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氧掺杂对NiCrAlYN纳米金属陶瓷涂层抗氧化性能的影响 被引量:1
1
作者 王伟 武姣姣 +1 位作者 沈明礼 朱圣龙 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2023年第1期46-52,共7页
研究了不同O含量掺杂对NiCrAlYN纳米金属陶瓷涂层在1100℃下抗氧化性能的影响。采用多弧离子镀设备,分别在0、10 sccm、20 sccm O_(2)流量下制备得到3种不同O含量的涂层。经1100℃、300 h的高温测试后,3组样品表面均生成了α-Al_(2)O_(3... 研究了不同O含量掺杂对NiCrAlYN纳米金属陶瓷涂层在1100℃下抗氧化性能的影响。采用多弧离子镀设备,分别在0、10 sccm、20 sccm O_(2)流量下制备得到3种不同O含量的涂层。经1100℃、300 h的高温测试后,3组样品表面均生成了α-Al_(2)O_(3)和NiAl_(2)O_(4),氧化膜厚度分别为8.78μm、7.9μm和5.7μm。O_(2)流量为0和10 sccm涂层的氧化膜产生明显分层,其中上层为NiAl_(2)O_(4),下层为α-Al(2)O_(3);而流量为20 sccm涂层的氧化膜并没有发生明显分层。O掺杂量的增加能够抑制氧化膜中大颗粒状Y-Al氧化物夹杂的形成,降低氧化膜的生长速率。此外,氧化后未掺杂氧的涂层较含氧涂层退化严重,主要归因于氧掺杂涂层中弥散分布的氧化物颗粒抑制了涂层的退化。 展开更多
关键词 多弧离子镀 NiCrAlYN NiCrAlYNO 纳米金属陶瓷涂层 NiAl_(2)O_(4)
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反应溅射动力学模型及应用的研究 被引量:1
2
作者 朱圣龙 王福会 吴维畦 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 1998年第2期19-21,共3页
提出了一个新的直流反应溅动力学模型。该模型能够比现有模型更全面地预测稳态及各种因素对稳态的影响。例如,对稳态反应溅射时反应气体分压与流量的关系,现有模型只能给出流量随分压变化的部分情况,而动力学模型能够预测完整的滞后... 提出了一个新的直流反应溅动力学模型。该模型能够比现有模型更全面地预测稳态及各种因素对稳态的影响。例如,对稳态反应溅射时反应气体分压与流量的关系,现有模型只能给出流量随分压变化的部分情况,而动力学模型能够预测完整的滞后效应曲线。动力学模型还对反应溅射中的几个基本现象(稳态跃变、滞后现象和异常稳态)的物理本质提出了新的见解。论文对薄膜成分控制做了一些探索,并在理论研究结果指导下制备了TiAlOx太阳能选择性吸收膜。 展开更多
关键词 稳态 指导 反应溅射 影响 预测 因素 制做 分压 滞后现象 跃变
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反应溅射状态跃变过程 被引量:1
3
作者 朱圣龙 王福会 吴维怠 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第4期547-548,共2页
分析了金属溅射区与氧化物溅射区之间的跃变时的参数变化,说明膜中金属对反应气体的捕获效应和真空室氧分压对靶氧化物形成速率的影响导致了反应溅射状态跃变。
关键词 反应溅射 状态跃变过程 薄膜技术 金属 靶面
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斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征
4
作者 朱圣龙 曹硕 +5 位作者 李淑梅 张春刚 谢冬柏 王文 辛丽 王福会 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期86-90,共5页
