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基于注入锁定技术的单频连续高功率1342 nm Nd:YVO_(4)激光器
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作者 周子涵 王志敏 +6 位作者 薄勇 张丰丰 赵文成 付莉 何汉星 崔大复 彭钦军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期114-120,共7页
研究了一种基于注入锁定技术的888 nm半导体激光器(LD)泵浦的高功率单频可调谐1 342 nm Nd:YVO_(4)激光器。采用最大输出功率20 mW分布式反馈单频半导体1 342 nm激光器作为注入种子,利用lock-in (LI)技术,对LD端泵的Nd:YVO_(4)环形腔激... 研究了一种基于注入锁定技术的888 nm半导体激光器(LD)泵浦的高功率单频可调谐1 342 nm Nd:YVO_(4)激光器。采用最大输出功率20 mW分布式反馈单频半导体1 342 nm激光器作为注入种子,利用lock-in (LI)技术,对LD端泵的Nd:YVO_(4)环形腔激光器进行种子注入,实现了单频可调谐激光输出。激光器最大平均输出功率为13.9 W,测量的线宽为41 MHz,调谐范围为1 341.677 4~1 341.802 5 nm。x轴和y轴的光束质量M2因子分别为M_(x)^(2)=1.30和M_(y)^(2)=1.23。实验结果表明:与先前文献报道的注入锁定1 342 nm可调谐激光的结果相比,所需种子功率大幅减小,输出功率也有所提升。 展开更多
关键词 Nd:YVO_(4)激光器 连续波 单频 可调谐 注入锁定
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100 kHz高功率高光束质量纳秒激光振荡器 被引量:1
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作者 杨天利 杨晶 +3 位作者 周王哲 李雪鹏 王小军 彭钦军 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期48-54,共7页
高功率、高重复频率纳秒脉冲激光广泛应用于激光切割、激光焊接等领域。随着激光重复频率的提升,特别是高于50 kHz时,单个周期有限的时间内难以积累足够的上能级粒子,调Q脉冲的稳定性成为了激光器设计的难点。当前主要采用主振荡器的功... 高功率、高重复频率纳秒脉冲激光广泛应用于激光切割、激光焊接等领域。随着激光重复频率的提升,特别是高于50 kHz时,单个周期有限的时间内难以积累足够的上能级粒子,调Q脉冲的稳定性成为了激光器设计的难点。当前主要采用主振荡器的功率放大器(MOPA)方案,直接振荡获得兼具高功率、高重复频率及高光束质量的纳秒脉冲激光还比较困难。通过对激光动力学过程的仿真模拟,定量分析了高重复频率调Q过程中脉冲强度稳定性与泵浦速率的关系,并利用负透镜使振荡器工作在具有较大基模体积的热近非稳区,实现了Nd:YAG声光调Q激光振荡器在高重复频率、高功率、高光束质量三方面的均衡设计。首次利用侧泵模块实现了100 kHz高功率高光束质量纳秒脉冲激光的直接振荡产生,脉冲强度的离散系数仅为0.041,激光输出功率超过142 W,脉冲宽度为165 ns,光束质量因子M^(2)为1.5。 展开更多
关键词 激光振荡器 高重复频率 声光调Q 纳秒 高光束质量
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紧凑高效型百瓦级2μm棒状Tm:YAG激光器
3
作者 吴健宏 杜仕峰 +6 位作者 高昀 王海龙 陈玲芝 王志超 薄勇 崔大复 彭钦军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期2027-2032,共6页
