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面向宽温域功能器件的连续组分外延铁电薄膜
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作者 熊沛雨 倪壮 +7 位作者 林泽丰 柏欣博 刘天想 张翔宇 袁洁 王旭 石兢 金魁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期178-186,共9页
Ba_(x)Sr_(1–x)TiO_(3)(BST)铁电薄膜因为拥有高介电常数、强电场调谐性和较低的微波频段介电损耗可应用于微波可调谐器件.然而铁电材料中普遍存在的介电常数-温度依赖性使得常规单组分铁电薄膜的高可调率温区受制于相变温度,难以满足... Ba_(x)Sr_(1–x)TiO_(3)(BST)铁电薄膜因为拥有高介电常数、强电场调谐性和较低的微波频段介电损耗可应用于微波可调谐器件.然而铁电材料中普遍存在的介电常数-温度依赖性使得常规单组分铁电薄膜的高可调率温区受制于相变温度,难以满足宽温域适用性的需求.为研究可用于宽温域功能器件的铁电薄膜,采用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了单组分Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_(3)薄膜、Ba_(0.2)Sr_(0.8)TiO_(3)薄膜以及Ba_(0.2)Sr_(0.8)TiO_(3)/Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_(3)异质结构薄膜.通过对比其介电性能,发现垂直方向上Ba/Sr组分分布可有效改善BST薄膜的温度依赖性,然而异质结构的构建可能带来界面问题,同时也使其品质因子难以提升.本文提出采用独特的水平方向连续组分薄膜制备技术制备BST组合薄膜,有望在拓宽BST薄膜相变温区的同时避免界面控制的难题. 展开更多
关键词 Ba_(x)Sr_(1–x)TiO_(3)薄膜 可调谐微波器件 连续组分薄膜 温度依赖性
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脉冲激光沉积技术制备超导薄膜的研究进展
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作者 林泽丰 孙伟轩 +10 位作者 刘天想 涂思佳 倪壮 柏欣博 赵展艺 张济全 陈赋聪 胡卫 冯中沛 袁洁 金魁 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第6期1036-1051,共16页
超导薄膜不仅在超导应用方面扮演着举足轻重的角色,而且是超导机理研究的良好载体,是连接超导应用和机理的桥梁。脉冲激光沉积(PLD)是最常用的超导薄膜制备技术之一。本文综述了PLD技术制备铜氧化物、铁基、氮化物、钛氧化物等超导薄膜... 超导薄膜不仅在超导应用方面扮演着举足轻重的角色,而且是超导机理研究的良好载体,是连接超导应用和机理的桥梁。脉冲激光沉积(PLD)是最常用的超导薄膜制备技术之一。本文综述了PLD技术制备铜氧化物、铁基、氮化物、钛氧化物等超导薄膜的研究进展,并介绍了与高温超导薄膜应用相关的两种PLD新技术:超导带材和大面积薄膜制备。最后,本文介绍了基于材料基因工程的高通量组合薄膜技术在高温超导研究上的典型成功案例。继续发展和使用该实验技术,构建与高温超导相关的高维相图和定量规律,有望实现机理研究实验上从量变到质变的全面突破。 展开更多
关键词 超导薄膜 脉冲激光沉积 超导机理 超导应用 高温超导 高通量组合薄膜
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Exploration of growth conditions of TaAs Weyl semimetal thin film using pulsed laser deposition
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作者 李世恩 林泽丰 +9 位作者 胡卫 闫大禹 陈赋聪 柏欣博 朱北沂 袁洁 石友国 金魁 翁红明 郭海中 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期582-586,共5页
Ta As,the first experimentally discovered Weyl semimetal material,has attracted a lot of attention due to its high carrier mobility,high anisotropy,nonmagnetic properties and strong interaction with light.These make i... Ta As,the first experimentally discovered Weyl semimetal material,has attracted a lot of attention due to its high carrier mobility,high anisotropy,nonmagnetic properties and strong interaction with light.These make it an ideal candidate for the study of Weyl fermions and applications in quantum computation,thermoelectric devices,and photodetection.For further basic physics studies and potential applications,large-size