研究了1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其在1000℃空气中形成的氧化膜的组织结构.涂层采用Ni-7Cr-8Al合金靶磁控溅射方法制备.沉积过程中样品静止不动,名义入射角分别为0°和45°.这两种样品在本文中分别称... 研究了1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其在1000℃空气中形成的氧化膜的组织结构.涂层采用Ni-7Cr-8Al合金靶磁控溅射方法制备.沉积过程中样品静止不动,名义入射角分别为0°和45°.这两种样品在本文中分别称为正入射和斜入射沉积涂层.研究结果表明:两种涂层的晶体结构均为f.c.c.γ-Ni,并且都具有典型的柱状晶组织结构,所不同的是,正入射沉积涂层的柱状晶垂直表面,斜入射涂层的柱状晶与法线间的角度大约为32°,并且后者看起来较疏松.在1000℃空气中50 h内,正入射沉积Ni-7Cr-8Al涂层表面可形成纯α-Al2O3保护性氧化膜,斜入射涂层氧化行为较复杂.氧化10h后的涂层表面为均匀致密的α-Al2O3氧化物;氧化20 h后氧化膜主要为等轴晶形状Fe2O3和NiCrO3,此外还有很多尺寸为几微米的小孔;氧化50 h后,氧化物发生大面积剥落,氧化膜内有大量孔洞,残留的表面氧化物主要由Fe2O3和NiCrO3组成. 展开更多
关键词 斜入射磁控溅射 Ni—Cr-Al 氧化膜
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非晶态Al_2O_3涂层的高温热腐蚀性能
5
作者 朱圣龙 王福会 +1 位作者 楼翰一 吴维■ 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 1993年第3期54-57,共4页
用反应溅射方法在高温合金GH30(Ni-20 Cr-0.2 Ti)上沉积了约6μm的非晶态Al_2O_3涂层。研究了Al_2O_3涂层的抗热腐蚀性能。实验表明,在1123K的熔融硫酸盐中,Al_2O_3涂层能大大降低试样的热腐蚀速率,消除内硫化,而且此涂层具有良好的粘... 用反应溅射方法在高温合金GH30(Ni-20 Cr-0.2 Ti)上沉积了约6μm的非晶态Al_2O_3涂层。研究了Al_2O_3涂层的抗热腐蚀性能。实验表明,在1123K的熔融硫酸盐中,Al_2O_3涂层能大大降低试样的热腐蚀速率,消除内硫化,而且此涂层具有良好的粘附性。虽然Al_2O_3涂层在预先的真空退火处理中发生龟裂,但是在热腐蚀中龟裂纹被新形成的氧化物所愈合。 展开更多
关键词 涂层 高温 热腐蚀 反应溅射 氧化铝 高温合金
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玻璃和石英基体上沉积的TiO_2薄膜的光催化性能 被引量:7
6
作者 张文杰 朱圣龙 +2 位作者 李瑛 王福会 何红波 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第3期269-273,共5页
采用直流磁控反应溅射法,在玻璃和石英基体上制备了TiO2薄膜.在氧气流速超过阈值的条件下溅射,能够得到均匀透明的TiO2薄膜.在玻璃和石英基体上制备的薄膜都由均匀的锐钛矿型氧化钛晶粒组成,在晶粒中间分布着微小的孔隙.尽管在整个光谱... 采用直流磁控反应溅射法,在玻璃和石英基体上制备了TiO2薄膜.在氧气流速超过阈值的条件下溅射,能够得到均匀透明的TiO2薄膜.在玻璃和石英基体上制备的薄膜都由均匀的锐钛矿型氧化钛晶粒组成,在晶粒中间分布着微小的孔隙.尽管在整个光谱区域内石英基体的透射率都比玻璃基体高,但在两种基体上制备的TiO2薄膜的光谱吸收边沿基本相同.薄膜中的Ti都以Ti4+形式存在.两种TiO2薄膜光催化降解甲基橙的能力相差不大. 展开更多
关键词 磁控反应溅射 氧化钛 薄膜 玻璃 石英 基体 光催化 甲基橙 降解
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Ti_(0.7)Al_(0.3)N涂层的抗NaCl和水蒸气腐蚀行为 被引量:7
7
作者 冯长杰 辛丽 +2 位作者 李明升 朱圣龙 王福会 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期145-150,共6页
用电弧离子镀方法在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢表面制备Ti0.7Al0.3N涂层,研究了涂层在450℃空气中恒温氧化行为和在固态NaCl和水蒸气综合作用下的腐蚀行为.结果表明:Ti0.7Al0.3N涂层在空气中均具有优良的抗氧化能力,而不锈钢在固态NaCl... 用电弧离子镀方法在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢表面制备Ti0.7Al0.3N涂层,研究了涂层在450℃空气中恒温氧化行为和在固态NaCl和水蒸气综合作用下的腐蚀行为.结果表明:Ti0.7Al0.3N涂层在空气中均具有优良的抗氧化能力,而不锈钢在固态NaCl和水蒸气综合作用下的腐蚀严重,施加Ti0.7Al0.3N涂层显著地提高了不锈钢基体的抗腐蚀性能.1Cr11Ni2W2MoV不锈钢由于生成内层富Cr,外层富Fe的疏松氧化物,其在固态NaCl和水蒸气综合作用下发生严重的腐蚀,而Ti0.7Al0.3N涂层生成致密的Al2O3和TiO2的混合物,使其具有良好的抗氧化和腐蚀性能. 展开更多
