期刊文献+
共找到85篇文章
< 1 2 5 >
每页显示 20 50 100
用电镀铜锡合金薄膜实现圆片级气密封装 被引量:5
1
作者 杜利东 赵湛 +2 位作者 方震 孙学金 王晓蕾 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期3044-3049,共6页
开发了一种基于电镀铜锡合金薄膜的绝压气压传感器圆片级气密封装技术以降低常规的基于阳极键合气密封装技术的成本及难度。通过实验确定了铜锡合金薄膜的电镀参数,实现了结构参数为:Cr/Cu/Sn(30nm/4μm/4μm)的铜锡合金薄膜;通过共晶... 开发了一种基于电镀铜锡合金薄膜的绝压气压传感器圆片级气密封装技术以降低常规的基于阳极键合气密封装技术的成本及难度。通过实验确定了铜锡合金薄膜的电镀参数,实现了结构参数为:Cr/Cu/Sn(30nm/4μm/4μm)的铜锡合金薄膜;通过共晶键合实验确定圆片级气密封装的参数,进行了基于铜锡材料的气密封装温度实验。通过比较各种不同温度下气密封装的结果,确定了完成圆片级气密封装的条件为:静态压力0.02 MPa,加热温度280°,保持20min。最后,对气密封装效果进行X-射线衍射谱(XRD)、X射线分析、剪切力以及氦气泄露分析等实验研究。XRD分析显示:在键合界面出现了Cu3Sn相,证明形成了很好的键合;X射线分析表明封装面无明显孔洞;剪切力分析给出平均键合强度为9.32 MPa,氦气泄露分析则显示泄露很小。得到的结果表明:基于电镀铜锡合金薄膜可以很好地实现绝压气压传感器的圆片级气密封装。 展开更多
关键词 微机械 气密封装 气压传感器 圆片级键合 电镀铜锡合金薄膜
下载PDF
基于MEMS技术的微型固态拖动力式测风传感器(英文) 被引量:2
2
作者 杜利东 赵湛 +2 位作者 庞程 方震 刘泳宏 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第4期370-374,共5页
为了获得风速风向的信息,制作了一种拖动力式微型固态测风传感器.它包括两个正交封装的单元,每个单元用来独立地测量风速,含有一个薄平板和两个用来连接平板和硅衬底的短悬梁.由于当风从不同角度吹过传感器时悬梁上的应变不同,因此通过... 为了获得风速风向的信息,制作了一种拖动力式微型固态测风传感器.它包括两个正交封装的单元,每个单元用来独立地测量风速,含有一个薄平板和两个用来连接平板和硅衬底的短悬梁.由于当风从不同角度吹过传感器时悬梁上的应变不同,因此通过测量单个单元悬梁上的应变值可获得风速值,同时通过正交组装两个测风速单元获得风向值.该传感器在ANSYS软件中进行了模拟,用流体力学进行了分析,并在小型风洞中进行了测试.结果表明在输入电源电压为0.5V时传感器最大灵敏度高达60μV/(m·s-1),风向测量的线性度小于6%. 展开更多
关键词 风速风向传感器 MEMS 拖动力 ANSYS 正交封装
下载PDF
MEMS固态风速风向传感器的设计与制作 被引量:3
3
作者 杜利东 赵湛 庞程 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期245-248,共4页
风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风... 风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真,得出了风速与挠度、剪切力的关系。用惠斯通电桥测量传感器输出信号,通过单个传感器的二次封装测量风向信号。制作出了硅悬梁式测风传感器,并进行了初步测试。 展开更多
关键词 MEMS技术 ANSYS分析 风速风向 硅薄膜 硅悬梁
下载PDF
一种气压传感器新型标定补偿方法(英文) 被引量:1
4
作者 杜利东 周晓宇 +3 位作者 卫克晶 赵湛 方震 孙学金 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期73-77,共5页