and high-quality Ta As films are urgently needed.However,it is difficult to grow As-stoichiometry Ta As films due to the volatilization of As during the growth.To solve this problem,we attempted to grow Ta As films on different substrates using targets with different As stoichiometric ratios via pulsed laser deposition(PLD).In this work,we found that partial As ions of the Ga As substrate are likely to diffuse into the Ta As films during growth,which was preliminarily confirmed by structural characterization,surface topography and composition analysis.As a result,the As content in the Ta As film was improved and the Ta As phase was achieved.Our work presents an effective method for the fabrication of Ta As films using PLD,enabling possible use of the Weyl semimetal film for functional devices. 展开更多
关键词 Weyl semimetal Ta As film pulsed laser deposition
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ZrO_(x)N_(y)薄膜的制备与低温电输运特性研究 被引量:1
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作者 孙晓敏 柏欣博 +5 位作者 陈赋聪 黄荣进 王维 袁洁 金魁 李来风 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期31-35,共5页
针对于测温应用中对低温温度计的性能需求,为了获得灵敏度高和测温区间宽的氮氧化锆(ZrO_(x)N_(y))电阻温度传感薄膜,系统研究了溅射气氛中O_(2)流量对ZrO_(x)N_(y)薄膜结构和低温电输运行为的影响。采用射频反应磁控溅射工艺,通过精细... 针对于测温应用中对低温温度计的性能需求,为了获得灵敏度高和测温区间宽的氮氧化锆(ZrO_(x)N_(y))电阻温度传感薄膜,系统研究了溅射气氛中O_(2)流量对ZrO_(x)N_(y)薄膜结构和低温电输运行为的影响。采用射频反应磁控溅射工艺,通过精细调整溅射沉积过程中的O_(2)流量在Al_(2)O_(3)基片上生长了系列ZrO_(x)N_(y)薄膜,测定了薄膜的晶体结构、形貌和低温电输运特性。结果表明,随着O_(2)流量(0—0.24×1.6667×10^(-8)m^(3)/s)的增大,ZrO_(x)N_(y)薄膜由单晶ZrN(002)相转变为ZrN和ZrO_(2)两相,低温电输运行为由半导体-超导向半导体-绝缘特性演变,电阻率在10^(3)—10^(8)μΩ·cm的范围内变化。薄膜的灵敏度和电阻温度系数的绝对值(|S|、|TCR|)均与生长气氛O_(2)流量呈正相关,在0.24×1.6667×10^(-8)m^(3)/s的O_(2)流量下达到了较高的|S|和|TCR|。生长气氛中O_(2)流量对薄膜低温电输运行为的显著影响为优化ZrO_(x)N_(y)低温温度计的性能提供了新的思路。 展开更多
关键词 氮氧化锆薄膜 低温电输运 电阻温度系数
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通过氮含量调控ZrN薄膜中的超导圆顶 被引量:1
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作者 陈赋聪 柏欣博 +19 位作者 王郁欣 董涛 时金安 张衍敏 孙晓敏 魏忠旭 秦明阳 袁洁 陈其宏 汪信波 王旭 朱北沂 黄荣进 蒋坤 周武 王楠林 胡江平 李洋沐 金魁 赵忠贤 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第7期674-678,共5页
超导圆顶作为非常规超导材料的一个常见特征,其存在经常被用来作为区分常规与非常规超导材料的判别标准.本文利用脉冲激光沉积氮化锆薄膜,并通过改变薄膜中的氮含量,实现了超导圆顶于绝缘态附近的调控。利用电学输运、磁性表征、太赫兹... 超导圆顶作为非常规超导材料的一个常见特征,其存在经常被用来作为区分常规与非常规超导材料的判别标准.本文利用脉冲激光沉积氮化锆薄膜,并通过改变薄膜中的氮含量,实现了超导圆顶于绝缘态附近的调控。利用电学输运、磁性表征、太赫兹光谱、拉曼散射和透射电镜综合实验手段与密度泛函计算,作者发现氮化锆薄膜正常态存在从强绝缘到金属态再到弱绝缘的转变,其电阻率表现出类似于非常规超导的线性温度依赖到二次温度依赖特征.而氮化锆超导能隙及其转变温度符合BCS预期,其超导圆顶的演化与材料中电声耦合强度及结构无序相关,这项工作为“常规”超导材料中存在的“非常规”超导圆顶提供了强有力的证据与实例. 展开更多
关键词 转变温度 温度依赖 太赫兹光谱 密度泛函计算 结构无序 ZrN薄膜 超导能隙 拉曼散射
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