在铝诱导下非晶硅薄膜低温快速晶化研究 被引量：1

1

作者 梁厚蕴 林揆训 +1 位作者 梁淑霞 周甫方 《汕头大学学报（自然科学版）》 2001年第1期35-38,共4页

在镀铝 (0 .5～ 4μm)的玻璃基底上用射频辉光放电化学气相沉积法沉积 1～ 4μm厚的α- Si薄膜 (基底沉积温度为 30 0℃ ,沉积速率为 1 .0μm/h) ,然后样品在共熔温度下、 N2 气保护中热退火 ,可使其快速晶化成多晶硅薄膜 .结果表明 :... 在镀铝 (0 .5～ 4μm)的玻璃基底上用射频辉光放电化学气相沉积法沉积 1～ 4μm厚的α- Si薄膜 (基底沉积温度为 30 0℃ ,沉积速率为 1 .0μm/h) ,然后样品在共熔温度下、 N2 气保护中热退火 ,可使其快速晶化成多晶硅薄膜 .结果表明 :在铝薄膜的诱导下 α- Si薄膜在温度 550℃附近退火 5min即可达到晶化 ,X-射线衍射分析显示样品退火 30 min形成的硅层基本全部晶化 ,且具有良好的晶化质量 . 展开更多

关键词 快速热退火 铝诱导晶化 太阳能电池 非晶硅薄膜 多晶硅薄膜 晶化温度 退火温度

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SiN_xO_y薄膜的制备和紫外光、蓝光发射

2

作者 梁厚蕴 林揆训 +2 位作者 刘兴胜 石旺舟 林璇英 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期553-554,共2页

研究了用等离子体增强化学气相沉积方法（PECV），经过后处理制备出SINxOy薄膜，测量了其光致发光（PL谱）特性，观测到强度大约为多孔硅蓝光发射10倍的蓝光（440nm）和紫外光（360nm）的发射。此外，测量了其X射线衍射谱，对其成分和... 研究了用等离子体增强化学气相沉积方法（PECV），经过后处理制备出SINxOy薄膜，测量了其光致发光（PL谱）特性，观测到强度大约为多孔硅蓝光发射10倍的蓝光（440nm）和紫外光（360nm）的发射。此外，测量了其X射线衍射谱，对其成分和结构做了一定的分析和研究。 展开更多

关键词 PECVD 氮氧化硅薄膜 制备 光致发光

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可见光区三层减反射膜的设计

3

作者 梁厚蕴 杜军 夏志华 《汕头大学学报（自然科学版）》 1997年第1期75-78,88,共5页

本文通过对可见光区减反射薄膜材料的选择和设计，采用计算机模拟，找出了在３５０～７５０ｎｍ范围内具有最好光谱中性的减反射膜系ＳｉＯ２ＴｉＯ２ＳｉＯ２玻璃基底。

关键词 减反射薄膜 可见光区 计算机模拟 设计 薄膜

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极限电流型氧传感器的实验研究 被引量：5

4

作者 唐绍铧 梁厚蕴 刘庆国 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期262-266,共5页

本实验用8mol%Y_2O_3-ZrO_2固体电解质制成了极限电流型氧传感器,并测定了氧在0.23～28.70mol%,温度在550～800℃范围时,传感器的输出特性,观察到该传感器有较好的稳定性和电压电流特性曲线。实验验证了极限电流值与氧摩尔分数和温度的... 本实验用8mol%Y_2O_3-ZrO_2固体电解质制成了极限电流型氧传感器,并测定了氧在0.23～28.70mol%,温度在550～800℃范围时,传感器的输出特性,观察到该传感器有较好的稳定性和电压电流特性曲线。实验验证了极限电流值与氧摩尔分数和温度的关系。 展开更多

关键词 氧化锆 氧传感器 氧扩散 气体定氧

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纳米GaAs-SiO_2镶嵌复合薄膜的发光特性 被引量：3

5

作者 石旺舟 梁厚蕴 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期276-277,共2页

采用射频磁控共溅射法制备了纳米GaAs -SiO2 镶嵌复合薄膜。通过X射线衍射、透射电镜观察和X射线光电子能谱等手段研究了薄膜的结构及其与沉积过程中基片温度间的关系。测量了薄膜的光致发光特性。结果表明 ,薄膜由晶态的GaAs及非晶SiO2... 采用射频磁控共溅射法制备了纳米GaAs -SiO2 镶嵌复合薄膜。通过X射线衍射、透射电镜观察和X射线光电子能谱等手段研究了薄膜的结构及其与沉积过程中基片温度间的关系。测量了薄膜的光致发光特性。结果表明 ,薄膜由晶态的GaAs及非晶SiO2 两相组成 ,GaAs在沉积过程中未明显氧化 ,且以纳米颗粒形式均匀地弥散 ;GaAs的平均粒径依赖于沉积时的基片温度。通过控制基片温度 ,成功地获得了GaAs的平均粒径分别为 3～ 10nm的GaAs -SiO2 镶嵌复合薄膜。测得发光谱线由多峰叠加组成 ,其峰位随平均粒径变小而蓝移 ;当平均粒径为 10nm时 ,发光谱线位于可见光波段 ,峰位分别为 5 12、5 3 0、5 5 0、5 78nm。采用量子限域理论讨论了光发射波长与颗粒直径间的关系。 展开更多

