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硬脆晶体基片化学机械抛光材料去除非均匀性形成机制研究 被引量:14
1
作者 杜家熙 苏建修 +2 位作者 王占合 马利杰 康仁科 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期1130-1137,共8页
本文主要对基片内材料去除非均匀性的形成机理进行了深入的研究;首先分析了化学机械抛光(CMP)时抛光机运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律... 本文主要对基片内材料去除非均匀性的形成机理进行了深入的研究;首先分析了化学机械抛光(CMP)时抛光机运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律,然后进行了基片内材料去除非均匀性实验,通过实验得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响;通过比较理论分析与实验结果,基片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性及接触压力分布非均匀性随转速的变化趋势与基片表面材料去除非均匀性的实验结果的曲线性质不匹配,而只有抛光液中的磨粒在基片表面的运动轨迹分布密度非均匀性与基片表面材料去除非均匀性的实验结果曲线趋势相同;研究结果表明,基片表面材料去除非均匀性是由磨粒在基片表面上的运动轨迹分布密度非均匀性造成的,充分说明了基片表面材料去除的机械作用主要是磨粒的机械作用。 展开更多
关键词 硬脆晶体基片 化学机械抛光 非均匀性
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基于单片机的步进电机控制器设计 被引量:18
2
作者 杜家熙 陈艳锋 李国厚 《煤矿机械》 北大核心 2007年第2期88-91,共4页
步进电机是一种常用的机电执行元件,相应的控制和驱动电路对于其整体性能起着非常重要的作用。采用常见的AT89S51单片机和步进电机驱动芯片L298N实现步进电机的控制和驱动。整个系统具有结构简单、可靠性高、体积小、成本低和实用性强... 步进电机是一种常用的机电执行元件,相应的控制和驱动电路对于其整体性能起着非常重要的作用。采用常见的AT89S51单片机和步进电机驱动芯片L298N实现步进电机的控制和驱动。整个系统具有结构简单、可靠性高、体积小、成本低和实用性强等特点,具有较高的应用推广价值。 展开更多
关键词 单片机 步进电机 控制器 驱动器
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数控机床对刀方法 被引量:4
3
作者 杜家熙 王玉萍 宁欣 《工具技术》 北大核心 2004年第11期70-72,共3页
关键词 对刀方法 工件坐标系 数控机床加工 刀位点 刀具 机床坐标系 对刀点 偏置 精确控制 零件
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制备方法对废旧轮胎热解制备的炭材料性能的影响
4
作者 严智慧 徐贝贝 +2 位作者 刘恒辰 冯宜鹏 杜家熙 《湖北理工学院学报》 2023年第4期21-25,共5页
采用3种不同方法对废旧轮胎热解制备炭材料,即以废旧汽车轮胎粉碎物为原料,分别运用直接制炭法、添加碱类一步制炭法和添加碱类二步制炭法来制备炭材料,并对比研究了其性能。XRD分析发现,以碱类二步法制备的炭材料中,S和ZnS含量明显减少... 采用3种不同方法对废旧轮胎热解制备炭材料,即以废旧汽车轮胎粉碎物为原料,分别运用直接制炭法、添加碱类一步制炭法和添加碱类二步制炭法来制备炭材料,并对比研究了其性能。XRD分析发现,以碱类二步法制备的炭材料中,S和ZnS含量明显减少,石墨晶格间距变大。FTIR检测发现,以碱类二步法制备的炭材料中,芳香环C C键官能团和O—H键官能团得到了增强。电化学检测发现,以碱类二步法制备的炭材料的导电性最佳,阳极峰和阴极峰最大响应电流分别为178μA和-178μA。综合来看,采用碱类二步法制炭的效果最佳,可为废旧轮胎制备炭材料技术的开发奠定基础。 展开更多
关键词 废旧轮胎 炭材料 官能团 导电性
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斜孔加工工艺角度的计算 被引量:3
5
作者 杜家熙 马利杰 +2 位作者 陈锡渠 张万琴 巴新华 《机械制造》 北大核心 1999年第4期19-20,共2页
机械加工中,由于受机床进给方向的限制,在加工工件上的斜孔时往往需要转动工件或刀具以适应加工的要求。这种在加工过程中工件或刀具的转动角度叫做工艺角度,由于工件在机床上定位条件的不同,图纸上给出的角度一般不能作为工艺角度,需... 机械加工中,由于受机床进给方向的限制,在加工工件上的斜孔时往往需要转动工件或刀具以适应加工的要求。这种在加工过程中工件或刀具的转动角度叫做工艺角度,由于工件在机床上定位条件的不同,图纸上给出的角度一般不能作为工艺角度,需要采用一定的方法进行换算,以便使工件的位置符合加工的需要,本文介绍用图解法求斜孔工艺角度的方法。 展开更多