报道了一种结构紧凑、高效率、高功率的2μm棒状Tm∶YAG激光器。通过优化设计三向激光二极管(LD)侧面泵浦激光模块,提高了晶体棒内泵浦光的功率密度。激光谐振腔采用平平腔结构,包含单个激光模块,几何腔长为88 mm,整台激光器结构简单、... 报道了一种结构紧凑、高效率、高功率的2μm棒状Tm∶YAG激光器。通过优化设计三向激光二极管(LD)侧面泵浦激光模块,提高了晶体棒内泵浦光的功率密度。激光谐振腔采用平平腔结构,包含单个激光模块,几何腔长为88 mm,整台激光器结构简单、紧凑且体积小。激光模块通过一个水冷机进行冷却,在冷却温度为12℃条件下,获得了最高功率为119 W、波长为2.02μm的激光输出,光-光转换效率为19.6%,斜率效率达32.7%。该激光器可在最大输出功率下连续稳定运转2 h,功率波动小于1%,晶体端面及光学元件表面不结霜。实验测得x和y方向的光束质量因子分别为21.01和21.68。这种紧凑、可靠、高效的百瓦级2μm激光器对于医疗和科学研究等应用具有重要意义。 展开更多
关键词 激光器 Tm∶YAG 棒状晶体 LD侧面泵浦 2μm 结构紧凑
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金刚石晶体能带计算与光谱分析
4
作者 李海东 申玉 +4 位作者 温雅 张申金 宗楠 薄勇 彭钦军 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期899-916,共18页
金刚石具有高热导率、宽光谱透过范围、大拉曼增益系数和大拉曼频移等优点,已成为拓展波长范围、获得高功率高光束质量新波长的重要拉曼介质。利用第一性原理对金刚石晶格参数、能带结构、态密度、声子谱等进行了计算,系统分析了结构特... 金刚石具有高热导率、宽光谱透过范围、大拉曼增益系数和大拉曼频移等优点,已成为拓展波长范围、获得高功率高光束质量新波长的重要拉曼介质。利用第一性原理对金刚石晶格参数、能带结构、态密度、声子谱等进行了计算,系统分析了结构特征、频谱、能带间隙及电子分布特性。在此基础上,考虑了金刚石的电子运动态以及电场方向对金刚石能带间隙的影响,发现金刚石在<100>晶向最易受电场影响,在<111>晶向最稳定。给出了金刚石晶体的全部本征振动模式和相应频率,分析结果表明泵浦光沿着<110>晶向入射、并沿着<111>晶向偏振时拉曼增益最大。同时讨论了光谱区域内多声子吸收机理,为金刚石拉曼激光效率提升以及波长拓展提供了理论依据。 展开更多
关键词 非线性光学 光谱分析 能带计算 第一性原理 金刚石晶体
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光学元件激光预处理技术研究进展及其应用
5
作者 张晶晶 杨峰 +5 位作者 寇洋 王灼寒 袁磊 高宏伟 薄勇 彭钦军 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1-14,共14页
光学元件中的杂质和缺陷会引起其激光损伤阈值的大幅降低,现阶段这一问题已成为激光装置向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”,亟待解决。在对光学元件激光损伤的研究中发现,用低于光学元件损伤阈值的激光对元件表面进行预处理,可以有效... 光学元件中的杂质和缺陷会引起其激光损伤阈值的大幅降低,现阶段这一问题已成为激光装置向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”,亟待解决。在对光学元件激光损伤的研究中发现,用低于光学元件损伤阈值的激光对元件表面进行预处理,可以有效提高光学元件的抗激光损伤能力。对激光预处理技术的提出背景、定性作用机理、定量理论模型及国内外技术应用现状进行了概述。并且介绍了一种可在薄膜制备过程中进行原位实时激光预处理的新型薄膜制备技术。最后指出,激光预处理技术作为一种无污染,可有效改善光学薄膜、光学玻璃、光学晶体元件损伤阈值的最有效方法之一,其作用机理、实用化、仪器化还有待进一步发展。 展开更多
关键词 激光预处理 光学薄膜 杂质和缺陷 激光损伤阈值
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Using harmonic beam combining to generate pulse-burst in nonlinear optical laser
6
作者 许元斋 李珍玲 +5 位作者 张奥楠 刘可 张晶晶 王小军 彭钦军 许祖彦 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期422-427,共6页
