卫星用高能激光防护技术发展现状

1

作者 曹生珠 何延春 +6 位作者 王健 成功 马东锋 左华平 王虎 武生虎 李毅 《真空与低温》 2024年第1期1-9,共9页

高能激光技术不断发展,逐渐成为卫星在轨安全的威胁。介绍了高能连续激光和脉冲激光武器对卫星损伤机制的研究进展。针对卫星太阳电池阵、相机、星敏感器等光学系统以及热控多层、复合材料推进剂储箱等非光学关键结构防护特点,总结分析... 高能激光技术不断发展,逐渐成为卫星在轨安全的威胁。介绍了高能连续激光和脉冲激光武器对卫星损伤机制的研究进展。针对卫星太阳电池阵、相机、星敏感器等光学系统以及热控多层、复合材料推进剂储箱等非光学关键结构防护特点,总结分析了线性光学防护薄膜、非线性光学防护薄膜、相变材料、机械快门、高损伤阈值薄膜和防护罩等各种高能激光防护技术的主要原理、发展现状和技术特点。 展开更多

关键词 卫星 高能激光防护 线性光学 非线性光学 相变材料 机械快门 损伤阈值 防护罩

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化学气相沉积SiC涂层反应特性及沉积过程的模拟研究

2

作者 高恒蛟 曹生珠 +6 位作者 张凯锋 丁旭 刘同 李毅 李坤 成功 熊玉卿 《真空与低温》 2024年第1期98-104,共7页

借助基于有限元原理的COMSOL软件和分子动力学模拟原理的Reax FF软件对化学气相沉积技术制备SiC涂层的反应特性及沉积过程进行模拟研究,为高温抗氧化复合涂层体系中SiC中间层的工艺优化及制备提供理论支持。结果表明,化学气相沉积SiC涂... 借助基于有限元原理的COMSOL软件和分子动力学模拟原理的Reax FF软件对化学气相沉积技术制备SiC涂层的反应特性及沉积过程进行模拟研究,为高温抗氧化复合涂层体系中SiC中间层的工艺优化及制备提供理论支持。结果表明,化学气相沉积SiC涂层过程包括前驱体三氯甲基硅烷(CH_(3)SiCl_(3))的扩散过程和热解反应过程,SiC涂层在扩散过程不会生长,仅从10^(−4)s后的热解反应过程开始生长,沉积生长过程同时伴随涂层的解离。随着入射粒子能量的增大,单位时间内沉积到基底表面的Si和C粒子数不断增加。提高粒子入射能量有利于提高SiC涂层的致密度,当入射粒子能量大于2 eV时可以实现SiC涂层的均匀生长,而当入射能量高于6 eV时,解离的Si和C粒子数量增大,不利于SiC涂层的生长。综合而言,当入射能量为3 eV时,化学气相沉积的SiC涂层综合性能最佳。 展开更多

关键词 CVD SIC涂层 反应特性 生长过程 入射能量

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电极间距对防原子氧聚硅氧烷薄膜性能的影响

3

作者 李毅 何延春 +5 位作者 王虎 王兰喜 曹生珠 袁璐 王江伟 李中华 《真空与低温》 2024年第1期71-77,共7页

与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄... 与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄膜。用SEM、AFM、FTIR和XPS等表征分析了电极间距对聚硅氧烷薄膜性能的影响。结果表明,减小电极间距加速了单体的解离和碳基成分的氧化。随着电极距离的减小,薄膜的沉积速度增大,薄膜从有机无机聚硅氧烷薄膜(SiO_(x)C_(y)H_(z))向无机薄膜(SiO_(2))转化。薄膜中高解离能Si-O键的增多,降低了原子氧的侵蚀率。研究结果为用PECVD方法制备其他有机硅功能薄膜奠定了技术基础。 展开更多