关键词 斜孔 工艺角度 计算 图解法 机械加工
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数控机床加工中的过切与欠切 被引量:5
6
作者 杜家熙 张万琴 安国会 《机床与液压》 北大核心 2007年第4期243-244,246,共3页
从多个方面分析了数控机床加工中产生过切与欠切的主要原因,并提出了相应的解决方法,为数控加工时进行正确的工艺分析、合理编制加工程序提供了可靠的依据,为提高零件的加工精度,保证产品质量提供了条件。
关键词 数控机床 过切 欠切
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汽车制动器试验台的计算机建模及其仿真分析 被引量:2
7
作者 杜家熙 沈宏 张万琴 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2010年第6期21-24,共4页
以Matlab仿真软件为平台研究并建立了汽车制动器试验台计算机控制的积分方程模型、能量守恒模型、差分方程模型,确定了每一离散时间段驱动电流与主轴力矩的关系。用曲边梯形的面积代替积分的思想进行了能量误差分析,设计了各种模型的计... 以Matlab仿真软件为平台研究并建立了汽车制动器试验台计算机控制的积分方程模型、能量守恒模型、差分方程模型,确定了每一离散时间段驱动电流与主轴力矩的关系。用曲边梯形的面积代替积分的思想进行了能量误差分析,设计了各种模型的计算机控制方法,并根据风阻和轴承摩擦以及其它阻力形式的消耗的影响,对各控制模型进行了相应的修正,从而提高了计算机控制的精度,为检验汽车制动器设计的优劣和检测制动器的综合性能提供了有效的方法。 展开更多
关键词 制动器试验台 积分方程 能量守恒 差分方程 计算机控制
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刀具几何参数对圆柱类零件加工精度的影响 被引量:2
8
作者 杜家熙 苏建修 张万琴 《煤矿机械》 北大核心 2007年第8期106-108,共3页
主要分析了数控车削加工中刀具刀尖圆弧、主偏角对各类零件表面加工精度的影响并提出了相应的措施。为在数控车削加工中正确地选择加工工艺、选择刀具参数和编制加工程序提供了依据,为在实际生产中提高零件加工精度提供了保证。
关键词 刀具几何参数 刀尖圆弧半径 误差分析 主偏角
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刀尖圆弧半径对球面零件加工精度的影响 被引量:2
9
作者 杜家熙 张万琴 张凯 《工具技术》 北大核心 2008年第9期57-59,共3页
分析了数控车削加工中刀具刀尖圆弧半径对球面零件加工精度的影响,并提出相应措施,为正确编制加工程序、选择加工工艺和刀具参数提供了依据,提高了零件加工精度。
关键词 刀具几何参数 刀尖圆弧半径 误差分析
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基于四轴加工中心的斜齿轮多轴数控加工工艺 被引量:5
10
作者 杜家熙 沈宏 《机床与液压》 北大核心 2013年第8期28-30,共3页
针对大模数齿轮齿形的加工特点,着重分析了斜齿轮多轴数控加工的工艺方法和工艺特点,研究了斜齿轮齿形多轴加工中刀具轨迹的生成、加工编程、刀具轨迹仿真验证、刀具干涉和机床与齿轮齿形的碰撞检查等,寻求出斜齿轮多轴数控加工的最优... 针对大模数齿轮齿形的加工特点,着重分析了斜齿轮多轴数控加工的工艺方法和工艺特点,研究了斜齿轮齿形多轴加工中刀具轨迹的生成、加工编程、刀具轨迹仿真验证、刀具干涉和机床与齿轮齿形的碰撞检查等,寻求出斜齿轮多轴数控加工的最优方法和工艺方案。该方案既能够充分发挥多轴设备的加工能力,又为大模数斜齿轮加工提出了新的方法与思路。 展开更多
关键词 大模数齿轮 斜齿轮 多轴数控加工 四轴加工中心
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圆锥零件车削加工精度分析 被引量:1
11
作者 杜家熙 杨宾锋 卞平艳 《煤矿机械》 北大核心 2008年第7期107-109,共3页
分析了数控车削加工中刀具刀尖圆弧对圆锥类零件表面加工精度的影响,提出了相应的措施。为在加工中正确地选择加工工艺、选择刀具参数和编制加工程序提供了依据,为实际生产提高零件加工精度提供了保证。
关键词 刀具几何参数 刀尖圆弧半径 误差分析
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管道爬行机器人结构研究 被引量:2
12