关键词 材料失效与保护 电弧离子镀 Ti0.7Al0.3N涂层 NaCl和水蒸气 氧化 腐蚀
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氧化铈对搪瓷涂层组织及摩擦磨损性能的影响 被引量:9
8
作者 张春华 杨洪刚 +3 位作者 张松 张希川 朱圣龙 王福会 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期198-202,共5页
在高温钛合金表面采用电泳沉积法预置搪瓷釉料,经烧结获得搪瓷涂层.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜及SRV- 型摩擦磨损试验机研究了普通搪瓷涂层和含CeO2搪瓷涂层的组织形貌及摩擦磨损性能.结果表明:引入CeO2可以提高瓷釉的悬浮性和... 在高温钛合金表面采用电泳沉积法预置搪瓷釉料,经烧结获得搪瓷涂层.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜及SRV- 型摩擦磨损试验机研究了普通搪瓷涂层和含CeO2搪瓷涂层的组织形貌及摩擦磨损性能.结果表明:引入CeO2可以提高瓷釉的悬浮性和流动性,使其在烧结过程中形成更加致密的组织;与此同时,CeO2可以改善搪瓷涂层的显微组织,促进硬质颗粒相的弥散分布,从而有利于降低搪瓷涂层的摩擦系数,显著提高其抗磨性能. 展开更多
关键词 电泳沉积 CEO2 搪瓷涂层 摩擦磨损性能
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电弧离子镀梯度(Ti,Al)N薄膜的结构与抗氧化性能 被引量:7
9
作者 冯长杰 辛丽 +2 位作者 李明升 朱圣龙 王福会 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-6,共6页
采用电弧离子镀(AIP)技术在航空发动机压气机用1Cr11Ni2W2MoV不锈钢上沉积(Ti,Al)N梯度薄膜,并研究其微观结构和高温抗氧化性能。结果表明,薄膜均匀致密,与基体结合良好;薄膜为B1型(NaCl)单相结构,具有(220)择优取向;薄膜是内层富TiN、... 采用电弧离子镀(AIP)技术在航空发动机压气机用1Cr11Ni2W2MoV不锈钢上沉积(Ti,Al)N梯度薄膜,并研究其微观结构和高温抗氧化性能。结果表明,薄膜均匀致密,与基体结合良好;薄膜为B1型(NaCl)单相结构,具有(220)择优取向;薄膜是内层富TiN、外层富(Ti,Al)N的梯度薄膜;梯度薄膜在700℃和800℃氧化后,表层形成富Al2O3的保护膜,在700℃较长时间内和800℃短时间内对不锈钢基体具有良好的保护作用。 展开更多
关键词 电弧离子镀 梯度(Ti Al)N薄膜 结构 氧化
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水在金属镁表面吸附的第一原理研究 被引量:8
10
作者 罗志成 张国英 +2 位作者 梁婷 李丹 朱圣龙 《沈阳师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2010年第2期189-192,共4页
采用第一性原理赝势平面波方法,通过Materials Studio软件中的castep模块,研究了水分子在Mg(0001)表面吸附行为,揭示了镁合金钝化机理。研究了水分子在Mg(0001)表面顶位T1、桥位B2、穴位H3、穴位F4吸附情况,重点研究水分子置于T1位置的... 采用第一性原理赝势平面波方法,通过Materials Studio软件中的castep模块,研究了水分子在Mg(0001)表面吸附行为,揭示了镁合金钝化机理。研究了水分子在Mg(0001)表面顶位T1、桥位B2、穴位H3、穴位F4吸附情况,重点研究水分子置于T1位置的3种情况,即:水分子平行镁表面T1p,水分子垂直表面T1v,水分子所在平面与镁表面有一定倾斜T1i。计算给出了吸附能、电荷密度、差分密度、水的键长键角,分析了结构的稳定性和原子间的成键情况。结果表明:水分子在Mg(0001)表面吸附时候,氧原子与表面成键,且在顶位吸附且吸附构型是倾斜时最稳定。吸附能为-0.429 3 eV(=-41.21 kJ/mol),并且吸附能大于40 kJ/mol,吸附为化学吸附。吸附过程中表面镁原子的电子向水分子转移,使镁表面电位向正方向移动,会使镁产生钝化。吸附使水分子键长增长,键角增大,即水中各原子间作用减弱,可与Mg形成水合分子或MgO、或Mg(OH)2,从而发生钝化。 展开更多