通常气压传感器的标定补偿方法复杂耗时,开发了一种新的方法去简化气压传感器的标定补偿。首先,设计恒温结构,并通过PID算法自动调节,使气压传感器的核心敏感元件工作于某一个固定温度(此温度稍高于气压传感器需要工作的最高温度点);其... 通常气压传感器的标定补偿方法复杂耗时,开发了一种新的方法去简化气压传感器的标定补偿。首先,设计恒温结构,并通过PID算法自动调节,使气压传感器的核心敏感元件工作于某一个固定温度(此温度稍高于气压传感器需要工作的最高温度点);其次,把气压传感器在与这个固定温度点相等的环境温度下进行标定;最后,完成标定后不管环境温度如何变化,气压传感器敏感元件始终工作在一个恒定的温度,因此气压传感器的标定与补偿可以得到简化。经测试,气压传感器在一定的环境温度范围内实现恒温工作,标定后可以以较高的精度测量气压,实验结果表明经过标定补偿后的气压传感器可以在实际中应用。 展开更多
关键词 MEMS 气压 传感器 恒温
下载PDF
电阻热效应对力式微固态测风传感器测量精度的影响 被引量:1
5
作者 杜利东 赵湛 +4 位作者 庞程 方震 韩有君 翟文业 刘泳宏 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期339-344,共6页
本文就电阻热效应对基于风的拖动力原理的微型固态测风传感器测量精度的影响进行了研究。微型固态测风传感器通过溅射在悬梁上的铂电阻测量悬梁弯曲应变来获得风速信息和简单的风向信息。风吹过铂电阻时,除了应变引起电阻阻值变化外,由... 本文就电阻热效应对基于风的拖动力原理的微型固态测风传感器测量精度的影响进行了研究。微型固态测风传感器通过溅射在悬梁上的铂电阻测量悬梁弯曲应变来获得风速信息和简单的风向信息。风吹过铂电阻时,除了应变引起电阻阻值变化外,由于热传导、对流、辐射等热效应,其阻值也会随着风速的变化而变化。当热效应引起的电阻的变化趋势和应变引起的电阻变化趋势相反时,传感器的输出先减小后增大,风速测量产生较大误差。文中对两种铂电阻在悬梁上的放置连接方式的传感器进行了理论分析,通过对利用MEMS工艺制作的两种传感器的测试,证实理论分析与实验结果相符。 展开更多
关键词 测风 MEMS 热效应 电桥
下载PDF
如何降低雷害对铁路信号设备影响的探讨 被引量:3
6
作者 杜利东 《佳木斯大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第4期532-534,共3页
根据雷害对铁路信号设备的影响,对产生雷害的原因进行了具体分析,针对雷害的特点提出了具体的解决方案,并对在实施过程中应注意的问题进行了探讨.
关键词 雷害 铁路信号 分析 改进措施 实施方法
下载PDF
基于无线体域网技术的老人健康监护系统的设计 被引量:35
7
作者 轩运动 赵湛 +3 位作者 方震 杜利东 耿道渠 史要红 《计算机研究与发展》 EI CSCD 北大核心 2011年第S2期355-359,共5页
随着我国进入老龄化,老年人的健康监护越来越受到人们的关注,传统的健康监护模式已不能满足需求.而传统的面向家庭用的监护系统比较少,而且功能比较单一、操作性比较复杂、实时性差、价格比较昂贵.近年来伴随着MEMS技术、集成电路技术... 随着我国进入老龄化,老年人的健康监护越来越受到人们的关注,传统的健康监护模式已不能满足需求.而传统的面向家庭用的监护系统比较少,而且功能比较单一、操作性比较复杂、实时性差、价格比较昂贵.近年来伴随着MEMS技术、集成电路技术、无线通信技术的不断进步,无线体域网系统(wireless body sensor network)得到长足发展.基于无线体域网技术的应用系统也越来越受到人们的重视.设计了一种基于无线体域网技术的老年人健康监护系统.介绍了基于无线体域网技术的老年人健康监护系统的系统总体架构,重点介绍了无线体域网节点的设计以及无线体域网的系统构成.无线体域网节点包括无线心电与脉搏节点、无线血氧与体温节点.并介绍了各个生理参数的检测方法与检测电路.最后给出了生理参数的检测结果以及智能终端上的处理显示结果. 展开更多
关键词 无线传感器网络 体域网 老龄化 健康监护
下载PDF
基于可穿戴设备的日常压力状态评估研究 被引量:9
8
作者 赵湛 韩璐 +3 位作者 方震 陈贤祥 杜利东 刘正奎 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期2669-2676,共8页