关键词 等离子增强化学气相沉积 六甲基二硅氧烷 电极间距 薄膜 原子氧

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空间飞行器用薄膜温度/应变传感技术研究

4

作者 马东锋 熊玉卿 +2 位作者 何延春 张凯峰 曹生珠 《真空与低温》 2024年第1期10-22,共13页

随着功能薄膜制备方法及微细加工技术的日益成熟,基于各类薄膜敏感元件的薄膜传感技术蓬勃发展。薄膜传感器件尺寸小、集成度高、灵敏度高,在深空探测、空间飞行器结构健康监测、载人航天等领域展现出广阔的应用前景。针对空间飞行器的... 随着功能薄膜制备方法及微细加工技术的日益成熟,基于各类薄膜敏感元件的薄膜传感技术蓬勃发展。薄膜传感器件尺寸小、集成度高、灵敏度高,在深空探测、空间飞行器结构健康监测、载人航天等领域展现出广阔的应用前景。针对空间飞行器的各类传感需求,对低温/高温温度传感、热流传感、高温应变传感、柔性大应变传感、柔性智能蒙皮等应用中薄膜传感材料和器件的关键技术及国内外研究现状进行了综述,并对薄膜传感技术的未来发展进行了展望。 展开更多

关键词 薄膜传感器 温度传感 应变传感 智能蒙皮

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微型星用可变辐射器 被引量：2

5

作者 曹生珠 陈学康 +2 位作者 王熙元 韩闯 杨建平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期751-754,共4页

微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于激... 微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于激光微加工技术,采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进行了理论分析,确定了影响器件性能的主要因素。然后采用紫外激光微加工、浸渍提拉法和磁控溅射薄膜沉积等技术制作了微型热开关辐射器样件,并进行了驱动电压和性能测试。测试结果表明,样件驱动电压为97 V,辐射功率调节量约为0.1W。最后对测试结果进行了分析和讨论,提出了改进方案。 展开更多

关键词 热控制 可变辐射器 微加工 微 纳卫星

原文传递

柔性气阻球帆主动离轨装置及其在轨飞行验证 被引量：2

6

作者 曹生珠 王虎 +8 位作者 张凯锋 张晓敏 李学磊 邢振华 李林 吴敢 周超 李坤 王健 《空间碎片研究》 2021年第3期29-33,共5页

由于"星链"等巨型星座的持续部署,低轨空间碎片已经呈现爆发式增长的趋势,急需主动离轨技术以减缓碎片增长。为验证基于球帆的主动离轨技术,开展了针对"北理工一号"(BP-1b)卫星的主动离轨任务设计,建立了BP-1b的轨... 由于"星链"等巨型星座的持续部署,低轨空间碎片已经呈现爆发式增长的趋势,急需主动离轨技术以减缓碎片增长。为验证基于球帆的主动离轨技术,开展了针对"北理工一号"(BP-1b)卫星的主动离轨任务设计,建立了BP-1b的轨道力学模型,采用通用轨道设计软件寿命分析模块和NRLMSISE2000大气密度模型,计算了BP-1b的轨道寿命并设计了主动离轨球帆关键参数。完成了直径0.5m球帆设计、研制、系统集成、地面真空环境展开和力学适应性研究,并于2019年7月到8月完成了在轨飞行演示验证。验证结果表明,球帆在轨成功展开并实现了BP-1b卫星的主动离轨。 展开更多

关键词 碎片清除 主动离轨 球帆 飞行验证

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MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述 被引量：11

7

作者 周超 李得天 +2 位作者 周晖 张凯锋 曹生珠 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期438-443,共6页

