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铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征
被引量:
4
1
作者
范平
池京容
+5 位作者
梁广兴
郑壮豪
张东平
蔡兴民
李定梅
陈天宝
《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
北大核心
2012年第2期118-122,共5页
采用热蒸发沉积Ga、离子束溅射沉积Cu、In和Se,在BK7玻璃上形成Ga/Gu/In/Se四元叠层,在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理,制备得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池吸收层材料CIGS薄膜.通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜、...
采用热蒸发沉积Ga、离子束溅射沉积Cu、In和Se,在BK7玻璃上形成Ga/Gu/In/Se四元叠层,在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理,制备得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池吸收层材料CIGS薄膜.通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计及四探针,测量材料的结构、组分、形貌以及光电特性.结果表明,通过精确控制热蒸发蒸镀Ga膜料的时间,实现在CuInSe2(CIS)薄膜上掺杂Ga元素,制备的CIGS薄膜均呈黄铜矿结构,当Ga的原子数分数x(Ga)=3.96%~9.26%时,衍射峰较强,结晶度较高,其中x(Ga)=4.70%,N(Ga)/(N(Ga)+N(In))=0.16时,颗粒明显,大小均匀平整,对应最大晶粒尺寸约为61.01 nm,光学带隙为1.18 eV.
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关键词
太阳电池
薄膜
离子束
热蒸发
晶体结构
光学性能
电学性能
下载PDF
职称材料
离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究
被引量:
2
2
作者
范平
梁广兴
+3 位作者
张东平
蔡兴民
池京容
李盛艺
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第A02期239-242,共4页
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(35~200nm)对其微结构与光电性能的影响。结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征...
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(35~200nm)对其微结构与光电性能的影响。结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征;随着基底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半高宽变小相应薄膜结晶度增大,有利于颗粒的生长;分析CdS薄膜的光谱图线可知,薄膜在可见光区平均透射率高于75%,光学带隙值随着基底温度升高而增大(2.33~2.42eV)且薄膜电阻高达109Ω;在基底温度为400℃条件下制备不同厚度的CdS薄膜,发现(50~100nm)较薄的CdS薄膜具有较为明显的六方相CdS多晶薄膜结构、较优光学性能和高电阻值,满足CIS基太阳电池中缓冲层材料的基本要求。
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关键词
CDS薄膜
离子束溅射
微结构
光电性能
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职称材料
题名
铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征
被引量:
4
1
作者
范平
池京容
梁广兴
郑壮豪
张东平
蔡兴民
李定梅
陈天宝
机构
深圳大学物理科学与技术学院
出处
《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
北大核心
2012年第2期118-122,共5页
基金
广东省自然科学基金资助项目(7009409)
深圳市基础研究计划重点项目资助项目(JC201005250053A)~~
文摘
采用热蒸发沉积Ga、离子束溅射沉积Cu、In和Se,在BK7玻璃上形成Ga/Gu/In/Se四元叠层,在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理,制备得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池吸收层材料CIGS薄膜.通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计及四探针,测量材料的结构、组分、形貌以及光电特性.结果表明,通过精确控制热蒸发蒸镀Ga膜料的时间,实现在CuInSe2(CIS)薄膜上掺杂Ga元素,制备的CIGS薄膜均呈黄铜矿结构,当Ga的原子数分数x(Ga)=3.96%~9.26%时,衍射峰较强,结晶度较高,其中x(Ga)=4.70%,N(Ga)/(N(Ga)+N(In))=0.16时,颗粒明显,大小均匀平整,对应最大晶粒尺寸约为61.01 nm,光学带隙为1.18 eV.
关键词
太阳电池
薄膜
离子束
热蒸发
晶体结构
光学性能
电学性能
Keywords
solar cells thin films ion beams thermal evaporation crystal structure optical properties elec-tric properties
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究
被引量:
2
2
作者
范平
梁广兴
张东平
蔡兴民
池京容
李盛艺
机构
深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第A02期239-242,共4页
基金
广东省自然科学基金资助项目(7009409)
深圳市科技计划资助项目(200729)
文摘
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(35~200nm)对其微结构与光电性能的影响。结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征;随着基底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半高宽变小相应薄膜结晶度增大,有利于颗粒的生长;分析CdS薄膜的光谱图线可知,薄膜在可见光区平均透射率高于75%,光学带隙值随着基底温度升高而增大(2.33~2.42eV)且薄膜电阻高达109Ω;在基底温度为400℃条件下制备不同厚度的CdS薄膜,发现(50~100nm)较薄的CdS薄膜具有较为明显的六方相CdS多晶薄膜结构、较优光学性能和高电阻值,满足CIS基太阳电池中缓冲层材料的基本要求。
关键词
CDS薄膜
离子束溅射
微结构
光电性能
Keywords
CdS thin films
ion-beam sputtering
microstructure
electrical and optical properties
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征
范平
池京容
梁广兴
郑壮豪
张东平
蔡兴民
李定梅
陈天宝
《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
北大核心
2012
4
下载PDF
职称材料
2
离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究
范平
梁广兴
张东平
蔡兴民
池京容
李盛艺
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
下载PDF
职称材料
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