传感器产业现状和产业结构思考 被引量：6

1

作者 徐开先 徐秋玲 刘沁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第9期1-5,27,共6页

阐述了国内传感器产业存在的主要问题及发展现状:我国传感器的产业布局基本形成,产品门类基本齐全;传感器产品技术水平、工艺、新产品开发、应用研究比国外落后10～15年。认为随着《加快推进传感器及智能化仪器仪表产业发展行动计划》... 阐述了国内传感器产业存在的主要问题及发展现状:我国传感器的产业布局基本形成,产品门类基本齐全;传感器产品技术水平、工艺、新产品开发、应用研究比国外落后10～15年。认为随着《加快推进传感器及智能化仪器仪表产业发展行动计划》的制订,对国内传感器产业发展是重要的机遇。阐述了传感器产业结构体系及技术发展路径,对我国传感器产业的发展提出了五点建议。 展开更多

关键词 传感器产业 现状 结构体系 发展建议

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传感器是国内物联网发展的瓶颈 被引量：14

2

作者 徐开先 马丽敏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第12期1-4,21,共5页

阐述了传感器与物联网的关系,传感器在物联网中的战略意义,分析了我国传感器存在的问题,认为传感器是我国物联网发展的瓶颈,最后提出了发展我国物职联网用传感器的5点建议。

关键词 传感器 物联网 瓶颈 建议

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敏感元件及传感器的国内外动态及对策 被引量：2

3

作者 徐开先 李妍君 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第5期1-4,共4页

关键词 敏感元件 传感器 发展动态 发展现状

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敏感元件和传感器发展建言 被引量：1

4

作者 徐开先 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期1-5,共5页

分析了我国敏感元件和传感器的现状和差距,从产品研发、工艺、基础研究、应用等分析入手,提出敏感元件和传感器的结症所在,由此提出我国敏感元件和传感器的发展建言,即走市场导向—产品引领—技术提升—产业化之路;攻克5个关键和核心工... 分析了我国敏感元件和传感器的现状和差距,从产品研发、工艺、基础研究、应用等分析入手,提出敏感元件和传感器的结症所在,由此提出我国敏感元件和传感器的发展建言,即走市场导向—产品引领—技术提升—产业化之路;攻克5个关键和核心工艺;跟踪前沿技术,立足自主创新,创建民族品牌,开放协作共赢。 展开更多

关键词 敏感 传感器 现状 差距 建言

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加速发展我国传感技术的几点思考

5

作者 徐开先 《传感器技术》 CSCD 1995年第1期3-3,共1页

加速发展我国传感技术的几点思考徐开先（沈阳仪器仪表工艺研究所所长研究员）传感器技术的水平是一个国家综合实力的体现，也是一个国家工业技术水平和生产技术水平的重要标志之一。近十余年来，我国的传感技术在各方的关心和支持下，... 加速发展我国传感技术的几点思考徐开先（沈阳仪器仪表工艺研究所所长研究员）传感器技术的水平是一个国家综合实力的体现，也是一个国家工业技术水平和生产技术水平的重要标志之一。近十余年来，我国的传感技术在各方的关心和支持下，励精图志、成绩卓著。但无须讳言，问... 展开更多

关键词 传感技术 中国 发展

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硅基力敏传感器及其工业应用（下）

6

作者 徐开先 《世界仪表与自动化》 2009年第5期33-35,共3页

四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a．按性能指标要求选用 （1）量程的选用：传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80％～90％为佳，最大工作状态点不能超过满量程。这样能有... 四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a．按性能指标要求选用 （1）量程的选用：传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80％～90％为佳，最大工作状态点不能超过满量程。这样能有效地保证传感器处在安全区并能使传感器的输出达到最大、精度达到较佳、分辨率较高，且具有较强的抗干扰能力。 展开更多

关键词 硅基力敏传感器 膜片 测量 选用原则

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硅基力敏传感器及其工业应用（上）

7

作者 徐开先 《世界仪表与自动化》 2009年第4期18-21,共4页

一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、... 一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。 展开更多