MEMS器件是机械电子系统未来的发展趋势。许多MEMS器件需要进行真空封装,从最大程度地减少残余气体,且真空封装水平的高低决定了器件的性能优劣甚至决定器件能否正常工作。常规的MEMS器件封装是在真空腔内放置块体吸气剂,占空间且容易... MEMS器件是机械电子系统未来的发展趋势。许多MEMS器件需要进行真空封装,从最大程度地减少残余气体,且真空封装水平的高低决定了器件的性能优劣甚至决定器件能否正常工作。常规的MEMS器件封装是在真空腔内放置块体吸气剂,占空间且容易产生微小颗粒污染。在器件的真空腔室内镀上吸气剂薄膜,吸气剂薄膜在器件高温键合的同时被激活,就可在后期维持真空腔内的真空度。非蒸散型吸气剂薄膜激活后在室温下即具有优异的吸气性能,应用于MEMS器件真空封装可以提高器件的寿命和可靠性。目前,提高非蒸散型吸气剂薄膜的吸气性能,降低其激活温度是国内外研究的焦点。本文简要介绍了非蒸散型吸气剂薄膜的吸气原理,从膜系材料和制备技术两方面分析了国内外研究现状。在膜材料方面,目前采用ⅣB族+ⅤB族组合的三元合金作为非蒸散型吸气剂薄膜的膜系材料。另外,在材料中掺入Fe、稀土元素等进行薄膜结构的修饰也是较常用的手段。值得指出的是,TiZrV合金薄膜是兼具较好的吸气性能和最低激活温度的非蒸散型吸气剂(NEG)薄膜。在制备技术方面,MEMS器件用非蒸散型吸气剂薄膜一般采用磁控溅射镀膜,磁控溅射镀膜工艺的关键是制备出柱状的纳米晶结构,该结构存在大量的晶界,可促进原子的扩散,降低激活温度。磁控溅射镀膜工艺的研究围绕靶材选择、基片温度、溅射电压、溅射气氛等。探索综合性能更优的新型材料体系和增大薄膜的比表面积仍然是目前非蒸散型吸气剂薄膜研究的关键。本文最后对非蒸散型吸气剂薄膜的研究趋势进行了展望,指出加入调节层的双层膜的激活性能和吸气性能优于单层膜,但调控机理有待明确,今后可以在TiZrV薄膜研究的基础上进一步进行双层薄膜的研究,也可横向拓展进行新型薄膜体系,如ZrCoRE等新型合金薄膜的研究。 展开更多

关键词 MEMS真空封装 非蒸散型吸气剂薄膜 吸气机理 TiZrV薄膜 磁控溅射

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利用飞秒激光对钛金属表面黑化处理的研究 被引量：6

8

作者 李坤 曹生珠 +4 位作者 张晓宇 熊玉卿 张凯锋 王虎 周晖 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期39-42,共4页

目的降低金属钛表面的反射率,探索钛表面黑化处理的新工艺。方法采用飞秒激光技术对金属钛表面进行了黑化处理,通过研究激光功率、扫描速度、重复频率等工艺参数,研究不同试验状态下样品的表面形貌和反射率,采用扫描电镜表征样品的微观... 目的降低金属钛表面的反射率,探索钛表面黑化处理的新工艺。方法采用飞秒激光技术对金属钛表面进行了黑化处理,通过研究激光功率、扫描速度、重复频率等工艺参数,研究不同试验状态下样品的表面形貌和反射率,采用扫描电镜表征样品的微观结构,同时利用分光光度计测试样品的反射率曲线。结果当激光功率为6 W、扫描速度为100 mm/s、重复频率为200 k Hz时,样品的反射率最低,在250~800 nm波长范围内的平均反射率为2.66%。结论调节激光参数可以在金属钛表面获得不同形貌的微结构,不同工艺参数下获得的样品的反射率不同,但是都可以降低钛表面的反射率。 展开更多

关键词 飞秒激光 钛 表面 黑化

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纳米金刚石薄膜紫外探测器研究 被引量：3

9

作者 王兰喜 陈学康 +4 位作者 王云飞 郭晚土 吴敢 曹生珠 尚凯文 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期16-20,共5页

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能... 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能级,能级激活能E_a=0.134eV,俘获截面σ_s=2.81×10^(-22)cm^2,能级密度N_I～10^(12)cm^(-2)。利用脉冲氙灯作为光源对器件的紫外探测性能进行了测试,器件在10V偏压下的脉冲光电流峰值可达9μA,光电流的响应时间为ms量级。分析得出,纳米金刚石薄膜中存在的这个浅能级,由于其低的激活能和小的俘获截面起到非平衡载流子的陷阱作用,导致紫外探测器具有较慢的响应速度和较高的光电流。 展开更多

关键词 纳米金刚石薄膜 紫外探测器 粗糙度 深能级 电荷-深能级瞬态谱

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原子层沉积技术原理及在航天领域的应用现状 被引量：2

10

作者 高恒蛟 熊玉卿 +3 位作者 张文台 张凯锋 曹生珠 成功 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期237-243,共7页