作者 杜家熙 宁李谱 宁欣 《起重运输机械》 2010年第5期58-60,共3页
设计了管道爬行机器人,其采用伸缩式伞形结构,可适应大范围内径变化的管道要求。采用吊篮可始终保持摄像装置与水平面平行,控制机身电机实现机腿的伸缩,使其能顺利通过十字型和丁字型等较复杂的管道,是一种实用有效的管道维修和维护探... 设计了管道爬行机器人,其采用伸缩式伞形结构,可适应大范围内径变化的管道要求。采用吊篮可始终保持摄像装置与水平面平行,控制机身电机实现机腿的伸缩,使其能顺利通过十字型和丁字型等较复杂的管道,是一种实用有效的管道维修和维护探测装置。 展开更多
关键词 管道爬行机器人 伸缩结构 伞形结构 吊篮装置
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槽循环编程加工技术 被引量:1
13
作者 杜家熙 傅宇 《模具工业》 北大核心 2005年第9期7-10,共4页
通过分析手工编程和CAD/CAM自动编程实现槽的编程加工方法,对2种编程方法进行了分析和对比,提出了2种编程方法的适用场合,对数控编程加工有一定的指导意义。
关键词 循环编程 槽加工 CAD/CAM 自动编程
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刀具半径补偿中的过切处理 被引量:5
14
作者 杜家熙 《机床与液压》 北大核心 2004年第6期174-176,共3页
对刀具半径补偿中的过切现象进行了分析 ,重点讨论了在编程时解决这种现象的方法。
关键词 刀具半径补偿 过切 编程
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伞形管道爬行器控制系统设计 被引量:1
15
作者 杜家熙 郭贵中 +1 位作者 苏会朋 宁李普 《起重运输机械》 2011年第2期58-61,共4页
分析了伞形管道爬行器的动作和电机的选取,对驱动电机和伞足电机均采用直流电机和脉宽调制调速,重点研究了伞形管道爬行器的前进、后退、停止,伞足的张开、闭合,转弯时电机的顺序动作控制电路等,对伞形管道爬行器的控制和应用有重要意义。
关键词 伞形管道爬行器 脉宽调制调速 伞足张开闭合 电机顺序动作
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用圆弧逼近方法处理列表曲线轮廓 被引量:3
16
作者 杜家熙 周德信 《机械研究与应用》 2003年第3期53-53,55,共2页
讨论了列表曲线轮廓的数据处理方法。介绍了三点作圆圆弧逼近、重叠三点作圆法、带切线条件的圆弧逼近等逼近列表曲线的方法 ,为数控编程提供了必要的理论依据。
关键词 列表曲线 圆弧逼近 数控编程 数据处理 数控加工
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基于CAXA制造工程师的齿轮造型与加工仿真 被引量:1
17
作者 杜家熙 郑素真 《工具技术》 2011年第9期35-37,共3页
根据渐开线齿轮齿面形成原理,基于CAXA数控加工软件的公式曲线功能绘制齿轮渐开线齿廓,得到齿轮的精确模型,并在此基础上提出一种齿轮三维建模及生成刀具加工轨迹的方法,完成从零件设计到加工一体化的过程。
关键词 渐开线齿轮 齿轮造型 加工仿真
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基于数控铣削的逆铣和顺铣 被引量:1
18
作者 杜家熙 张万琴 余泽通 《机械研究与应用》 2006年第6期48-49,共2页
分析刀补在数控铣床加工中的应用,研究在数控铣床加工中逆铣和顺铣加工对零件加工精度的影响,对数控加工中逆铣和顺铣加工方式的确定提供依据。
关键词 数控编程 刀具补偿 逆铣 顺铣
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刀尖圆弧半径对圆锥零件加工精度的影响 被引量:1
19
作者 杜家熙 张凯 张万琴 《机械研究与应用》 2008年第2期11-12,14,共3页
主要分析了数控车削加工中刀具刀尖圆弧对圆锥类零件表面加工精度的影响,并提出了相应措施。对在数控车削加工中正确选择加工工艺、选择刀具参数和编制加工程序提供了依据,对在实际生产中提高零件加工精度提供了保证。
关键词 刀具几何参数 刀尖圆弧半径 误差分析
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谈机械设计制造及其自动化专业课程体系改革 被引量:4
20
作者 杜家熙 《河南科技学院学报》 2009年第4期75-77,共3页
建立了机械设计制造及其自动化专业合理的专业课程结构体系,构建了课堂理论教学环节、课程体系结构、专业课程实验教学体系结构,研究了实验教学方法的改革.
关键词 机械设计 机械制造 课程结构 理论教学 实验教学
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