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杨春山作品
1
作者 杨春山 《政工学刊》 北大核心 1991年第8期47-47,共1页
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深基坑支护技术在岩土工程施工中的应用研究
2
作者 杨春山 《工程建设与设计》 2024年第1期64-66,共3页
阐述深基坑支护的特点,分析深基坑支护技术应用中的问题,如喷射混凝土厚度不足,成孔注浆质量不达标,超挖或支护不及时,支护结构设计不合理,支护与开挖技术不配套,介绍深基坑支护核心技术,并从优化深基坑支护设计和科学选择支护结构两方... 阐述深基坑支护的特点,分析深基坑支护技术应用中的问题,如喷射混凝土厚度不足,成孔注浆质量不达标,超挖或支护不及时,支护结构设计不合理,支护与开挖技术不配套,介绍深基坑支护核心技术,并从优化深基坑支护设计和科学选择支护结构两方面对深基坑支护技术应用的管理措施进行探讨。 展开更多
关键词 岩土工程 技术应用 支护结构 深基坑
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一种醛类交联的胶原膜材料及在周骨修复中的应用
3
作者 刘颖 杨春山 +2 位作者 郑佳 孟琪 张岳乔 《粘接》 CAS 2023年第5期143-146,共4页
针对患者骨量不足的问题,提出一种口腔修复用的醛类交联的胶原膜材料,并对该材料的性能进行研究。结果表明,通过应用醛类交联的胶原膜材料,可以获得更好的成骨效果,总优良率达96%;术后并发症方面较少,胶原膜组的并发症发病率仅为2%;同... 针对患者骨量不足的问题,提出一种口腔修复用的醛类交联的胶原膜材料,并对该材料的性能进行研究。结果表明,通过应用醛类交联的胶原膜材料,可以获得更好的成骨效果,总优良率达96%;术后并发症方面较少,胶原膜组的并发症发病率仅为2%;同时种植体存活率较好,胶原膜组可达98.72%。采用的胶原膜整体效果表现良好。 展开更多
关键词 种植体 骨缺损 骨再生 胶原膜材料
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岩土工程桩基础施工常见问题探析
4
作者 杨春山 《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2024年第3期0178-0181,共4页
岩土工程是土木工程的分支之一,主要研究工程地质学、土力学、岩石力学等学科,应用于地下工程、边坡与基坑工程、地基与基础工程等。以上工程在实际建设中,都离不开基础和地基施工,而桩基础施工是一种常见的岩土工程地基施工形式。在岩... 岩土工程是土木工程的分支之一,主要研究工程地质学、土力学、岩石力学等学科,应用于地下工程、边坡与基坑工程、地基与基础工程等。以上工程在实际建设中,都离不开基础和地基施工,而桩基础施工是一种常见的岩土工程地基施工形式。在岩土工程施工中,桩基础施工需要在复杂的地质环境中开展,若是桩基础施工出现质量问题,将会严重影响其它工序的施工进度和质量安全。因此在施工建设中要围绕常见的桩基础施工问题制定应对措施,为桩基础施工的安全稳定提供保障。 展开更多
关键词 岩土工程 桩基础 施工问题
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近距离下穿盾构隧道对上覆运营地铁隧道的影响研究 被引量：44
5
作者 杨春山 莫海鸿 +2 位作者 陈俊生 李亚东 侯明勋 《现代隧道技术》 EI CSCD 北大核心 2015年第5期145-151,共7页
盾构隧道掘进对邻近建筑物影响问题一直是个工程难题。文章采用有限元法对近距离下穿盾构隧道施工进行模拟,分析了新建隧道动态掘进时既有隧道的位移变化规律。基于双面弹性地基梁理论与盾构隧道纵向等效连续化模型,推导了既有地铁隧道... 盾构隧道掘进对邻近建筑物影响问题一直是个工程难题。文章采用有限元法对近距离下穿盾构隧道施工进行模拟,分析了新建隧道动态掘进时既有隧道的位移变化规律。基于双面弹性地基梁理论与盾构隧道纵向等效连续化模型,推导了既有地铁隧道受新建盾构隧道开挖影响管片张开量的计算公式,计算分析了管片张开量分布规律。分析结果表明:盾构掘进时对上覆斜交隧道影响区域主要在新建隧道轴线两侧2D(盾构直径)范围内;既有地铁的竖向位移主要分布在盾构掘进面前方2D和盾尾后1.5D范围内产生;既有地铁盾构隧道管片在新建隧道轴线正上方左右两个接头处张开显著,出现塑性变形。工程中需以既有地铁与下穿隧道相交处为轴,对既有地铁隧道侧向2D范围及两隧道间土层进行局部加固,以防新建隧道掘进引起既有地铁隧道纵向变形与张开过大。 展开更多
