分的设计作简要介绍,这些附件针对便携应用采取了特殊的设计。通过介绍,为新型便携式近红外光谱仪的研制提供借鉴。最后,对便携式近红外光谱仪器的现状作总结,并对未来国内外技术的发展进行展望。 展开更多

关键词 近红外光谱仪 便携式

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拉杆式压弯聚焦镜组件线性与接触非线性方法的比较 被引量：6

10

作者 吕清涛 薛松 +2 位作者 彭忠琦 祝万钱 傅远 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1842-1848,共7页

在压弯聚焦镜的工程分析中,采用接触非线性分析方法分析某些关键部位可提高分析精度,比以往只用线性分析得出的结果更接近实际情况。针对用线性分析方法分析所研究的对象求解误差较大,本文分析了系统产生非线性的主要因素。对某压弯聚... 在压弯聚焦镜的工程分析中,采用接触非线性分析方法分析某些关键部位可提高分析精度,比以往只用线性分析得出的结果更接近实际情况。针对用线性分析方法分析所研究的对象求解误差较大,本文分析了系统产生非线性的主要因素。对某压弯聚焦镜组件进行了有限元建模,采用接触非线性分析方法对拉杆被拉弯时聚焦镜的响应进行了分析。对比非线性分析和检测结果可知,当压弯的矢高相等时,检测结果和非线性分析的斜率和半径误差在0.4μrad和5km范围内,基本满足要求。对比线性分析、非线性分析的结果和实验数据表明:采用非线性分析的结果更接近实际情况,完全可在误差允许的范围内模拟压弯机构的实际压弯情况。 展开更多

关键词 压弯聚焦镜 接触非线性分析 线性分析

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连续多点成形中的成形载荷分析 被引量：4

11

作者 龚学鹏 李明哲 +1 位作者 卢启鹏 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1288-1295,共8页

研制了连续多点成形装置来完成三维曲面工件的高效、柔性加工,并对其成形载荷的变化趋势以及不同工艺参数对成形载荷的影响进行了研究。首先,介绍了连续多点成形原理;基于一定的假设条件,建立了成形载荷的理论公式;以双曲率元件为研究对... 研制了连续多点成形装置来完成三维曲面工件的高效、柔性加工,并对其成形载荷的变化趋势以及不同工艺参数对成形载荷的影响进行了研究。首先,介绍了连续多点成形原理;基于一定的假设条件,建立了成形载荷的理论公式;以双曲率元件为研究对象,建立有限元模型,分析了y方向载荷、z方向载荷以及合成载荷的变化情况。接着,分析了上辊压下量、板材厚度以及柔性辊曲率半径对成形载荷的影响。最后,设计出成形装置并进行实验。结果表明,y方向载荷最大值为6.693kN,成形载荷的最大值为6.716kN,成形载荷主要由y方向载荷决定;z方向载荷最大值为1.412kN,为驱动工件运动的力;随上辊压下量的增加、板材厚度的增加以及柔性辊曲率半径的减小,y方向载荷均增加。成形载荷的变化情况与实际情况吻合,为成形装置的研制提供了指导作用。实验结果证明,连续多点成形是一种连续、高效、柔性的三维曲面成形方法。 展开更多

关键词 柔性加工 连续成形 多点成形 数值分析 三维曲面

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变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试 被引量：4

12

作者 刘楷 薛松 +5 位作者 卢启鹏 彭忠琦 吴坤 陈家华 王勇 巩志华 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第12期881-884,共4页

在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43"。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行... 在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43"。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166",光栅转角重复精度为0.149",分辨率达到0.03",满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外,还测量了光栅切换机构的重复精度。 展开更多

关键词 变包含角平面光栅单色仪 光电自准直仪 转角重复精度 测量

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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 被引量：4

13

作者 高飒飒 卢启鹏 +1 位作者 彭忠琦 龚学鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1741-1747,共7页

针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特... 针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。 展开更多

关键词 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析

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上海光源软X射线谱学显微光束线的进展与应用

14

作者 彭忠琦 《光机电信息》 2011年第11期27-31,共5页

介绍了国外与国内同步辐射装置及第三代同步辐射光源进展,回顾了国内软X谱学显微光束线的发展过程,叙述了上海同步辐射光源及软X谱学显微光束线的进展。展望了软X谱学显微光束线的应用,其为开辟新科学、新领域发挥了积极推动作用。

关键词 同步辐射 上海光源 软X射线 高分辨率 光束线应用

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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 被引量：3

15

作者 宋源 卢启鹏 +2 位作者 龚学鹏 王依 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2835-2844,共10页