The ultrashort lasers working in pulse-burst mode reveal great machining performance in recent years. The number of pulses in bursts effects greatly on the removal rate and roughness. To generate a more equal amplitud... The ultrashort lasers working in pulse-burst mode reveal great machining performance in recent years. The number of pulses in bursts effects greatly on the removal rate and roughness. To generate a more equal amplitude of pulses in burst with linear polarization output and time gap adjustable, we propose a new method by the harmonic beam combining(HBC).The beam combining is commonly used in adding pulses into the output beam while maintaining the pulse waveform and beam quality. In the HBC, dichroic mirrors are used to combine laser pulses of fundamental wave(FW) into harmonic wave(HW), and nonlinear crystals are used to convert the FW into HW. Therefore, HBC can add arbitrarily more HW pulses to generate pulse-burst in linear polarization with simple structure. The amplitude of each pulse in bursts can be adjusted the same to increase the stability of the burst, the time gap of each pulse can be adjusted precisely by proper time delay. Because HBC adds pulses sequentially, the peak power density of the burst is the same as each pulse, pulses can be combined without concern of back-conversion which often occurs in high peak power density. In the demonstration, the extendibility of HBC was verified by combining two beams with a third beam. The combined efficiency rates were larger than 99%, and the beam quality of each beam was maintained at M^(2)≈1.4. 展开更多
关键词 pulse-burst beam combining nonlinear optics
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产生钠导引星星群的钠信标激光合/分束技术
7
作者 卞奇 薄勇 +1 位作者 左军卫 彭钦军 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期124-129,共6页