关键词 盾构隧道 近距离下穿既有隧道 位移影响 管片张开量 数值模拟 双面弹性地基梁 等效连续化模型
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种植体打磨抛光联合Er:YAG激光对种植体周围炎的长期临床疗效 被引量：8
6
作者 杨春山 徐巍 +4 位作者 刘颖 樊哲 孟琪 杨春江 郑佳 《口腔医学研究》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期612-616,共5页
目的:评价种植体表面打磨抛光技术联合Er:YAG激光治疗种植体周围炎的长期临床疗效。方法:选取2015年1月~2017年1月在唐山市协和医院口腔科行牙种植且诊断为种植体周围炎的114例患者(120颗种植体,均为磨牙,采用瑞士ITI种植体)作为研究对... 目的:评价种植体表面打磨抛光技术联合Er:YAG激光治疗种植体周围炎的长期临床疗效。方法:选取2015年1月~2017年1月在唐山市协和医院口腔科行牙种植且诊断为种植体周围炎的114例患者(120颗种植体,均为磨牙,采用瑞士ITI种植体)作为研究对象。将患者随机分为3组(每组40颗种植体),其中A组患者的种植体采用种植体打磨抛光和Er:YAG激光联合治疗,B组患者的种植体采用种植体打磨抛光技术治疗,C组患者的种植体采用Er:YAG激光治疗。评价、记录和比较3组患者治疗前和治疗后1、6、12和36个月的种植体菌斑指数(PLI)、龈沟出血指数(SBI)、牙周探诊深度(PD),以及患者术中疼痛程度。结果:3组患者经不同方法治疗后,同组间PLI、SBI和PD均得到明显改善。治疗36个月后,不同组间PLI、SBI和PD改善情况比较,A组显著优于B组和C组,且B组与C组之间无明显差异。此外,3组患者在不同方法治疗时均发生术中疼痛,且C组治疗时术中疼痛发生率显著低于A、B两组,但A、B两组间无明显差异。结论:种植体表面打磨抛光技术联合Er:YAG激光治疗种植体周围炎比单独应用种植表面打磨抛光技术或Er:YAG激光对种植体周围炎的长期临床疗效更好。 展开更多
关键词 种植体打磨抛光 ER:YAG激光 联合治疗 种植体周围炎
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胸部Castleman病的影像学表现 被引量：11
7
作者 杨春山 李惠民 肖湘生 《临床放射学杂志》 CSCD 北大核心 2004年第3期257-258,共2页
关键词 胸部 CASTLEMAN病 影像学表现 良性淋巴结增生性疾病 血管淋巴滤泡增生症
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MRI波谱分析在前列腺癌中的应用价值 被引量：7
8
作者 杨春山 肖湘生 刘光华 《临床放射学杂志》 CSCD 北大核心 2004年第10期913-915,共3页
关键词 肿瘤 MRS 前列腺癌 MRI 影像诊断学 应用价值 磁共振波谱分析 无创性检查 体内 生化代谢
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经牙槽嵴上颌窦底提升术不植骨同期植入种植体在位点保存中的应用研究 被引量：9
9
作者 杨春山 郑佳 +7 位作者 孟琪 徐巍 张岳乔 徐薇 刘培 王丹 曹宁 高志强 《中国美容医学》 CAS 2017年第4期79-82,共4页