关键词 密度泛函理论 第一性原理 吸附能 电荷密度 差分电荷密度
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超细搪瓷涂层对Ti60合金氧化及力学性能的影响 被引量:13
11
作者 熊玉明 朱圣龙 王福会 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期768-772,共5页
研究了超细特种搪瓷涂层对Ti60合金在800℃恒温氧化性能的影响,通过拉伸实验评价了涂层对氧向合金中扩散的阻挡效果.实验结果表明,搪瓷涂层由于具有高的热化学稳定性及与基体钛合金相近的热膨胀系数,能显著地提高Ti60合金在800℃的恒温... 研究了超细特种搪瓷涂层对Ti60合金在800℃恒温氧化性能的影响,通过拉伸实验评价了涂层对氧向合金中扩散的阻挡效果.实验结果表明,搪瓷涂层由于具有高的热化学稳定性及与基体钛合金相近的热膨胀系数,能显著地提高Ti60合金在800℃的恒温氧化性能,同时,由稳定氧化物组成的搪瓷涂层具有致密性及均匀性的特点,能够有效阻止氧向合金中的扩散.搪瓷釉通过超细化后,可以显著降低涂层烧成温度. 展开更多
关键词 Ti60合金 超细搪瓷涂层 力学性能 恒温氧化性能 热化学稳定性
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沉积时间对磁控反应溅射制备TiO_2薄膜性能的影响 被引量:7
12
作者 张文杰 朱圣龙 +2 位作者 李瑛 王福会 何红波 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1785-1788,共4页
应用直流磁控反应溅射法,在玻璃基体上制备了具有光催化活性的TiO2薄膜。TiO2薄膜的厚度随沉积时间的增加而均匀增长。基体温度则在溅射的最初1h裉快上升到110℃,溅射7h基体温度不超过130℃。溅射2h得到的是非晶态TiO2薄膜,而溅射3... 应用直流磁控反应溅射法,在玻璃基体上制备了具有光催化活性的TiO2薄膜。TiO2薄膜的厚度随沉积时间的增加而均匀增长。基体温度则在溅射的最初1h裉快上升到110℃,溅射7h基体温度不超过130℃。溅射2h得到的是非晶态TiO2薄膜,而溅射3~7h制备的薄膜为锐钛矿型结构。非晶态和小晶粒TiO2薄膜的紫外-可见透射光谱谱带边沿与结晶较好的TiO2薄膜相比有明显的蓝移,薄膜的透射率随沉积时间的增加而下降。钛以四价钛的形式存在于TiO2薄膜中。TiO2薄膜的光催化活性随沉积时间和薄膜厚度的增加而有较大提高。 展开更多
关键词 磁控反应溅射 TIO2薄膜 光催化 沉积时间
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NiTi形状记忆合金激光气体氮化层组织及磨损性能 被引量:6
13
作者 张松 张春华 +3 位作者 王强 文效忠 朱圣龙 才庆魁 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期986-989,共4页
  采用高功率连续波固体Nd:YAG激光辐照,在置于N2反应室中的NiTi形状记忆合金表面制备激光气体氮化层。实验表明:选择适当的激光辐照工艺参数。可获得致密的TiN增强金属基复合材料(MMC)梯度涂层,改性层的表面被厚度为1μm-2μm的TiN...   采用高功率连续波固体Nd:YAG激光辐照,在置于N2反应室中的NiTi形状记忆合金表面制备激光气体氮化层。实验表明:选择适当的激光辐照工艺参数。可获得致密的TiN增强金属基复合材料(MMC)梯度涂层,改性层的表面被厚度为1μm-2μm的TiN陶瓷层封闭,涂层内部TiN增强相呈梯度分布。扫描电镜(SEM)及能谱(EDX)分析结果表明,MMC改性层与基体NiTi合金间存在良好的冶金结合,界面处成分均匀过渡,表面Ni含量极低。显微硬度测试及磨损试验结果表明,激光气体氮化显著提高了NiTi合金的表面硬度和耐磨性。说明激光表面改性有效地改善了NiTi形状记忆合金作为生物医学材料使用的表面成分和性能,并将有效地抑制有害元素Ni2+的释放。 展开更多
