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题名紫外纳米压印技术的研究进展
被引量：7
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作者
殷敏琪
孙洪文
王海滨
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机构
河海大学物联网工程学院
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第5期347-354,共8页
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基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2015B22514)
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文摘
传统的紫外纳米压印(UV-NIL)虽然不受曝光波长的限制,但是存在气泡残留、压印不均匀、模具寿命短等问题。为解决这些问题产生了各种新型UV-NIL工艺,针对这些工艺阐述了紫外纳米压印技术工艺要素的最新研究进展,包括模具、光刻胶的材料与制备技术的现状,并列举了步进-闪光压印光刻(S-FIL)、卷对卷式紫外纳米压印光刻(R2R-NIL)等工艺的流程及其特点。紫外纳米压印的图形质量目前仍受光刻胶填充、固化、脱模等物理行为影响。结合最近的实验研究,从理论方面概述了紫外纳米压印的基本原理,主要指出了光刻胶流动行为以及模具降解等问题。最后介绍了一些紫外纳米压印技术的尖端应用。
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关键词
紫外纳米压印光刻(UV-NIL)
抗蚀剂
热压印光刻(T-NIL)
步进-闪光压印光刻(S-FIL)
卷对卷纳米压印光刻(R2R-NIL)
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Keywords
UV nanoimprint lithography（UV-NIL）
resist
thermal nanoimprint lithography（T-NIL）
step and flash imprint lithography（S-FIL）
roll-to-roll nanoimprint lithography（R2R-NIL）
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名热纳米压印技术的研究进展
被引量：1
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作者
韩丽娟
孙洪文
殷敏琪
王海滨
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机构
河海大学物联网工程学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第4期1-3,7,共4页
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基金
常州市科技计划资助项目(CJ20179036)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
国家自然科学基金资助项目(61504038)
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文摘
介绍了热纳米压印(T-NIL)的要素制备、工艺流程,分析了温度、压力、时间等因素对T-NIL技术的影响。针对这些因素,阐述了T-NIL技术的最新研究进展,包括抗粘连处理方法、加热加压方式、模具及光刻胶材料的选择、T-NIL设备等。介绍了T-NIL技术在不同领域的应用。
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关键词
热纳米压印
模具
光刻胶
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Keywords
thermal nanoimprint lithography(T-NIL)
mold
photoresist
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名植保无人机在精准农业中雾滴飘移影响因素分析
被引量：3
- 3
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作者
李欣璐
殷敏琪
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机构
惠州工程职业学院
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出处
《现代农业装备》
2022年第2期37-42,共6页
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基金
广东省普通高校特色创新项目创新性研究(2021KTSCX296)。
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文摘
为了深入了解植保无人机在精准农业中的应用,掌握植保无人机喷施雾滴的飘移情况,针对植保无人机在不同风速下喷施雾滴飘移的现象,通过试验分析不同风速对雾滴飘移的影响。试验运用大疆T30植保无人机,利用变异系数C.V值和样本标准差S值对6架植保无人机喷施雾滴情况进行对比分析。结果表明:风速为0.2~4.1 m/s,沉积区雾滴平均覆盖度为1.48%~2.48%,平均雾滴密度为9.1~15.8个/cm^(2);当风速为3.2 m/s时,沉积区雾滴沉积效果最好;当风速超过3.2 m/s后,沉积区的雾滴沉积量将逐渐减少,沉积区雾滴的起始位置位移越大,沉积区的雾滴沉积分布均匀性越差。试验结论为进行植保无人机喷洒作业时,选择风速不超过3.2 m/s的作业天气可达到最优的作业效果。
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关键词
植保无人机
精准农业
精准喷洒
雾化技术
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Keywords
plant protection drone
precision agriculture
precision spraying
atomization technology
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分类号
S252
[农业科学—农业机械化工程]
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