关键词 纳米GaAs-SiO2薄膜 镶嵌复合 发光特性

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标准建模语言UML 被引量：7

6

作者 梁雯 梁厚蕴 《微机发展》 2002年第3期87-89,共3页

介绍支持面向对象技术的标准建模语言UML的产生背景、定义及主要内容 ,并与传统的软件开发方法相比较 。

关键词 标准建模语言 UML 软件开发方法 面向对象

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大面积热反射薄膜材料的制备

7

作者 梁厚蕴 娄朝刚 +1 位作者 张学华 闫宝明 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期472-474,共3页

大面积热反射薄膜材料的制备梁厚蕴娄朝刚张学华闫宝明（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：磁控溅射热反射薄膜材料薄膜材料以其特有的物理、化学性能应用在材料改性、微电子学、建筑材料以及装饰、装璜等方面。其中，在玻璃... 大面积热反射薄膜材料的制备梁厚蕴娄朝刚张学华闫宝明（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：磁控溅射热反射薄膜材料薄膜材料以其特有的物理、化学性能应用在材料改性、微电子学、建筑材料以及装饰、装璜等方面。其中，在玻璃上制备热反射薄膜材料在现代建筑上用... 展开更多

关键词 磁控溅射 热反射 薄膜 制备

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基于智能和数据仓库DSS的综合DSS 被引量：3

8

作者 梁雯 梁厚蕴 《微机发展》 2003年第11期72-74,共3页

阐述了智能决策支持系统和基于数据仓库的决策支持系统的结构,介绍了将两者结合起来构成综合决策支持系统的新思路:以将智能决策支持系统与基于数据仓库技术的决策支持系统这两者不同的辅助决策方式结合起来,从而进一步提高辅助决策的效... 阐述了智能决策支持系统和基于数据仓库的决策支持系统的结构,介绍了将两者结合起来构成综合决策支持系统的新思路:以将智能决策支持系统与基于数据仓库技术的决策支持系统这两者不同的辅助决策方式结合起来,从而进一步提高辅助决策的效果,为各级决策者进行科学决策提供更强的辅助决策手段。 展开更多

关键词 智能决策支持系统 数据仓库 决策支持系统 DSS 计算机 辅助决策

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α-SiO_xN_y薄膜中分立能级的光发射

9

作者 石旺舟 梁厚蕴 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1103-1106,共4页

采用 PECVD法制备了 α- Si Ox Ny 薄膜 ,观察到两组分立能级的强荧光发射 ,一组位于紫外光波段 ,由三个可分辨的发射峰组成 ,波长分别为 330、340和 345nm;另一组位于红光波段 ,由两个发射峰组成 ,波长分别为 735nm和 745nm.发射峰依... 采用 PECVD法制备了 α- Si Ox Ny 薄膜 ,观察到两组分立能级的强荧光发射 ,一组位于紫外光波段 ,由三个可分辨的发射峰组成 ,波长分别为 330、340和 345nm;另一组位于红光波段 ,由两个发射峰组成 ,波长分别为 735nm和 745nm.发射峰依赖于薄膜中氧和氮的同时存在 ,其强度首先随薄膜中其含量的增加而增强 ,达到饱和值后 ,随着其含量的进一步增加而下降 .这表明发射峰可能起源于 O- Si- N结合而形成的发光中心 . 展开更多

关键词 α-SiOxNy 光发射 分离能顷 薄膜

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主动数据库及在DSS中的应用研究

10

作者 梁雯 梁厚蕴 《微机发展》 2004年第8期105-107,共3页

主动数据库是数据库技术中一个活跃的研究领域,它是在传统数据库的基础上,结合人工智能和面向对象技术提出的,其主动性功能正在各种应用中发挥越来越大的作用。主动数据库强调数据库反应能力上具有主动性、快速性和智能化的特性,而决策... 主动数据库是数据库技术中一个活跃的研究领域,它是在传统数据库的基础上,结合人工智能和面向对象技术提出的,其主动性功能正在各种应用中发挥越来越大的作用。主动数据库强调数据库反应能力上具有主动性、快速性和智能化的特性,而决策支持系统要求数据库具有很强的数据预处理和数据分析能力,将主动数据库应用于决策支持系统中,一定会使决策支持系统具有更强的优越性,从而更好地发挥决策支持系统辅助决策的作用,以满足各种层次、各种类型、不同决策者的决策过程对数据的要求。 展开更多

关键词 数据库 传统数据库 主动数据库 决策支持系统

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激光双棱镜干涉实验的改进方法 被引量：4

11

作者 车蕾平 梁厚蕴 +1 位作者 吴文会 熊畅 《大学物理》 北大核心 2014年第6期51-54,共4页

提出了一种新的光路进行激光双棱镜干涉实验,作为经典激光双棱镜干涉实验的改进实验.解决了经典激光双棱镜干涉实验存在的观测视场小(这里的视场指的是眼睛能看到干涉条纹的观察范围)、观测不方便、不易演示等问题.