原子层沉积(ALD)是一种高精度涂层制备的技术,薄膜膜厚可以实现原子水平的生长。该技术在薄膜厚度的控制、膜厚均匀性、复杂形状构件的覆盖程度等方面具有很大的优势,被认为是制备高致密度涂层非常有效的方法。本文通过对原子层沉积技... 原子层沉积(ALD)是一种高精度涂层制备的技术,薄膜膜厚可以实现原子水平的生长。该技术在薄膜厚度的控制、膜厚均匀性、复杂形状构件的覆盖程度等方面具有很大的优势,被认为是制备高致密度涂层非常有效的方法。本文通过对原子层沉积技术特征、关键技术问题和原子层沉积技术在航天相关领域应用的最新动态进行综述。针对原子层沉积技术反应温度窗口的确定和提高沉积速率两项关键技术,提出分别采用基于第一性原理的理论研究方法和空间原子层沉积技术(SALD)的技术路径,为原子层沉积技术在航天领域进一步发展和应用方向提供思路。 展开更多

关键词 原子层沉积 涂层厚度 高致密度 温度窗口 沉积速率

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MEMS型电容薄膜真空计研究进展 被引量：12

11

作者 李得天 孙雯君 +3 位作者 成永军 袁征难 曹生珠 高青松 《真空与低温》 2017年第2期63-67,共5页

目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重,不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计,能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化,突破了传统电容薄膜真空计外... 目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重,不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计,能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化,突破了传统电容薄膜真空计外形及质量限制,具有体积小、重量轻、功耗低、便于集成化等优点,成为真空测量仪器研究的热点,能更好地满足特殊条件下的真空测量需求。文章对MEMS型电容薄膜真空计的发展现状、技术特点等进行了探讨研究,并对其发展前景提出展望。 展开更多

关键词 真空测量 MEMS 电容薄膜真空计

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金属薄膜/复合材料结构高低温循环过程的热应力分析 被引量：5

12

作者 杨建平 曹生珠 +2 位作者 王瑞 吴敢 陈学康 《真空与低温》 2011年第2期70-74,84,共6页

分析了用于卫星天线反射器的金属薄膜/复合材料结构在模拟空间环境寿命试验的高低温循环过程中的应力;给出了金属薄膜在经历高低温循环时产生微裂纹的机理。根据微裂纹产生机理,提出了选用合适的过渡层材料在金属薄膜和复合材料基底之... 分析了用于卫星天线反射器的金属薄膜/复合材料结构在模拟空间环境寿命试验的高低温循环过程中的应力;给出了金属薄膜在经历高低温循环时产生微裂纹的机理。根据微裂纹产生机理,提出了选用合适的过渡层材料在金属薄膜和复合材料基底之间形成应力释放层,抑制金属薄膜产生微裂纹。仿真分析和试验结果均证实了这一方法的可行性,并提出了进一步降低微裂纹产生的措施。 展开更多

关键词 金属薄膜 复合材料基底 高低温循环 应力 微裂纹

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GCr15钢表面脉冲激光氮化研究 被引量：3

13

作者 吴敢 王瑞 +5 位作者 杨建平 陈学康 曹生珠 郭晚土 余荣 尚凯文 《真空与低温》 2008年第1期41-44,共4页

利用Nd:YAG固体脉冲激光对GCr15钢样品表面进行了激光氮化处理,获得了高硬度、高耐磨损、表面致密均匀的氮化铁改性层,并对改性层进行了XRD谱分析和表面及剖面显微形貌分析、表面硬度及硬化深度和磨损率等的测量。同时对GCr15钢表面激... 利用Nd:YAG固体脉冲激光对GCr15钢样品表面进行了激光氮化处理,获得了高硬度、高耐磨损、表面致密均匀的氮化铁改性层,并对改性层进行了XRD谱分析和表面及剖面显微形貌分析、表面硬度及硬化深度和磨损率等的测量。同时对GCr15钢表面激光氮化机理进行了分析和研究。 展开更多