目的:研究经牙槽嵴顶上颌窦底提升术不植骨同期植入种植体的临床疗效及其在位点保存中的应用价值。方法:选取笔者医院2013年6月-2016年6月收治的112例后牙缺损患者,根据是否接受不植骨同期植入种植体分为两组,即对照组和观察组,每组各5... 目的:研究经牙槽嵴顶上颌窦底提升术不植骨同期植入种植体的临床疗效及其在位点保存中的应用价值。方法:选取笔者医院2013年6月-2016年6月收治的112例后牙缺损患者,根据是否接受不植骨同期植入种植体分为两组,即对照组和观察组,每组各56例。对照组:患者采用位点保存技术(填充Bio-Oss Collagen+覆盖Bio-Gide膜+延期植入种植体和骨替代材料);观察组:在实施位点保存技术的同时结合经牙槽嵴顶上颌窦底提升术不植骨同期植入种植体。治疗后随访6个月,观察比较两组患者牙槽骨高度缺损值、植入种植体后高度提升值、骨密度值、治疗周期、种植体稳定率、融合率、咬合功能满意率等指标的差异性。结果:手术治疗后,两组患者的牙槽骨高度缺损值、植入种植体高度提升值、骨密度值、咀嚼功能评分明显改善,组间在牙槽骨高度缺损值、植入种植体高度提升值、骨密度值、咀嚼功能评分、种植成功率、自我满意程度、融合率方面比较均无显著性差异(P>0.05),但观察组治疗周期(9.2±2.3)周显著短于对照组的(15.6±2.9)周,组间比较有显著性差异(P<0.05)。结论:经牙槽嵴顶上颌窦底提升术不植骨同期植入种植体在位点保存近期效果中有较好的应用效果,长期效果仍需进一步观察。 展开更多
关键词 经牙槽嵴上颌窦底提升术 种植体 位点保存 锥形束CT
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孤立性肺结节MRI动态增强血流模式及其定量研究 被引量：5
10
作者 杨春山 李惠民 +4 位作者 肖湘生 刘士远 周康荣 李慎江 李成洲 《中国医学计算机成像杂志》 CSCD 2005年第2期95-99,共5页
目的:探讨M R动态增强对孤立性肺结节的鉴别诊断价值.材料和方法:对83例孤立性肺结节行M R动态增强,绘制MR动态增强时间-信号强度曲线,测量病灶的强化峰值(PH)、最大线性强化斜率(SS)、最大强化率(Emax)及1、2、3、4、5、6min时的信号... 目的:探讨M R动态增强对孤立性肺结节的鉴别诊断价值.材料和方法:对83例孤立性肺结节行M R动态增强,绘制MR动态增强时间-信号强度曲线,测量病灶的强化峰值(PH)、最大线性强化斜率(SS)、最大强化率(Emax)及1、2、3、4、5、6min时的信号强化率(E1、E2、E3、E4、E5、E6).结果:恶性结节及炎性结节的强化程度明显高于良性结节,恶性结节及炎性结节的PH、SS、Emax、E1～E6均明显高于良性结节(P＜0.01).恶性结节与炎性结节均强化明显,但两者之间的PH、SS、Emax、E1～E6无明显差异(P＞0.05).结论:MR动态增强能反映孤立性肺结节的血流动力学信息,对良、恶性结节的鉴别诊断有较高的临床应用价值. 展开更多
关键词 孤立性肺结节 MRI 动态增强 血流模式 定量研究
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计算地闪回击电流水平电场的混合法 被引量：6
11
作者 杨春山 周璧华 陈彬 《微波学报》 CSCD 北大核心 2003年第2期81-84,共4页
提出了一种计算地闪回击电流水平电场的混合法。混合法采用近似镜像法计算接近地面的电流产生的水平电场 ,采用表面阻抗法计算高处电流产生的水平电场 ,有效地克服了雷电水平电场近场计算的困难 ,提高了计算精度 ,扩大了计算范围。数值... 提出了一种计算地闪回击电流水平电场的混合法。混合法采用近似镜像法计算接近地面的电流产生的水平电场 ,采用表面阻抗法计算高处电流产生的水平电场 ,有效地克服了雷电水平电场近场计算的困难 ,提高了计算精度 ,扩大了计算范围。数值计算结果验证了混合法的有效性。 展开更多
关键词 地闪回击电流 水平电场 混合法 近似镜像法 表面阻抗法 雷电
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洲头咀沉管隧道干坞抽水扰动下模袋砂围堰力学响应研究 被引量：7
12
作者 杨春山 魏立新 +2 位作者 莫海鸿 陈俊生 刘力英 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第18期238-242,247,共6页
