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FBAR滤波器的底电极图形化工艺研究
1
作者 倪烨 任秀娟 +4 位作者 段英丽 张智欣 陈长娥 于海洋 孟腾飞 《电子与封装》 2023年第5期85-88,共4页
对薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器晶圆制造过程中的关键工艺——底电极图形化工艺进行了研究。通过优化光刻工艺中的焦面和曝光量,制作出了角度约为50°的胶图形;同时调整干法刻蚀设备的工艺参数,实现了角度为10.91°的底电极侧... 对薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器晶圆制造过程中的关键工艺——底电极图形化工艺进行了研究。通过优化光刻工艺中的焦面和曝光量,制作出了角度约为50°的胶图形;同时调整干法刻蚀设备的工艺参数,实现了角度为10.91°的底电极侧壁斜坡形貌结构,为FBAR滤波器的芯片制造工艺研究打下基础。 展开更多
关键词 FBAR滤波器 晶圆制造 图形化 斜坡形貌
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超大超深基坑工程止水帷幕及支护设计与施工 被引量：8
2
作者 段英丽 《施工技术》 CAS 北大核心 2013年第S2期63-67,共5页
燕翔饭店改扩建工程地处商业繁华地带,为超大超深基坑。基坑四周距离市政道路较近,重型车辆通过时的震动对基坑边坡的稳定性影响较大;深基坑南侧距离海润国际公寓高层12m,且紧挨锅炉房,确保深基坑边坡的安全是本工程的一大重点。详细地... 燕翔饭店改扩建工程地处商业繁华地带,为超大超深基坑。基坑四周距离市政道路较近,重型车辆通过时的震动对基坑边坡的稳定性影响较大;深基坑南侧距离海润国际公寓高层12m,且紧挨锅炉房,确保深基坑边坡的安全是本工程的一大重点。详细地介绍了基坑止水帷幕和护坡桩设计及施工技术。科学组织、精心施工确保了基坑工程施工的质量、安全,为主体结构的顺利施工提供了保障。 展开更多
关键词 深基坑 止水帷幕 支护 设计 施工技术
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不停航跑道下超长管幕保护超浅埋大断面暗挖施工技术 被引量：6
3
作者 段英丽 《施工技术》 CAS 北大核心 2013年第19期95-99,共5页
在机场主跑道不停航条件下修建大断面浅埋暗挖平顶直墙隧道在国内外尚属首次。通过管幕超前支护、土体超前预加固注浆、多导洞开挖支护等方法解决了不停航跑道下超长管幕保护超浅埋大断面平顶直墙暗挖施工难题,跑道沉降始终控制在容许... 在机场主跑道不停航条件下修建大断面浅埋暗挖平顶直墙隧道在国内外尚属首次。通过管幕超前支护、土体超前预加固注浆、多导洞开挖支护等方法解决了不停航跑道下超长管幕保护超浅埋大断面平顶直墙暗挖施工难题,跑道沉降始终控制在容许范围内,确保了飞机正常起降。 展开更多
关键词 隧道工程 沉降 监测 施工技术
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钢筋混凝土简支梁桥体系可靠性分析 被引量：1
4
作者 张彦玲 梁飞 段英丽 《交通标准化》 2004年第2期67-70,共4页
桥梁的体系可靠度与基本构件的可靠度是不同的,二者之间的差异随桥梁跨径、主梁间距和主梁数量而变化。而且,作为整个体系,失效模式有很多,若体系中部分构件失效,剩余梁则会发生荷载重分布,而荷载重分布对公路钢筋混凝土梁的可靠性分析... 桥梁的体系可靠度与基本构件的可靠度是不同的,二者之间的差异随桥梁跨径、主梁间距和主梁数量而变化。而且,作为整个体系,失效模式有很多,若体系中部分构件失效,剩余梁则会发生荷载重分布,而荷载重分布对公路钢筋混凝土梁的可靠性分析有较大影响。 展开更多
关键词 桥梁工程 钢筋混凝土简支梁桥 可靠性分析 失效模式 荷载重分布 荷载效应模型 抗力劣化模型
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不停航跑道下超浅埋暗挖隧道初支和二衬施工技术 被引量：3
5
作者 段英丽 《铁道建筑》 北大核心 2014年第1期40-42,共3页
在机场主跑道不停航条件下修建超浅埋大断面隧道在国内外尚属首次。本文介绍了不停航跑道下超浅埋大断面平顶直墙隧道初支、二衬以及沉降控制施工技术。工程实际表明,跑道沉降始终控制在容许范围内,确保了飞机正常起降,为以后类似工程... 在机场主跑道不停航条件下修建超浅埋大断面隧道在国内外尚属首次。本文介绍了不停航跑道下超浅埋大断面平顶直墙隧道初支、二衬以及沉降控制施工技术。工程实际表明,跑道沉降始终控制在容许范围内,确保了飞机正常起降,为以后类似工程的施工提供了借鉴。 展开更多
关键词 超浅埋隧道 大断面暗挖 初支 二衬 施工 沉降
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结构加固改造工程中喷射混凝土的质量控制
6
作者 段英丽 《中外建筑》 2004年第1期165-166,共2页
结构加固工程近几年愈来愈普遍,本文主要介绍在实际喷射混凝土的施工中,如何注胶、植钢筋、立模板、喷射混凝土,喷射混凝土过程中容易出现的问题及解决办法。
关键词 喷射混凝土 结构加固 质量控制 注胶 模板
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活性粉末混凝土的性能研究及应用前景 被引量：2
7
作者 任望东 段英丽 《中外建筑》 2004年第3期194-196,共3页
活性粉末混凝土RPC是最新发展起来的一种超高强度、高韧性、耐久性良好的新型混凝土。本文系统地介绍它的研究概况、原材料选择、配制原理、技术性能及其应用前景供广大工程技术人员参考。
关键词 活性粉末混凝土 配制 原材料 配合比 耐久性
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声表面波器件光刻的衍射效应研究
8
作者 孟腾飞 陈晓阳 +3 位作者 段英丽 于海洋 周培根 王永安 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期246-249,共4页
声表面波(SAW)器件光刻过程中,制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致,特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响,分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等... 声表面波(SAW)器件光刻过程中,制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致,特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响,分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等参数间的关系。结果表明,通过建立光学模型给出了计算曝光后不同线条宽度变化值的方法,采用程序编程可对掩模版数据中不同尺寸的线条和缝隙宽度进行补偿,实现SAW器件非均匀线条宽度的精确控制。 展开更多
关键词 声表面波(SAW)器件 光刻 衍射效应 线宽
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加固改造工程难题咋破解
9
作者 段英丽 《施工企业管理》 2007年第4期79-80,共2页
近几年来，随着我国结构加固改造工程的不断增多，新建工程与结构加固改造工程的地位正在悄然发生变化，预计到2010年以后，结构加固改造工程的任务量将超过新建工程的规模。目前，加固改造工程的“三超”（超投资、超规模、超标准）问... 近几年来，随着我国结构加固改造工程的不断增多，新建工程与结构加固改造工程的地位正在悄然发生变化，预计到2010年以后，结构加固改造工程的任务量将超过新建工程的规模。目前，加固改造工程的“三超”（超投资、超规模、超标准）问题及工期拖延问题比新建工程严重得多，已经成为加固改造类工程所面临的突出问题。为了解决这一问题，建立一种新型的项目管理模式来规范这类工程的项目管理就显得尤为必要。 展开更多
关键词 加固改造工程 项目管理模式 破解 新建工程 发生变化 工期拖延 结构 任务量
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