研究了脉冲光束的偏振和时序非相干合成技术,通过偏振合束器将两路50 W级500 Hz的589 nm钠信标激光在空间上合为一束光线,成功突破了100 W级μs脉冲全固态钠信标激光输出;利用脉冲激光同步延时器控制两路激光脉冲的时序,使其按先后顺序... 研究了脉冲光束的偏振和时序非相干合成技术,通过偏振合束器将两路50 W级500 Hz的589 nm钠信标激光在空间上合为一束光线,成功突破了100 W级μs脉冲全固态钠信标激光输出;利用脉冲激光同步延时器控制两路激光脉冲的时序,使其按先后顺序合成一束脉冲激光,重复频率提升到1 kHz。合束后的激光光束质量M2约为1.41,与单光束的光束质量基本保持一致,光斑抖动性约为40μrad,可满足激光钠导引星自适应光学系统的应用需求。与传统的相干合成方法相比,该偏振和时序非相干合成方案具有结构简单、稳定、效率高的优点,且整个系统无需复杂的相位控制机制,为脉冲激光功率扩展提供了新途径。基于上述技术基础,结合自主提出的精密偏振分光专利技术,在丽江天文台通过一台发射望远镜将四束25 W/束的μs脉冲黄激光发射到钠层,成功产生了四颗钠导引星,这一结果将有助于推动大型地基光学望远镜中多层共轭自适应光学技术的发展。 展开更多
关键词 钠信标激光 非相干光束合成 偏振调制 时序控制 脉冲激光器
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高功率陶瓷板条激光器
8
作者 宋艳洁 朱铎 +2 位作者 薄勇 彭钦军 李江 《应用光学》 CAS 北大核心 2023年第6期1195-1200,共6页
高功率固体激光在先进制造、能源、信息、医疗及国防等领域有广泛应用。激光陶瓷材料具有掺杂浓度均匀可控、抗激光热损伤能力强、易于制备大尺寸和复合结构等优点,被认为是高功率固体激光的重要增益材料。报道了本课题组近年来在高功... 高功率固体激光在先进制造、能源、信息、医疗及国防等领域有广泛应用。激光陶瓷材料具有掺杂浓度均匀可控、抗激光热损伤能力强、易于制备大尺寸和复合结构等优点,被认为是高功率固体激光的重要增益材料。报道了本课题组近年来在高功率陶瓷板条激光方面的主要研究进展。采用中国科学院上海硅酸盐所制备的大尺寸Nd:YAG陶瓷板条,实现了平均功率4.35 kW的1064 nm脉冲激光输出,脉冲宽度为160μs,重复频率为400 Hz。此外,采用中科院上海硅酸盐所制备的大尺寸Yb:YAG陶瓷板条,实现了平均功率9.8 kW的1030 nm脉冲激光输出,脉冲宽度为560μs,重复频率为160 Hz,光光转换效率为60%。这些研究表明,激光陶瓷材料具备实现高功率、高光束质量与高效率激光的潜力。 展开更多
关键词 激光 高功率 陶瓷 板条 YAG
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大模场一维高阶厄米-高斯激光束产生
9
作者 周王哲 李雪鹏 +6 位作者 杨晶 杨天利 王小军 刘炳杰 王浩竹 杨俊波 彭钦军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期133-140,共8页
厄米-高斯光束在诸多前沿科学领域都有着重要的应用.不同于目前普遍采用的晶体端面离轴泵浦方式,本文提出了一种利用板条激光器产生厄米-高斯激光束的方法.采用半导体激光阵列大面正交泵浦板条激光介质,具有大模场特性.根据预先设计的... 厄米-高斯光束在诸多前沿科学领域都有着重要的应用.不同于目前普遍采用的晶体端面离轴泵浦方式,本文提出了一种利用板条激光器产生厄米-高斯激光束的方法.采用半导体激光阵列大面正交泵浦板条激光介质,具有大模场特性.根据预先设计的谐振腔模场,在板条厚度和宽度方向分别采用尺寸可调的光阑限模.由于高阶模式对谐振腔腔镜不对准的灵敏度弱于低阶模式,可通过耦合输出镜倾斜量的控制,实现不同阶数模式腔内损耗的差异化调控,从而产生各阶次的高纯度厄米-高斯光束.利用Nd:YAG板条激光器,获得了0—9阶一维厄米-高斯光束,其光强分布与理论值的相关系数ρ高于0.95,光束质量因子M^(2)与理论值符合良好.最高阶HG09模式的输出功率为244 mW.在此基础上,进一步利用柱透镜对组成的像散模式转换器,实现了各阶厄米-高斯光束向对应拉盖尔-高斯光束的转换.结合板条放大器结构,基于本方案产生的厄米-高斯光束具备功率定标放大的前景. 展开更多
关键词 厄米-高斯光束 板条激光器 大模场 倾斜量控制 功率定标放大
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激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展 被引量:16
10