为深入研究模袋砂围堰对沉管隧道干坞抽水力学响应规律,以广州洲头咀沉管隧道模袋砂围堰工程为背景,建立干坞抽水全过程精细数值模型。计算验证了钢板桩+袋装黏土组合芯墙止水性能。分析了干坞抽水引起的模袋砂围堰变形规律。并揭示了... 为深入研究模袋砂围堰对沉管隧道干坞抽水力学响应规律,以广州洲头咀沉管隧道模袋砂围堰工程为背景,建立干坞抽水全过程精细数值模型。计算验证了钢板桩+袋装黏土组合芯墙止水性能。分析了干坞抽水引起的模袋砂围堰变形规律。并揭示了围堰土工模袋张力分布规律,此外提出模袋张力简化计算方法。研究表明:模袋砂围堰钢板桩+袋装黏土组合防渗芯墙止水效果良好,能有效控制临江侧水流渗入干坞侧;干坞侧抽水对模袋砂围堰变形产生了显著的影响,变形与坞内下降水位近似呈同向线性关系;坞内水位降低使围堰重度由浮重度变为干重度,引起模袋砂压实而出现较大竖向位移;围堰竖向压缩和水头差引起的渗流作用又促使围堰的水平位移;模袋砂围堰中土工模袋受到的张力随着坞内抽水水位的降低近似线性增大。模袋张力简化法计算值与数值计算结果对比表明,模袋张力采用的简化计算方法具备合理性。 展开更多
关键词 沉管隧道 干坞抽水 模袋砂围堰 变形特性 土工模袋张力 数值模拟
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孤立性肺结节MR动态增强的初步研究 被引量：2
13
作者 杨春山 肖湘生 +4 位作者 刘士远 李惠民 李成洲 顾倩 李慎江 《第二军医大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期479-483,共5页
目的:探讨MR动态增强对孤立性肺结节的鉴别诊断价值。方法:对47例孤立性肺结节行MR动态增强,绘制MR动态增强时间-信号强度曲线,测量病灶的强化峰值(PH)、强化斜率(F)、最大强化率(Emax)及1、2、3、4、5、6 min时的信号强化率(E1、E2、E3... 目的:探讨MR动态增强对孤立性肺结节的鉴别诊断价值。方法:对47例孤立性肺结节行MR动态增强,绘制MR动态增强时间-信号强度曲线,测量病灶的强化峰值(PH)、强化斜率(F)、最大强化率(Emax)及1、2、3、4、5、6 min时的信号强化率(E1、E2、E3、E4、E5、E6)。结果:恶性结节及炎性结节的强化程度明显高于良性结节,恶性结节及炎性结节的PH、SS、Emax、E1～E6均明显高于良性结节(P<0.01)。恶性结节与炎性结节均强化明显,但二者之间的PH、SS、Emax、E1～E6无明显差异(P>0.05)。结论:MR动态增强能反映病灶的血流动力学信息,对良恶性结节的鉴别诊断有较高的临床应用价值。 展开更多
关键词 孤立性肺结节 MR动态增强 恶性结节 炎性结节 鉴别诊断
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^(18)F-FDG PET/CT在肺部占位性病变诊断中的价值 被引量：3
14
作者 杨春山 刘靖 +7 位作者 陈宪英 马庆和 石华铮 邓侃 黄志强 陈兴龙 毛德金 李廷 《中国医学计算机成像杂志》 CSCD 北大核心 2009年第4期366-371,共6页
目的:探讨18F-FDGPET/CT在诊断肺部占位性病变中的价值。方法:对100例肺部占位性病变进行回顾性分析,比较PET/CT与PET及CT的诊断效度、不同大小肿瘤的SUV、不同病理类型肺癌的SUV。结果:①PET/CT的灵敏度、阴性预测值、准确率优于CT(P&l... 目的:探讨18F-FDGPET/CT在诊断肺部占位性病变中的价值。方法:对100例肺部占位性病变进行回顾性分析,比较PET/CT与PET及CT的诊断效度、不同大小肿瘤的SUV、不同病理类型肺癌的SUV。结果:①PET/CT的灵敏度、阴性预测值、准确率优于CT(P<0.01),PET/CT的特异度优于PET(P<0.05)。②依据肿瘤大小分为<3cm、3～5cm、>5cm组,应用单向方差分析对比不同组间SUV,3组间SUV均有差异,P<0.01。各组间SUV两两比较,发现小于3cm组SUV<3～5cm组SUV<5cm以上组SUV。③鳞癌组与腺癌组SUV无显著差异(P=0.821,P>0.05)。结论:18F-FDGPET/CT在诊断肺部占位性病变中将PET代谢学特征密切结合CT的形态学表现,可大大提高各项诊断效率,达到优势互补的目的。 展开更多
关键词 体层摄影术 发射型计算机 体层摄影术 X线计算机 肺肿瘤 肺占位
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盾构施工盾尾注浆硬化过程数值分析研究 被引量：5
15