现代生活普遍压力较大,容易引起消极痛苦的应激,导致不良情绪甚至滋生各类慢性病。心理专家需要了解个体的压力状态,从而开展对应性心理疏导和治疗。传统心理学自评法存在一定的主观性;基于生理多导仪的压力状态评估法,受设备体积所限... 现代生活普遍压力较大,容易引起消极痛苦的应激,导致不良情绪甚至滋生各类慢性病。心理专家需要了解个体的压力状态,从而开展对应性心理疏导和治疗。传统心理学自评法存在一定的主观性;基于生理多导仪的压力状态评估法,受设备体积所限无法用于日常压力状态评估。针对上述问题,该文采用可穿戴式传感设备实时采集个体生理信号,利用心理和生理的伴生关系,对个体的心理压力进行长期实时评估。同时通过蒙特利尔影像应激实验(MIST)诱发出被试平静、轻微及高度压力3种压力状态,此实验范式同时包含认知负荷精神压力因素与社会评价心理压力因素,与日常真实生活更为接近。该文共采集39名健康被试的实验数据,通过对数据的特征值提取等预处理,结合随机森林算法对最优特征子集进行选择,采用支持向量机(SVM)分类算法对3种压力状态进行分类预测。实验结果表明,通过随机森林特征选择优化后的SVM分类,与通用的单一SVM分类算法相比,具有更好的分类识别效果,对3种压力状态的分类准确率可从78%提高至84%。 展开更多
关键词 压力识别 可穿戴设备 心电 呼吸 支持向量机
下载PDF
一种基于多参数融合的无袖带式连续血压测量方法的研究 被引量:10
9
作者 徐志红 方震 +4 位作者 陈贤祥 覃力 杜利东 赵湛 刘杰昕 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第2期353-362,共10页
针对现有基于脉搏波传输时间的无创连续性血压测量算法精度不高的问题,该文综合考虑心电信号和血氧容积波与血压变化的相关性,提出一种基于BP神经网络的无创连续性血压测量方法。该文首先利用改进的心电信号算法提取出心电信号的R点,利... 针对现有基于脉搏波传输时间的无创连续性血压测量算法精度不高的问题,该文综合考虑心电信号和血氧容积波与血压变化的相关性,提出一种基于BP神经网络的无创连续性血压测量方法。该文首先利用改进的心电信号算法提取出心电信号的R点,利用差分、阈值的方法提取出血氧容积波的特征参数,再经过特征解析,提取出与血压相关的15维特征向量,构建基于BP神经网络的血压计算模型,计算出逐拍的血压值。该方法在天坛医院等单位进行了医学临床比对测试,并通过因子分析法分析了15个特征参数的权重比。实验证明:在预测血压上,脉搏波传输时间的权重,大于相邻特征点之间的时间信息权重,大于脉搏波面积信息权重,大于脉搏波幅值信息权重;该方法精度优于其它相近方法,单次测量的舒张压和收缩压误差的平均值±标准差分别是-1.57±6.12 mmHg和-0.62±4.82 mmHg,重复测量误差的平均值±标准差分别是-2.12±5.10 mmHg和-2.52±4.41 mmHg。收缩压和舒张压的测量精度均达到了BHS血压标准的Grade A类和AAMI标准。 展开更多
关键词 可穿戴式技术 连续血压 多参数融合 神经网络
下载PDF
基于光纤传感的生理参数监测系统研究 被引量:8
10
作者 赵荣建 汤敏芳 +4 位作者 陈贤祥 杜利东 曾华林 赵湛 方震 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第9期2182-2189,共8页
常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适... 常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适应地检测细小的光强变化获得心冲击图(BCG)信号,利用信号处理算法获取心率、呼吸率和体动等信息;把光纤嵌入床垫或坐垫设计为三明治结构,既保护了光纤又增强了系统的可靠性和稳定性;采用蛇形返折走线将光纤均匀地分布在垫子中间,使系统具有高灵敏度。通过多家医院临床标准方法对比测试可得在95%的置信区间(±1.96SD)内该系统心率均值误差为–0.26±2.80次/min,与标准值之间的相关性为0.9984;呼吸率均值误差为0.41±1.49次/min,与标准值之间的相关性为0.9971。实验表明,研制的系统可在零负荷的状态下无感进行生理参数测量,在健康医疗领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光纤传感器 心冲击图 心率 呼吸率