关键词 激光双棱镜干涉 新光路 改进方法

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磁控溅射Ti-Al-V-N涂层研究 被引量：1

12

作者 华寿美 娄朝刚 +2 位作者 梁厚蕴 祁光禄 张学华 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第6期428-432,共5页

用两种靶材,采用磁控反应溅射沉积Ti-Al-V-N薄膜。XRD和XPS测定薄膜的结构主要为BI-NaCl型Ti(Al、V)N相。SEM观察确定微观结构比较致密,晶粒直径约0.1μm;元素面分布均匀;主要成份与靶材基本一致。氧化试验表明Ti(Al、V)N抗氧化性远优于... 用两种靶材,采用磁控反应溅射沉积Ti-Al-V-N薄膜。XRD和XPS测定薄膜的结构主要为BI-NaCl型Ti(Al、V)N相。SEM观察确定微观结构比较致密,晶粒直径约0.1μm;元素面分布均匀;主要成份与靶材基本一致。氧化试验表明Ti(Al、V)N抗氧化性远优于TiN,高铝薄膜尤为明显,对Cu、Al等浸润角动态观察和测量结果表明:Ti(Al、V)N涂层明显区别于无涂层的合金钢抛光表面。 展开更多

关键词 钛铝钒氮涂层 磁控溅射 研究

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极限电流型氧化锆电极氧传感器的研究 被引量：1

13

作者 唐绍铧 梁厚蕴 刘庆国 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期219-224,共6页

从热力学和动力学出发,推导出该传感器的极限电流公式,从理论上找到了极限电流值与氧摩尔分数、气体扩散系数、温度和小孔几何尺寸等因素的关系。并推导出传感器的响应时间公式。

关键词 氧传感器 氧化锆 极限电流型

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用电子束蒸发法制备ZrO_2薄膜

14

作者 娄朝刚 张学华 +2 位作者 梁厚蕴 石东奇 华寿美 《真空》 CAS 北大核心 1992年第6期50-52,共3页

采用电子束蒸发的方法制备ＺｒＯ２薄膜，经Ｘ射线衍射和Ｘ光电子能谱分析证实：薄膜为具有立方结构的ＺｒＯ２薄膜，薄膜中缺氧，Ｙ原子的百分含量比蒸发原料中高．

关键词 电子束 蒸发 薄膜 二氧化锆

原文传递

汽车用氧传感器的研究 被引量：2

15

作者 梁厚蕴 唐绍铧 《耐火材料》 CAS 北大核心 1991年第5期258-260,共3页

关键词 汽车 氧传感器 氧化锆陶瓷 燃烧

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非晶硅薄膜的低温快速晶化及其结构分析 被引量：21

16

作者 林揆训 林璇英 +3 位作者 梁厚蕴 池凌飞 余楚迎 黄创君 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期863-866,共4页

在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火 10min .退火温度为 5 0 0℃时 ,薄膜表面形成了硅铝的混合相 ,非晶硅薄膜开始呈现了晶化现象 ;退火温度为 5 5 0℃时 ,大部分 (约 80 % )的非晶硅晶化为多晶硅 ,平均晶... 在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火 10min .退火温度为 5 0 0℃时 ,薄膜表面形成了硅铝的混合相 ,非晶硅薄膜开始呈现了晶化现象 ;退火温度为 5 5 0℃时 ,大部分 (约 80 % )的非晶硅晶化为多晶硅 ,平均晶粒尺寸为 5 0 0nm ;退火温度为 6 0 0℃时 ,几乎所有的非晶硅都转化为多晶硅 ,其平均晶粒尺寸约为1 5 μm . 展开更多

关键词 固相晶化 多晶硅薄膜 非晶硅薄膜 低温快速晶化 结构分析

原文传递

低温等离子体氧化α-Si∶H薄膜的蓝光发射

17

作者 石旺舟 梁厚蕴 欧阳艳东 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期676-678,共3页

通过荧光光谱研究了放电等离子体氧化的α Si∶H薄膜的荧光特性 ,在 45 0nm～ 5 0 0nm范围内常温下观察到强蓝光发射 ,发光强度随沉积氧化的周期数增加而增强。发射带呈七峰结构 ,位置分别为 46 0nm、46 5nm、472nm、478nm、485nm、490n... 通过荧光光谱研究了放电等离子体氧化的α Si∶H薄膜的荧光特性 ,在 45 0nm～ 5 0 0nm范围内常温下观察到强蓝光发射 ,发光强度随沉积氧化的周期数增加而增强。发射带呈七峰结构 ,位置分别为 46 0nm、46 5nm、472nm、478nm、485nm、490nm、496nm。实验结果直接证明了蓝光发射与缺陷能级有关 ,其起源于Si O结合特定组态而形成的发光中心。 展开更多

关键词 薄膜 等离子体氧化 蓝光发射

原文传递