作者 杨春山 吴增伟 张雅宁 《广东工业大学学报》 CAS 2011年第4期90-94,共5页
简要介绍了盾尾注浆的目的及类型.在假定其他参数已知的条件下,通过实例,用有限元程序GTS模拟考虑盾尾注浆硬化过程和未考虑硬化过程两种盾构施工情况.研究结果表明:盾构施工过程中,受浆液长期固结影响,地表会产生进一步的沉降.充分考... 简要介绍了盾尾注浆的目的及类型.在假定其他参数已知的条件下,通过实例,用有限元程序GTS模拟考虑盾尾注浆硬化过程和未考虑硬化过程两种盾构施工情况.研究结果表明:盾构施工过程中,受浆液长期固结影响,地表会产生进一步的沉降.充分考虑浆体硬化作用,利用监控压注浆液的硬化情况控制后期沉降是一种有效的地层沉降控制手段. 展开更多
关键词 盾构施工 盾尾注浆 硬化过程 数值分析
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上颌窦底提升不植骨同期植入种植体疗效观察 被引量：4
16
作者 杨春山 郑佳 +7 位作者 王丹 孟琪 徐巍 刘培 曹宁 高志强 徐薇 张岳乔 《陕西医学杂志》 CAS 2017年第4期506-507,543,共3页
目的:探讨上颌窦底提升不植骨同期植入种植体的临床疗效。方法:选取36例上颌后牙缺失患者按收治时间顺序分为对照组18例(可用骨高度5~8mm,共种植21颗)和观察组(可用骨高度4~5mm,共种植23颗),均进行上颌窦底提升术,观察组进行上颌窦底提... 目的:探讨上颌窦底提升不植骨同期植入种植体的临床疗效。方法:选取36例上颌后牙缺失患者按收治时间顺序分为对照组18例(可用骨高度5~8mm,共种植21颗)和观察组(可用骨高度4~5mm,共种植23颗),均进行上颌窦底提升术,观察组进行上颌窦底提升不植骨同期植入种植体进行修复,对照组上颌窦提升植骨同期植入种植体进行修复,修复6个月后,比较两组种植体的存留率,随访1年,记录两组新骨获得量及牙周探诊深度。结果:两组种植体存留率比较差异无统计学意义;观察组新骨获得量(2.92±0.49)mm、牙周探诊深度(2.87±0.35)mm均与对照组相比差异不显著(P>0.05),观察组术后3周骨密度为(0.041±0.010)、4周(0.091±0.024)、8周(0.135±0.043),8周后与前期相比,差异具有统计学意义(P<0.05)。结论:上颌窦提升植骨同期植入种植体和不植骨粉同期植入种植体取得同样的治疗效果,疗效肯定,均适用于上颌后牙缺失者,具有较高成功率。 展开更多
关键词 牙缺失 牙植入体 @上颌窦底提升
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周围型肺腺癌MRI动态增强参数与血管生成的相关性研究 被引量：2
17
作者 杨春山 肖湘生 +3 位作者 刘士远 周康荣 李惠民 李成洲 《临床放射学杂志》 CSCD 北大核心 2005年第7期591-596,共6页
目的探讨周围型肺腺癌MRI动态增强参数与血管生成之间的相关性。资料与方法37例周围型肺腺癌患者行MRI动态增强扫描,用免疫组织化学测定微血管密度(MVD)并标定血管内皮生长因子(VEGF),评价MRI动态增强参数强化峰值(PH)、最大线性强化斜... 目的探讨周围型肺腺癌MRI动态增强参数与血管生成之间的相关性。资料与方法37例周围型肺腺癌患者行MRI动态增强扫描,用免疫组织化学测定微血管密度(MVD)并标定血管内皮生长因子(VEGF),评价MRI动态增强参数强化峰值(PH)、最大线性强化斜率(SS)、最大强化率(Emax)、增强后1～6min时的信号强化率(E1～6)与肺腺癌MVD的相关性,并比较VEGF表达阳性组与阴性组病例其MRI动态增强参数的差异。结果37例肺腺癌的MVD为68.31±19.84。MRI动态增强参数PH、SS、Emax、E1～6与肺腺癌的MVD呈正相关(P<0.001),其中以SS与MVD相关性最强(r=0.827,P<0.001)。26例VEGF表达阳性的肺腺癌MVD为79.47±21.35,11例VEGF表达阴性的肺腺癌其MVD为43.16±17.85,二者之间差异显著(P<0.001)。VEGF表达阳性的肺腺癌其MRI动态增强所有参数均明显高于VEGF表达阴性的肺腺癌(P<0.001)。结论肺腺癌MR动态增强参数与MVD呈正相关,VEGF表达阳性的肺腺癌其MR动态增强参数明显高于VEGF表达阴性的肺腺癌。 展开更多