关键词 NITI形状记忆合金 激光气体氮化 金属基复合材料 涂层
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Al(001)、Al(110)、Al(111)面表面能的密度泛函理论计算 被引量:6
14
作者 张芳英 滕英元 +1 位作者 张美霞 朱圣龙 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期47-49,共3页
用密度泛函理论方法 ,采用超晶胞模型 ,计算了Al(0 0 1)、Al(110 )、Al(111)面的表面能 .计算表明 ,Al(0 0 1)面的表面能为 0 87eV ,Al(110 )面为 1 0 7eV ,Al(111)面为 0 76eV .分析了表面能差异与表面电荷平均面密度的关系 ,表面原... 用密度泛函理论方法 ,采用超晶胞模型 ,计算了Al(0 0 1)、Al(110 )、Al(111)面的表面能 .计算表明 ,Al(0 0 1)面的表面能为 0 87eV ,Al(110 )面为 1 0 7eV ,Al(111)面为 0 76eV .分析了表面能差异与表面电荷平均面密度的关系 ,表面原子层和次表面原子层的电荷面密度在s,p轨道上重新分布 .表面原子层电荷密度越大 ,表面能越低 . 展开更多
关键词 密度泛函理论 原子 表面能 电荷面密度 电荷密度 晶胞 平均 计算值 表面电荷 轨道
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高温防护金属涂层的发展及活性元素效应 被引量:12
15
作者 鲍泽斌 蒋成洋 +1 位作者 朱圣龙 王福会 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期21-31,共11页
高温防护涂层(一般为金属基)被广泛用于航空发动机和大型地面燃气轮机关键热端部件(例如涡轮叶片)的防护。通过生成一层致密且生长缓慢的氧化膜(Al_2O_3,Cr_2O_3或SiO_2等),这类涂层可以在高温下为基体合金提供可靠防护,以防止基体合金... 高温防护涂层(一般为金属基)被广泛用于航空发动机和大型地面燃气轮机关键热端部件(例如涡轮叶片)的防护。通过生成一层致密且生长缓慢的氧化膜(Al_2O_3,Cr_2O_3或SiO_2等),这类涂层可以在高温下为基体合金提供可靠防护,以防止基体合金被快速氧化腐蚀侵害。本文回顾了高温防护金属黏结层的发展历程(以铝化物涂层和MCrAlY包覆涂层为例),其改进总是围绕着提高涂层中Al的浓度及合理分布,以及缓和涂层与基体合金的互扩散为目标;重点关注高温防护涂层中添加活性元素(RE)后引入的活性元素效应,包括活性元素被发现的历程、活性元素改性作用机制以及近期研究者在活性元素掺杂方面的工作进展。 展开更多
关键词 铝化物涂层 MCrAlY包覆涂层 高温氧化 高温腐蚀 活性元素效应
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磁控溅射Ni_3(AlCr)微晶涂层的抗氧化性能 被引量:6
16
作者 王福会 楼翰一 +1 位作者 朱圣龙 吴维 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 1994年第4期287-293,共7页
研究了铸态Ni3(AlCr)合金及其微晶溅射涂层在900—1000℃下的高温氧化性能,结果表明:铸态Ni3(AlCr)合金在氧化过程中,开始形成以Al2O3为主含有少量NiAl2O4的氧化膜,但氧化膜的粘附性很差,在... 研究了铸态Ni3(AlCr)合金及其微晶溅射涂层在900—1000℃下的高温氧化性能,结果表明:铸态Ni3(AlCr)合金在氧化过程中,开始形成以Al2O3为主含有少量NiAl2O4的氧化膜,但氧化膜的粘附性很差,在冷却时很容易剥落,在继续氧化过程中合金表面将形成NiO膜,由于NiO的保护性较差,合金表现出“失稳氧化”行为。而溅射微晶Ni3(AlCr)涂层表面形成的氧化膜与基体粘附良好,冷却过程中未发生剥落。长时间氧化后表面氧化膜只由Al2O3和NiAl2O4组成,未出现NiO,因此溅射微晶化合金的抗氧化性能明显地提高。 展开更多
关键词 溅射 微晶 涂覆 金属互化物 防腐