下载PDF
球形光声腔中二氧化碳的检测 被引量:8
11
作者 赵俊娟 赵湛 +3 位作者 杜利东 吴少华 肖丽 白敬彩 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期289-292,共4页
气体光声光谱技术是一种基于光声效应的微量气体检测技术,它具有高灵敏度、高选择性、大动态检测范围的优点,本文从理论上讨论了气体检测球形光声腔共振模式的声学特性,计算表明,与常用的圆柱形光声腔比较,球形光声腔不存在粘滞损耗,具... 气体光声光谱技术是一种基于光声效应的微量气体检测技术,它具有高灵敏度、高选择性、大动态检测范围的优点,本文从理论上讨论了气体检测球形光声腔共振模式的声学特性,计算表明,与常用的圆柱形光声腔比较,球形光声腔不存在粘滞损耗,具有更好的检测特性;利用球形光声腔和二氧化碳激光器构成的气体光声检测系统,从实验上测量了球形光声腔的共振模式,与理论计算结果一致;实验结果表明注入浓度为300 ppm二氧化碳的球形光声腔所激发的光声信号为5.68 mV,信噪比高达45,尽可能地降低了声波在光声腔内壁附近的热损耗和粘滞损耗,提高了二氧化碳气体检测灵敏度。 展开更多
关键词 光声光谱 球形光声池 气体检测 激光技术
下载PDF
光声光谱信号的检测与处理 被引量:7
12
作者 赵俊娟 赵湛 +2 位作者 耿道渠 杜利东 吴少华 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第9期68-70,77,共4页
针对微型光声光谱气体检测实验中背景噪声严重,微音器信号无法被准确提取的问题,借助计算机及其声卡设计了PAS传感器信号检测系统。首先,分析实验中锁相放大技术的基本原理,提出利用虚拟仪器技术实现光声信号检测的方法;通过分析实验中... 针对微型光声光谱气体检测实验中背景噪声严重,微音器信号无法被准确提取的问题,借助计算机及其声卡设计了PAS传感器信号检测系统。首先,分析实验中锁相放大技术的基本原理,提出利用虚拟仪器技术实现光声信号检测的方法;通过分析实验中可虚拟化的仪器原理,最终利用LabVIEW开发出自动检测系统,实现了硬件仪器软件化,有效减少实验中硬件噪声源的存在,采样频率192 kHz,采样位数24 B it,存储深度极大。结果与结论:结果表明它能从5 mV的噪声中提取0.1 mV的光声信号,误差为0.9%,能够很好的应用于光声试验中,满足稳定可靠、精度高、抗干扰能力强等实验要求。 展开更多
关键词 光声光谱 虚拟仪器 锁相放大 频谱分析
下载PDF
Cu_2O纳米晶制备及其在乙醇气体传感器中的应用 被引量:6
13
作者 刘儒平 杜利东 +2 位作者 岳钊 牛文成 刘国华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第12期138-141,共4页
以CuCl2·H2O为主要原料,抗坏血酸作还原剂,聚乙二醇—20000(PEG—20000)作表面活性剂,利用化学混合法制备了纳米晶结构的Cu2O纳米立方体。研究了pH值对Cu2O纳米结构的影响,并用XRD和SEM对产物的物相和形貌进行了表征。将粉体制成... 以CuCl2·H2O为主要原料,抗坏血酸作还原剂,聚乙二醇—20000(PEG—20000)作表面活性剂,利用化学混合法制备了纳米晶结构的Cu2O纳米立方体。研究了pH值对Cu2O纳米结构的影响,并用XRD和SEM对产物的物相和形貌进行了表征。将粉体制成气敏元件,气敏性能测试结果表明:该Cu2O纳米晶对乙醇气体具有较高的灵敏度和选择性。600℃热处理2 h材料气敏特性最好,在最佳工作温度(360℃)下对体积分数为0.006%的乙醇气体灵敏度可达到38%,达到了口腔乙醇气体体积分数检测限度0.008%的要求。 展开更多
关键词 氧化亚铜 纳米立方体 气体传感器 气敏特性 乙醇气体
下载PDF
基于心动周期估计的心音分割及异常心音筛查算法 被引量:6
14