针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。... 针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。然后从清洗机理、速率以及效果等方面详细描述了多种EUV多层膜表面碳污染清洗方法,分析对比了各清洗技术在清洗速率和效果等方面的优缺点。分析表明:离子体氧和活化氧清洗速率相差不多,可达到2nm/min,但清洗过程中容易造成表面氧化;等离子体氢和原子氢的清洗速率相对较慢,一般在0.37nm/min左右,但清洗过程中不易产生氧化。最后针对不同方法应用于在线清洗EUV多层膜反射镜过程中将遇到的问题和难点进行了讨论。 展开更多

关键词 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜

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谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 被引量：4

16

作者 马磊 卢启鹏 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期514-519,共6页

为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置-变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行... 为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置-变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行了误差分配。针对光斑水平角漂移重复精度的检测,采用自准直原理,构建了测试系统。利用该系统,完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测,其结果为0.67″,满足设计指标1″的要求。对安装调试后的束线进行了总体性能测试,结果均满足谱学显微设计和使用要求。由此表明,提出的对谱学显微光束线光斑水平漂移误差来源的分析及检测方法,有效保证了束线性能的实现。 展开更多

关键词 变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析

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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 被引量：2

17

作者 陈家华 龚学鹏 +4 位作者 薛松 卢启鹏 彭忠琦 宋源 王依 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2810-2816,共7页

研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍... 研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。 展开更多

关键词 同步辐射 光发射电子显微镜(PEEM) X射线显微镜 KB镜 结构设计

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基于多点调形原理的旋转曲面连续成形 被引量：2

18

作者 龚学鹏 李明哲 +1 位作者 卢启鹏 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期117-123,共7页

提出采用连续多点成形方法来实现旋转曲面件的高效、柔性成形。阐述了连续多点成形原理,并与传统的旋转曲面加工方法相对比,分析其所具备的特点。以盘形件为研究对象,建立有限元模型,分析成形过程中的等效应力和塑性应变场分布,通过模... 提出采用连续多点成形方法来实现旋转曲面件的高效、柔性成形。阐述了连续多点成形原理,并与传统的旋转曲面加工方法相对比,分析其所具备的特点。以盘形件为研究对象,建立有限元模型,分析成形过程中的等效应力和塑性应变场分布,通过模拟结果和主应变状态来分析皱曲现象。最后,研制相应的成形装置并进行了实验。结果表明:定心装置和柔性辊作用区的等效应力超过了材料的屈服极限,最大值达到213MPa;成形件中心区域塑性应变值最大,达到0.07;柔性辊作用区塑性应变值次之,为0.03;皱曲区域的壳单元产生的是切向压缩变形,实验结果和模拟结果基本相同,都介于605～615mm。应力应变场和皱曲的模拟结果与实际情况吻合,表明成形装置能加工出效果良好的旋转曲面件。 展开更多

关键词 柔性加工 连续成形 多点成形 数值分析 旋转曲面

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同步辐射光束线六杆并联机构的逆运动学精确求解及应用 被引量：2

19

作者 李勇军 卢启鹏 +1 位作者 彭忠琦 陈家华 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期485-488,共4页

目前同步辐射光束线六杆并联机构应用广泛,但六杆并联机构六维调节缺乏理论指导,调节困难,工作效率较低,为提高收敛速度和调节精度,本文分析了并联机构的特性,从相关物理模型出发,运用坐标变换法详细分析了六杆并联机构的逆运动学问题,... 目前同步辐射光束线六杆并联机构应用广泛,但六杆并联机构六维调节缺乏理论指导,调节困难,工作效率较低,为提高收敛速度和调节精度,本文分析了并联机构的特性,从相关物理模型出发,运用坐标变换法详细分析了六杆并联机构的逆运动学问题,得到六杆长度的精确求解方程组。采用MATLAB软件对系统仿真计算,得到相应的杆长变化曲线。实例应用结果表明,该方法快速有效,线性调节分辨可高于5μm,转角分辨可高于3",完全满足实际要求,为同步辐射光束线光学平台的精密调节提供了理论依据。 展开更多

关键词 同步辐射 光束线 六杆并联机构 逆运动学 单色仪

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变包含角平面光栅单色器光斑横移分析 被引量：1

20

作者 吴坤 薛松 +3 位作者 卢启鹏 彭忠琦 陈家华 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期321-325,共5页

介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要... 介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要求完成单色器结构设计、加工、组装,对单色器出射光斑横向角漂移重复精度进行了测试,结果为0.7″。 展开更多

关键词 变包含角平面光栅单色器 光斑漂移 ANSYS 数值模拟

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