关键词 周围型肺腺癌 MRI动态增强参数 血管生成 血管内皮生长因子 微血管密度
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带不确定参数和噪声方差的鲁棒观测融合Kalman滤波器 被引量：2
18
作者 杨春山 王雪梅 邓自立 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1635-1640,共6页
对带不确定参数和噪声方差的多传感器定常系统,引入虚拟白噪声补偿不确定参数,可将其转化为带已知参数和不确定噪声方差系统.应用极大极小鲁棒估值原理和加权最小二乘法,基于带噪声方差保守上界的最坏情形保守系统,提出了鲁棒加权观测融... 对带不确定参数和噪声方差的多传感器定常系统,引入虚拟白噪声补偿不确定参数,可将其转化为带已知参数和不确定噪声方差系统.应用极大极小鲁棒估值原理和加权最小二乘法,基于带噪声方差保守上界的最坏情形保守系统,提出了鲁棒加权观测融合Kalman滤波器,并证明了它与集中式融合鲁棒Kalman滤波器是等价的,且融合器的鲁棒精度高于每个局部滤波器鲁棒精度.一个Monte-Carlo仿真例子说明了如何寻求不确定参数的鲁棒域和如何搜索保守性较小的虚拟噪声方差上界. 展开更多
关键词 不确定多传感器系统 加权观测融合 极大极小鲁棒Kalman滤波器 虚拟白噪声 Lyapunov方程方法
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考虑渗流-应力耦合基坑开挖降水数值分析 被引量：6
19
作者 杨春山 何娜 张雅宁 《广东工业大学学报》 CAS 2013年第4期43-48,共6页
运用GTS(Geotechnical and Tunnel analysis System)软件对基坑开挖降水过程进行了详细数值模拟,对比分析了基坑开挖时,考虑降水引起的地下水渗流作用和不考虑渗流作用下的基坑周围土体位移、支护结构位移以及内力,同时分析了止水帷幕... 运用GTS(Geotechnical and Tunnel analysis System)软件对基坑开挖降水过程进行了详细数值模拟,对比分析了基坑开挖时,考虑降水引起的地下水渗流作用和不考虑渗流作用下的基坑周围土体位移、支护结构位移以及内力,同时分析了止水帷幕、渗透系数及降水深度对基坑力学性能的影响.分析结果表明:渗流对基坑工程影响不容忽视,深基坑稳定性分析应当充分考虑地下水渗流的作用;设置止水帷幕可以有效地减小基坑周围土体的变形,渗透系数与降水深度的加大均会使地表沉降值增大. 展开更多
关键词 深基坑 降水 数值模拟 耦合作用
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MPCVD中基片加热材料的温度场摄动模型研究 被引量：2
20
作者 杨春山 傅文斌 周璧华 《电波科学学报》 EI CSCD 2002年第5期495-498,共4页
为改进微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)装置中的加热系统 ,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线 ;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解 ;通过对基片加热材料的微波设计 ,在MPCVD装置中获得大于... 为改进微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)装置中的加热系统 ,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线 ;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解 ;通过对基片加热材料的微波设计 ,在MPCVD装置中获得大于基片台直径的均匀温度分布区。 展开更多
关键词 MPCVD 温度场 基片加热材料 化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积 摄动技术
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