作者 赵湛 张旭茹 +3 位作者 方震 陈贤祥 杜利东 李田昌 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期2677-2683,共7页
心脏疾病是全球发病率和死亡率最高的疾病,心音听诊可以获取心脏的机械特性及结构特征,与超声心动图、核磁共振等无创诊断技术相比具有快速、低成本和操作简单的优势。心音信号成分复杂,容易受到各种噪声和干扰的影响,听诊诊断结果容易... 心脏疾病是全球发病率和死亡率最高的疾病,心音听诊可以获取心脏的机械特性及结构特征,与超声心动图、核磁共振等无创诊断技术相比具有快速、低成本和操作简单的优势。心音信号成分复杂,容易受到各种噪声和干扰的影响,听诊诊断结果容易受到医生主观性的影响,极大限制了心音听诊的应用。该文提出一种基于心动周期估计的心音分割及异常心音筛查算法,预先估计了心音的心动周期,存在随机干扰的情况下也可以正确识别信号中80%以上的心动周期,提高了算法的稳定性。同时提出了区分度良好的时域和频域特征指标,利用支持向量机建模,对异常心音的识别率可达92%。算法可辅助医生诊断,或用于家用便携式心音监护设备。 展开更多
关键词 心音分割 异常心音筛查 支持向量机
下载PDF
四线涡轮式慢阻肺健康监护系统研究 被引量:4
15
作者 赵荣建 周旺 +6 位作者 汤敏芳 陈贤祥 杜利东 赵湛 杨汀 詹庆元 方震 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期469-476,共8页
针对传统涡轮式肺活量计存在检测精度不高、可靠性差的问题,该文提出一种新颖的四线涡轮式检测方法,研制了一款高精度、高可靠性的慢阻肺监护系统。在硬件上,根据四线涡轮式检测方法设计了四线式呼气采集电路,提高了光路接收分辨率,并... 针对传统涡轮式肺活量计存在检测精度不高、可靠性差的问题,该文提出一种新颖的四线涡轮式检测方法,研制了一款高精度、高可靠性的慢阻肺监护系统。在硬件上,根据四线涡轮式检测方法设计了四线式呼气采集电路,提高了光路接收分辨率,并通过合理的元器件布置,减少了发光-光敏二极管相互间串扰,提高了系统的可靠性;在软件上,采用线性回归算法对其脉冲计数与分析得到用力肺活量、峰值流速等早期筛查与诊断指标。该系统利用标准Fluke气流分析仪的进行了数据标定,与传统医用涡轮式肺功能仪测试对比:用力肺活量平均相对误差由1.98%降低至1.47%;峰值流速平均相对误差由2.04%降低至1.02%。实验表明,四线涡轮式慢阻肺监护系统的呼气指标比传统慢阻肺系统检测精度更高,可靠性更好,适用于慢阻肺疾病的早期筛查与精准诊断,结合血氧饱和度、呼气末二氧化碳等指标,能实现对慢阻肺患者的医疗监护,特别对于中度和重度慢阻肺患者能起到预警和控制病情的作用。 展开更多
关键词 四线涡轮式 慢阻肺 用力肺活量 峰值流速
下载PDF
高精度硅压阻式气压传感器系统设计 被引量:9
16
作者 周晓宇 张萌颖 +1 位作者 杜利东 赵湛 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第4期97-99,共3页
为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下... 为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下,600~1 100 h Pa量程内气压传感器的测量误差小于0.3 h Pa。 展开更多
关键词 硅压阻式气压传感器 芯片加热 PID控制 温度补偿
下载PDF
基于介电泳诱捕与阻抗测量的三维网格型生物传感器的研究 被引量:2
17
作者 许静 赵湛 +3 位作者 方震 刘泳宏 杜利东 耿道渠 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期295-299,共5页