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内应力对金属薄膜生长织构的影响 被引量:9
17
作者 周 浪 周耐根 朱圣龙 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期795-798,共4页
基于FS型原子镶嵌势(EAM势)用分子动力学模拟了金属多晶薄膜的原子沉积生长过程,通过预设恒定应变在薄膜生长过程中引入了单轴压应力,模拟研究了应力对呈丝织构的多晶薄膜中晶粒沿丝轴旋转取向择优的影响.模拟结果表明,在固定压应变... 基于FS型原子镶嵌势(EAM势)用分子动力学模拟了金属多晶薄膜的原子沉积生长过程,通过预设恒定应变在薄膜生长过程中引入了单轴压应力,模拟研究了应力对呈丝织构的多晶薄膜中晶粒沿丝轴旋转取向择优的影响.模拟结果表明,在固定压应变条件下,最密排方向偏离压应力轴的晶粒较为优先生长发展;在生长过程中,取向择优的晶粒从沉积表面开始逐渐扩张吞并相邻晶粒.模拟结果还显示,这种生长织构的发展随沉积膜厚增加有显著的临界特征;在织构发展过程中被吞并的晶粒局部出现孪晶,继而转换为择优生长晶粒的结构;在被吞并的晶粒最终消失处将会留下失配位错. 展开更多
关键词 内应力 金属薄膜 织构 分子动力学
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溅射纳米晶IN738合金的恒温氧化行为 被引量:9
18
作者 耿树江 王福会 朱圣龙 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 2001年第3期137-143,共7页
利用磁控溅射方法在IN738合金上制备了同成分的纳米晶涂层 ,研究了该合金与纳米晶涂层在 80 0℃、90 0℃和 10 0 0℃的恒温氧化行为 .结果表明 :纳米晶涂层在 90 0℃和 10 0 0℃氧化时能形成双层的外氧化膜 ,表层为TiO2 和Cr2 O3 为主... 利用磁控溅射方法在IN738合金上制备了同成分的纳米晶涂层 ,研究了该合金与纳米晶涂层在 80 0℃、90 0℃和 10 0 0℃的恒温氧化行为 .结果表明 :纳米晶涂层在 90 0℃和 10 0 0℃氧化时能形成双层的外氧化膜 ,表层为TiO2 和Cr2 O3 为主的混合氧化物层 ,内层为连续的Al2 O3 层 ,没有内氧化及氮化 ,但在 80 0℃氧化却不能形成连续的Al2 O3 内层 . 展开更多
关键词 溅射 IN738合金 纳米晶 氧化
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沉积条件和表面改性对磁控溅射法制备TiO_2薄膜性能的影响 被引量:4
19
作者 张文杰 杨丽丽 +2 位作者 李瑛 朱圣龙 王福会 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期479-484,共6页
TiO2薄膜具有许多独特的性能,作为一种令人满意的材料被应用于诸多领域。磁控溅射作为制备这种多功能薄膜的一种主要方法,也越来越引起人们的关注。TiO2薄膜的结构和性能是由沉积条件决定的。通过改变沉积速度、溅射气体、靶温度、退火... TiO2薄膜具有许多独特的性能,作为一种令人满意的材料被应用于诸多领域。磁控溅射作为制备这种多功能薄膜的一种主要方法,也越来越引起人们的关注。TiO2薄膜的结构和性能是由沉积条件决定的。通过改变沉积速度、溅射气体、靶温度、退火过程以及采用其它溅射技术,可以得到金红石、锐钛矿或是非晶的TiO2膜,同时具有不同的光催化、光学及电学性能,能够满足不同应用领域的需要。同时,表面改性可以克服TiO2薄膜的应用局限性,使之具有更佳的使用性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 TIO2 薄膜 沉积条件 表面改性
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钛合金表面防护技术及发展 被引量:21
20
作者 徐杰 张春华 +4 位作者 张松 康煜平 朱圣龙 王福会 才庆魁 《钛工业进展》 CAS 2003年第3期17-21,共5页
评述了钛合金高温氧化及防护方面的研究进展,并对今后防护涂层的研究提出了建议。
关键词 钛合金 表面防护 防护涂层 热稳定性 高温氧化
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