关键词 传感器 硅基力敏传感器 力敏元件

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耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制 被引量：4

8

作者 李新 庞世信 +1 位作者 徐开先 孙承松 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期172-173,182,共3页

如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器，一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电，在300℃下，满量程输出≥180mV，灵敏度为30-40mV/（mA.MPa... 如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器，一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电，在300℃下，满量程输出≥180mV，灵敏度为30-40mV/（mA.MPa），非线性≤1‰FS，重复性≤1‰FS。与常温测试结果相比，300℃高温下，敏感芯片的静态性能没有明显差异。 展开更多

关键词 高温 SOI结构 压力敏感芯片

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压力传感器计算机辅助设计软件的设计 被引量：3

9

作者 李新 黄体笋 +1 位作者 庞世信 徐开先 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第5期67-68,71,共3页

基于ANSYS有限元软件和VB6.0开发了一套压力传感器计算机辅助设计软件。采用参数建模方法输入传感器的结构参数,自动完成建模、网格划分、加载以及求解,并保存节点坐标及相应的应力结果文件;输入敏感电阻的位置、阻值、条宽等参数,依据... 基于ANSYS有限元软件和VB6.0开发了一套压力传感器计算机辅助设计软件。采用参数建模方法输入传感器的结构参数,自动完成建模、网格划分、加载以及求解,并保存节点坐标及相应的应力结果文件;输入敏感电阻的位置、阻值、条宽等参数,依据电阻变化与应力的关系,结合拉格朗日插值算法计算敏感电阻变化量;计算得到传感器的输出。同实测结果相比,满量程输出误差小于10%。 展开更多

关键词 压力传感器 有限元 计算机辅助设计

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从扩散硅力敏传感器Class41到智能传感器ST3000——访美国霍尼韦尔公司SSED分部 被引量：1

10

作者 马少梅 徐开先 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1989年第1期14-23,共10页

本文介绍了美国霍尼韦尔公司SSED的基本情况;介绍了扩散硅力敏传感器Class41型的基本参数和制备工艺;还介绍了智能传感器ST3000的制备工艺及在设计、性能方面与Class41型传感器的比较;由此提出对发展我国扩散硅力敏传感器的看法。

关键词 传感器 力敏传感器 智能传感器

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自主研发的传感器应实现产业化：硅电容压力传感器及其产业化 被引量：3

11

作者 徐开先（特约主持人） 《世界仪表与自动化》 2008年第4期20-23,共4页

传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。 传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。 压力测量是工业过程控制中3大重要测量... 传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。 传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。 压力测量是工业过程控制中3大重要测量参数之一．压力传感器在工业自动化仪表中尤显重要，这次本栏目向读者介绍的3种压力传感器产品： 展开更多

关键词 电容压力传感器 产业化 自主研发 工业自动化仪表 工业过程控制 传感技术 测量参数 输出信号

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传感器和传感器技术

12

作者 徐开先 《东北科技》 1990年第9期7-9,共3页

关键词 传感器技术 传感器

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振兴仪表工业必须加快发展传感器产业 被引量：1

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作者 徐开先 赵志诚 《中国机电工业》 2003年第16期31-33,共3页

仪器仪表在国民经济建设的运行中承担着信息获得和过程控制的任务.其特殊的地位对国民经济有巨大的倍增和拉动作用,并有良好的市场需求和巨大的发展潜力.

关键词 仪表工业 传感器产业 科研基地 工程化基地 科研成果 产业化 中国

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传感器在仪表工业中的地位及国内传感器产业存在的问题 被引量：2

14

作者 徐开先 赵志诚 《中国机电工业》 2003年第16期33-34,共2页

传感器在仪表工业中的地位 传感器是仪器仪表的关键基础元器件,传感器技术是涉及到经济及国防各领域的重要技术.其水平直接影响到自动化系统和信息系统的水平,自动化程度越高,对传感器的依赖越大.

关键词 仪表工业 传感器 传感器产业 性能 更新换代 多样性 研发能力 产品质量

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