作者 宗楠 胡蔚敏 +5 位作者 王志敏 王小军 张申金 薄勇 彭钦军 许祖彦 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期28-42,共15页
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜... 半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。 展开更多
关键词 13.5 nm极紫外光刻技术 激光等离子体 极紫外光源 转换效率 光源碎屑 预脉冲激光
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基于光参量放大相位共轭特性的图像修复与增强 被引量:15
11
作者 王聪 杨晶 +6 位作者 潘秀娟 蔡高航 赵巍 张景园 崔大复 彭钦军 许祖彦 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期123-129,共7页
非线性光学相位共轭技术可将经过散射介质后产生畸变的光学波前进行修复.本文基于光参量放大(OPA)过程的光学相位共轭(OPC)特性,进行了光学相位共轭图像修复和增强的实验研究.基于大能量532 nm皮秒抽运激光和大口径非线性光学晶体KTiOPO... 非线性光学相位共轭技术可将经过散射介质后产生畸变的光学波前进行修复.本文基于光参量放大(OPA)过程的光学相位共轭(OPC)特性,进行了光学相位共轭图像修复和增强的实验研究.基于大能量532 nm皮秒抽运激光和大口径非线性光学晶体KTiOPO_4(KTP)(Ⅱ类相位匹配),对经过牛奶乳浊液后已无法识别的1064 nm近红外光学图像,进行相位共轭修复,修复后的图像分辨率达12线/mm,此外,结合OPA过程的光学增益特性,实现了超过17 dB的光学图像增强,为现有三波混频光学相位共轭修复畸变所获图像增益的最大值.在此基础上,峰值信噪比较修复之前有160%的提升.考虑到光参量过程所具有的波长可调谐特性,在实际应用中,可根据需要,选择与生物组织的光学治疗窗口相匹配的成像波长,从而保证更长的穿透深度,提升生物组织成像和医学无损检测的效果. 展开更多
关键词 光参量放大 光学相位共轭 图像增强 生物成像
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激光钠导引星技术研究进展 被引量:9
12
作者 许祖彦 薄勇 +4 位作者 彭钦军 张雨东 魏凯 薛随建 冯麓 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期1-13,共13页
望远镜是人类探索宇宙奥秘最重要的科学工具之一。大型地基光学望远镜对天观测时,大气扰动使星光波前畸变导致其实际分辨率大幅下降,是长期困扰高精度天文观测的重大科技问题。因此世界各大望远镜均在竞相发展自适应光学技术,以校正大... 望远镜是人类探索宇宙奥秘最重要的科学工具之一。大型地基光学望远镜对天观测时,大气扰动使星光波前畸变导致其实际分辨率大幅下降,是长期困扰高精度天文观测的重大科技问题。因此世界各大望远镜均在竞相发展自适应光学技术,以校正大气造成的波前畸变,使望远镜达到近衍射极限分辨率,这标志着地基光学望远镜正在进入自适应光学望远镜时代。激光钠导引星是用激光激发海拨约90 km电离层中的钠原子产生的人造亮星,作为自适应光学校正的信标源,是自适应光学望远镜的核心技术之一。文中介绍了激光钠导引星技术的原理、方法与国内外发展状况,尤其是该实验室采用的固体激光和频技术,实现了钠D2线光谱匹配和钠层激发匹配的微秒脉冲钠导引星激光,并在国内外大望远镜上使用获得成功。 展开更多
关键词 钠导引星 钠信标 钠导引星激光 自适应光学
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高效率激光二极管泵浦100Hz3.5J Nd:YAG MOPA激光器(英文) 被引量:5
13
作者 杨晓冬 孙志培 +6 位作者 毕勇 薄勇 耿爱丛 彭钦军 张恒利 崔大复 许祖彦 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1373-1376,共4页
研制了结构简单、高效率激光二极管泵浦Nd∶YAGMOPA激光器.振荡级输出单脉冲能量1.13J,重复频率为100HZ.MOPA系统输出最大单脉冲能量2.35J,光-光转换效率为39%.实验结果和理论计算符合较好.