关键词 脉冲激光 激光氮化 GCR15 硬度 磨损率 氮化机理

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一种聚酰亚胺超低热导红外热敏悬浮微桥 被引量：1

14

作者 余荣 陈学康 +3 位作者 杨建平 曹生珠 吴敢 王瑞 《微纳电子技术》 CAS 2007年第10期952-956,共5页

热导极为微小的热敏悬空微桥结构的制作是集成非致冷热成像探测阵列热敏感单元研究的核心。由于没有现成的将聚酰亚胺制成微桥的工艺,采用准分子激光微刻蚀技术,使用聚酰亚胺材料,并采用铂作为敏感材料来制作微桥。对所制作的铂/聚酰亚... 热导极为微小的热敏悬空微桥结构的制作是集成非致冷热成像探测阵列热敏感单元研究的核心。由于没有现成的将聚酰亚胺制成微桥的工艺,采用准分子激光微刻蚀技术,使用聚酰亚胺材料,并采用铂作为敏感材料来制作微桥。对所制作的铂/聚酰亚胺微桥原理性样件的初步测试表明,铂/聚酰亚胺微桥的热导约3.98×10-7W/K,与理论计算值接近。铂薄膜与聚酰亚胺微桥附着良好,工艺可行。在0～10V的驱动电压下可观察到铂/聚酰亚胺微桥样件明显的自热效应,其电加热响应时间小于100ms。 展开更多

关键词 非致冷红外探测 热敏悬浮微桥 激光微刻蚀 微机电系统

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硝酸掺杂提高石墨烯透明导电膜导电性研究 被引量：3

15

作者 郭磊 陈学康 +3 位作者 王兰喜 白晓航 张超 曹生珠 《真空与低温》 2014年第1期38-42,共5页

石墨烯同时具备高透过率和良好的导电性可作为透明导电材料，然而由于CVD法制备的石墨烯的多畴特性，以及石墨烯本征载流子浓度较低，目前石墨烯透明导电膜方阻偏高，还无法满足实际应用需要，因此探索提高石墨烯的导电性对推进石墨烯... 石墨烯同时具备高透过率和良好的导电性可作为透明导电材料，然而由于CVD法制备的石墨烯的多畴特性，以及石墨烯本征载流子浓度较低，目前石墨烯透明导电膜方阻偏高，还无法满足实际应用需要，因此探索提高石墨烯的导电性对推进石墨烯透明导电膜应用发展是非常重要的。通过掺杂提高石墨烯的载流子浓度从而提高石墨烯的导电性是其中一条重要途径。采用CVD法在铜箔上制备了石墨烯透明导电膜，并用硝酸处理石墨烯，研究了掺杂作用对石墨烯载流子浓度以及电导率的影响。实验结果证实硝酸处理会在石墨烯中引入P型掺杂，掺杂使得载流子的浓度增加了约2．5倍。方阻从530～205Ω/□，显著改善了石墨烯的导电性能，而石墨烯高透过率特性并未因掺杂而降低。 展开更多

关键词 石墨烯透明导电膜 硝酸掺杂 导电性

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微型节流制冷器MMR的分析与研究 被引量：2

16

作者 王田刚 陈学康 +3 位作者 曹生珠 王瑞 杨建平 吴敢 《真空与低温》 2006年第3期149-152,共4页

提出了新型微型节流制冷器——MMR的设计方案,利用微型化准则对小尺寸下的换热器、节流毛细管进行了理论计算与分析,讨论了设计方案的可行性。提出了用闭合的螺旋细微槽道代替节流毛细管的方法,并介绍了激光焊接密封腔体的相关加工工艺。

关键词 微型节流制冷器 微槽道 毛细管 密封

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激光刻蚀技术及其在航天器天线制造中的应用 被引量：9

17

作者 杨建平 陈学康 +2 位作者 吴敢 王瑞 曹生珠 《航天制造技术》 2011年第3期51-54,62,共5页

以可实现频率复用、高灵敏度和低噪声的航天器先进固面天线反射器(极化和频率敏感反射器等)为例,主要介绍了利用镀膜/激光刻蚀技术进行反射器表面高精度金属薄膜图形制作过程中的关键技术问题和解决措施,同时简要介绍了已尝试过的三维... 以可实现频率复用、高灵敏度和低噪声的航天器先进固面天线反射器(极化和频率敏感反射器等)为例,主要介绍了利用镀膜/激光刻蚀技术进行反射器表面高精度金属薄膜图形制作过程中的关键技术问题和解决措施,同时简要介绍了已尝试过的三维曲面高精度薄膜图形制作技术和激光刻蚀技术的现状和发展方向。 展开更多