微粒分离与检测的集成,一直是微全分析系统亟待解决的难题。结合介电泳与生物阻抗谱测量,设计了一种三维介电泳芯片。以SU8胶为材料的绝缘夹层以及其上方和下方网格状交叉的电极阵列,构成了芯片的关键区域,且在SU8绝缘夹层中利用光刻技... 微粒分离与检测的集成,一直是微全分析系统亟待解决的难题。结合介电泳与生物阻抗谱测量,设计了一种三维介电泳芯片。以SU8胶为材料的绝缘夹层以及其上方和下方网格状交叉的电极阵列,构成了芯片的关键区域,且在SU8绝缘夹层中利用光刻技术形成了圆柱状小势阱。三维的网格状阵列结构及具有束缚电场功能的SU8电介质,共同形成了其独特的电场极值分布,使得微粒诱捕电压降低的同时,更能将微粒诱捕到SU8阱中,便于阻抗谱测量。三维电极结构解决了平面电极电场分散的难题,具有更高的灵敏度。更为重要的是同一电极的介电泳诱捕与阻抗谱测试的切换使用,降低了制作复杂度,并使测试更加快捷。 展开更多
关键词 介电泳 SU8阱 阻抗 生物传感器
下载PDF
MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 被引量:4
18
作者 庞程 赵湛 杜利东 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期249-251,278,共4页
基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺:利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大... 基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺:利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄,分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响,采用阳极键合形成真空腔,试验反应离子深刻蚀形成硅膜的效果。芯片测试结果表明方案可行。 展开更多
关键词 电容压力传感器 各向异性腐蚀 阳极键合 反应离子深刻蚀
下载PDF
基于阻抗检测微传感技术的皮肤渗透性评估方法 被引量:1
19
作者 赵湛 卢飞 +3 位作者 王辰硕 赵荣建 杜利东 方震 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第8期1927-1933,共7页
基于宏电极的单频皮肤阻抗测量是利用阻抗进行皮肤渗透性研究的传统方法之一,其存在误差大、灵敏度低且不易于设备集成的缺点。由此,该文通过分析皮肤的分层生理结构以及皮肤渗透性与角质层(SC)阻抗的关系,设计了基于柔性非对称叉指微... 基于宏电极的单频皮肤阻抗测量是利用阻抗进行皮肤渗透性研究的传统方法之一,其存在误差大、灵敏度低且不易于设备集成的缺点。由此,该文通过分析皮肤的分层生理结构以及皮肤渗透性与角质层(SC)阻抗的关系,设计了基于柔性非对称叉指微电极的皮肤阻抗传感器,构建了RCW分层阻抗模型,实现了对人体角质层阻抗的检测分析。实验结果表明,传感器输出的阻抗模值msdZ(100)和scR模型拟合参数可用作表征皮肤渗透性的重要指标。该方法可用于区分不同个体的皮肤渗透性,为人体生理生化检测相关的可穿戴设备参数调节提供依据。 展开更多
关键词 可穿戴设备 皮肤阻抗 叉指微电极 皮肤渗透能力 阻抗模型
下载PDF
一种基于已知位置数据库的传感器网络定位算法 被引量:1
20
作者 方震 赵湛 +4 位作者 崔逊学 史要红 耿道渠 轩运动 杜利东 《计算机研究与发展》 EI CSCD 北大核心 2011年第S2期116-124,共9页
作为一种全新的信息获取方式,传感器网络在许多领域得到广泛应用,具有复杂的大规模监测和追踪功能,网络自身的定位是大多数应用的基础.针对网格拓扑中的节点位置数据库已知的条件,提出一种基于接收信号强度的节点自定位算法.并从实用性... 作为一种全新的信息获取方式,传感器网络在许多领域得到广泛应用,具有复杂的大规模监测和追踪功能,网络自身的定位是大多数应用的基础.针对网格拓扑中的节点位置数据库已知的条件,提出一种基于接收信号强度的节点自定位算法.并从实用性角度评估定位算法可扩展性和定位容错性.实验结果表明在室内本定位算法可实现3×3格点矩阵内9个节点的准确定位.根据仿真和实验结果表明本定位算法在干扰少的环境中具有高精度、低成本、能量消耗少、易于安置等特点. 展开更多
关键词 无线传感器网络 节点自定位 已知位置数据库 定位算法
下载PDF
上一页 1 2 5 下一页 到第
使用帮助 返回顶部