关键词 Nd:YAG棒 MOPA系统 激光二极管侧面泵浦
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用于惯性约束核聚变(ICF)激光驱动系统中集成衍射光学元件的特性研究 被引量:2
14
作者 刘世杰 杜惊雷 +3 位作者 彭钦军 高福华 刘驰 刘建莉 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期106-111,共6页
基于标量衍射理论,分析了集成光束采样光栅和色分离光栅于一体的衍射光学元件的衍射效率,及其结构和主光束低频波前畸变量的关系.并将其衍射效率、能量损耗以及分离角,和使用单个的采样光栅和色分离光栅进行了比较.计算分析表明,集成后... 基于标量衍射理论,分析了集成光束采样光栅和色分离光栅于一体的衍射光学元件的衍射效率,及其结构和主光束低频波前畸变量的关系.并将其衍射效率、能量损耗以及分离角,和使用单个的采样光栅和色分离光栅进行了比较.计算分析表明,集成后的衍射光学元件基本上没有改变各级衍射效率的大小,也没有改变基频光和二倍频光的分离角,但可提高光能利用率.以上结果,可为此类集成光学元件应用于ICF的可行性提供理论依据. 展开更多
关键词 标量衍射理论 ICF 衍射光学元件 分离角 衍射效率 低频波前畸变
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光刻中驻波效应的影响分析 被引量:2
15
作者 刘世杰 杜惊雷 +4 位作者 肖啸 唐雄贵 彭钦军 刘建莉 郭永康 《微纳电子技术》 CAS 2004年第2期41-45,共5页
驻波效应是抗蚀剂在曝光过程中的寄生现象。一般认为,驻波效应对薄胶的光刻图形有较大的影响,而对厚胶的光刻图形影响不大。根据DILL曝光模型进行了模拟计算,分析了在曝光过程中抗蚀剂折射率的改变对驻波强度和位置的影响以及驻波效应... 驻波效应是抗蚀剂在曝光过程中的寄生现象。一般认为,驻波效应对薄胶的光刻图形有较大的影响,而对厚胶的光刻图形影响不大。根据DILL曝光模型进行了模拟计算,分析了在曝光过程中抗蚀剂折射率的改变对驻波强度和位置的影响以及驻波效应引起抗蚀剂曝光剂量分布的变化,并结合MACK显影模型分析了当抗蚀剂的厚度改变时,驻波效应对其显影轮廓的影响程度,计算分析得出了一个可以不采用后烘工序的抗蚀剂厚度值。 展开更多
关键词 光刻 驻波效应 曝光剂量 显影轮廓 厚胶 集成电路 薄光刻胶
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钠信标激光技术进展 被引量:1
16
作者 薄勇 卞奇 +5 位作者 彭钦军 许祖彦 魏凯 张雨东 冯麓 薛随建 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期430-446,共17页
地基光学望远镜对天观测时,大气湍流扰动引起星光波前畸变将导致其实际分辨率远低于物理极限,这是急需解决的科学技术问题。采用钠信标激光激发海拔80~105 km大气电离层中的钠原子可产生高亮度的钠导引星,可作为信标探测大气对光波的扰... 地基光学望远镜对天观测时,大气湍流扰动引起星光波前畸变将导致其实际分辨率远低于物理极限,这是急需解决的科学技术问题。采用钠信标激光激发海拔80~105 km大气电离层中的钠原子可产生高亮度的钠导引星,可作为信标探测大气对光波的扰动,再利用自适应光学技术进行校正,能使望远镜克服大气扰动影响,获得近衍射极限的分辨率。介绍了钠信标激光的特性与国内外研究进展,尤其是中国科学院理化技术研究所激光物理与技术研究中心研制的钠D2线双峰谱型匹配的微秒脉冲钠信标激光器及其在大型望远镜上的应用情况。 展开更多
关键词 自适应光学 钠信标激光 微秒脉冲激光 钠导引星
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双端端泵国产透明陶瓷Nd:YAG激光器研究 被引量:1
17
作者 周勇 陈亚辉 +14 位作者 宗楠 王桂玲 薄勇 彭钦军 崔大复 许祖彦(指导) 吴玉松 李江 潘裕柏 冯锡琪 李军 范飞镝 于爱芳 朱镛 胡章贵 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期257-259,共3页