关键词 激光刻蚀 三维薄膜图形 航天器 天线反射器

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高响应度Al_(0.1)Ga_(0.9)N薄膜紫外探测器研究 被引量：1

18

作者 王兰喜 陈学康 +1 位作者 王瑞 曹生珠 《真空与低温》 2009年第1期5-8,共4页

在有机金属化学气相沉积的Al0.1Ga0.9N薄膜上设计并制作了光导型的紫外探测器。测试表明在波长为345nm光照下器件具有峰值响应度1050A/W,说明Al0.1Ga0.9N薄膜的禁带宽度被调至3.6eV,与计算结果吻合。在时间响应测试中,器件表现出持续光... 在有机金属化学气相沉积的Al0.1Ga0.9N薄膜上设计并制作了光导型的紫外探测器。测试表明在波长为345nm光照下器件具有峰值响应度1050A/W,说明Al0.1Ga0.9N薄膜的禁带宽度被调至3.6eV,与计算结果吻合。在时间响应测试中,器件表现出持续光电导(PPC)现象,这使得器件的响应时间延长,然而,器件中可能存在的陷阱效应能够降低载流子复合几率,延长载流子寿命,从而导致了器件的高响应度,这将有利于器件在静态目标的高灵敏度探测领域的应用。 展开更多

关键词 Al0.1Ga0.9N薄膜 紫外探测器 陷阱效应

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增强石墨烯光电探测器光响应度研究进展

19

作者 王兰喜 周晖 +8 位作者 张凯锋 王虎 曹生珠 熊玉卿 王金晓 高恒蛟 李学磊 李坤 周超 《光电子技术》 CAS 北大核心 2018年第3期151-161,166,共12页

石墨烯具有从紫外到太赫兹波段范围内的超宽吸收光谱、超高载流子迁移率和超快光响应速度,被认为是制作快速光电探测器的理想材料。然而,具有一个原子层厚度的石墨烯的光吸收仅为2.3%,同时石墨烯载流子皮秒量级的超快复合速率,导致石墨... 石墨烯具有从紫外到太赫兹波段范围内的超宽吸收光谱、超高载流子迁移率和超快光响应速度,被认为是制作快速光电探测器的理想材料。然而,具有一个原子层厚度的石墨烯的光吸收仅为2.3%,同时石墨烯载流子皮秒量级的超快复合速率,导致石墨烯光电探测器的光响应度较低,为几十甚至零点几mA/W。为此,科研人员提出了多种提高石墨烯光电探测器光响应度的方法,使石墨烯光电探测器的光响应度获得显著提升,目前最高已达到107 A/W。综述近年增强石墨烯光电探测器光响应度的研究进展,分析各种方法的特点,讨论石墨烯光电探测器未来可能的发展趋势和前景。 展开更多

关键词 石墨烯 光电探测器 光电响应度 研究进展

原文传递

在聚酰亚胺衬底上低温制备超薄热敏铂膜的研究

20

作者 余荣 陈学康 +4 位作者 曹生珠 杨建平 吴敢 王瑞 尚凯文 《真空与低温》 2008年第1期23-26,共4页

通过在聚合物衬底上制备热敏薄膜可以实现非平、屈曲物体表面温度的实时监控和测量。利用脉冲激光沉积技术在聚酰亚胺衬底上低温(250℃左右)制备了超薄铂热敏薄膜,其室温下的电阻温度系数为1.01×10-3/K。通过增加ZnO过渡层,可使铂... 通过在聚合物衬底上制备热敏薄膜可以实现非平、屈曲物体表面温度的实时监控和测量。利用脉冲激光沉积技术在聚酰亚胺衬底上低温(250℃左右)制备了超薄铂热敏薄膜,其室温下的电阻温度系数为1.01×10-3/K。通过增加ZnO过渡层,可使铂薄膜的电阻温度系数增大为1.55×10-3/K。 展开更多

关键词 脉冲激光沉积 聚酰亚胺衬底 铂热敏薄膜 电阻温度系数

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