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感应耦合等离子体离子源放电特性仿真研究
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作者 李日正 倪国华 +1 位作者 孙红梅 王城 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期819-824,共6页
针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源,采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明,相比于均匀绕制线圈,非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其... 针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源,采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明,相比于均匀绕制线圈,非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其径向均匀性均;氩离子密度随着放电腔高度的增大先增大后减小,在高度为38 mm时达到最大值;使用阶梯式介质窗虽然可以提高氩离子的密度,但也增加了其被溅射的风险。将模拟计算结果应用于离子源实验装置的研制,实现了0.24 mA氩离子束稳定引出。 展开更多
关键词 离子源 数值模拟 感应耦合等离子体 等离子体发生器
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4-硝基苯胺衍生分散染料在超临界二氧化碳中的染色性能 被引量:3
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作者 林尚明 陈翰 +2 位作者 黄茂全 姚薇华 李日正 《纺织高校基础科学学报》 CAS 2019年第2期196-203,共8页
为使染料与超临界二氧化碳染色具有更佳的上色率,合成一系列含4-硝基苯胺衍生的红色偶氮分散性染料。使用这些染料在超临界二氧化碳中对聚酯进行染色,并探讨不同碳数烷基、乙基和乙酰氧乙基、甲氧基在染料结构中对聚酯染色后的表观色浓... 为使染料与超临界二氧化碳染色具有更佳的上色率,合成一系列含4-硝基苯胺衍生的红色偶氮分散性染料。使用这些染料在超临界二氧化碳中对聚酯进行染色,并探讨不同碳数烷基、乙基和乙酰氧乙基、甲氧基在染料结构中对聚酯染色后的表观色浓度、染色坚牢度的影响。自行合成了7支分散性染料,染料1A^7A,产率均高于80%。研究发现,将长链烷基导入单偶氮染料的胺基中引起较大的红移效应,染料颜色从陈玫红变为暗岩蓝。自行合成的7支染料分别于超临界二氧化碳中对聚酯纤维进行染色,染色布样以耐水洗、耐水、耐汗(酸、碱)和耐摩擦色牢度等指标,按ISO和AATCC标准进行坚牢度评估。研究发现,在超临界二氧化碳染色中,染料2A、3A和5A第一次染色具有超过85%的染色相对上色率,即染料2A、3A和5A适用于聚酯织物的超临界二氧化碳染色。染色样品的耐水洗、耐水、耐汗和耐摩擦牢度性能都符合商业要求。 展开更多
关键词 超临界二氧化碳 染色 偶氮分散性染料 聚酯纤维
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