报道了激光二极管双端泵浦国产Nd:YAG透明陶瓷的实验研究。通过测量透过谱得出国产Nd:YAG透明陶瓷在1064nm处的损耗系数约为0.116cm^(-1)。利用激光二极管双端泵浦国产Nd:YAG透明陶瓷,实现连续波最大输出功率为10.0W,相应的光-光效率为2... 报道了激光二极管双端泵浦国产Nd:YAG透明陶瓷的实验研究。通过测量透过谱得出国产Nd:YAG透明陶瓷在1064nm处的损耗系数约为0.116cm^(-1)。利用激光二极管双端泵浦国产Nd:YAG透明陶瓷,实现连续波最大输出功率为10.0W,相应的光-光效率为22.2%,这一结果是利用国产Nd:YAG陶瓷实现的最高功率激光输出。 展开更多
关键词 激光技术 固体激光器 ND:YAG透明陶瓷
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LD侧泵模块结构参数优化实验研究方法与装置 被引量:1
18
作者 杨晓冬 薄勇 +2 位作者 彭钦军 许祖彦 邵建新 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期20-21,共2页
提出了对LD侧泵棒状激光介质模块结构参数进行定量优化研究的简便实验装置和方法,该装置与方法能够定量分析研究LD与激光棒表面间距、环绕激光棒泵浦光方向数量及激光棒掺杂浓度等参数对于激光棒内增益分布均匀性及模块耦合吸收效率的影... 提出了对LD侧泵棒状激光介质模块结构参数进行定量优化研究的简便实验装置和方法,该装置与方法能够定量分析研究LD与激光棒表面间距、环绕激光棒泵浦光方向数量及激光棒掺杂浓度等参数对于激光棒内增益分布均匀性及模块耦合吸收效率的影响;利用上述装置与方法定量分析了LD与激光棒侧面间距对侧泵Nd:YAG模块的耦合效率及增益分布均匀性的影响,确定了其优化值。 展开更多
关键词 LD侧泵模块 耦合吸收效率 增益分布
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厚层抗蚀剂显影轮廓分析 被引量:2
19
作者 刘世杰 杜惊雷 +3 位作者 肖啸 彭钦军 刘驰 郭永康 《光学与光电技术》 2003年第4期43-46,共4页
DILL曝光模型和MACK显影模型,编制了接触式曝光系统的厚层抗蚀剂光刻模拟软件,用其分析在理想曝光剂量条件下,抗蚀剂显影后的线宽和侧壁陡度随显影时间的变化规律,分析得出了给定厚度的抗蚀剂的显影时间,为实验工艺上严格控制显影时间... DILL曝光模型和MACK显影模型,编制了接触式曝光系统的厚层抗蚀剂光刻模拟软件,用其分析在理想曝光剂量条件下,抗蚀剂显影后的线宽和侧壁陡度随显影时间的变化规律,分析得出了给定厚度的抗蚀剂的显影时间,为实验工艺上严格控制显影时间提供依据。 展开更多
关键词 厚层抗蚀剂 显影轮廓 线宽 MEMS 接触式曝光系统 光刻 侧壁陡度 微电子机械系统
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高功率全固态红绿蓝激光器研究
20
作者 崔大复 薄勇 +5 位作者 彭海波 彭钦军 陈亚辉 杨晓东 崔前进 许祖彦 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期125-125,共1页
高功率全固态红、绿、蓝激光器在国防、信息、医疗和科研等领域有着极为广阔的应用前景。然而,同时获得高功率、高光束质量的全固态激光输出是激光研究领域的难点。我们理论分析与实验结合,深入研究了高平均功率、高光束质量全固态激... 高功率全固态红、绿、蓝激光器在国防、信息、医疗和科研等领域有着极为广阔的应用前景。然而,同时获得高功率、高光束质量的全固态激光输出是激光研究领域的难点。我们理论分析与实验结合,深入研究了高平均功率、高光束质量全固态激光产生和非线性频率变换中的若干关键技术,包括热效应补偿技术与光束质量改善技术、高效率倍频与和频技术,研制成功了高功率高光束质量全固态红、绿、蓝激光器,输出功率分别为:669nm红光28W、532nm绿光218W和440nm蓝光7.6W。相关激光器已经作为三基色光源用于大屏幕全色激光显示,及高功率参量振荡器的泵浦光源等。 展开更多
关键词 激光器 全固态 高功率 高光束质量 非线性频率变换 补偿技术 泵浦光源 高平均功率
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