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Mg掺杂AlInP限制层窗口结构高功率(3.7W)660nm AlGaInP宽面半导体激光器 被引量:4
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作者 马德营 李佩旭 +5 位作者 夏伟 李树强 汤庆敏 张新 任忠祥 徐现刚 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期597-601,共5页
本文采用低压金属有机化学气相沉积系统(LP-MOCVD)生长出Mg掺杂压应变分别限制多量子阱结构的AlGaInP/GaInP 660 nm LD外延材料,制作出腔长1000μm、条宽150μm的宽面半导体激光器。采用选择性Zn扩散在管芯两端面区制作出透明窗口结构... 本文采用低压金属有机化学气相沉积系统(LP-MOCVD)生长出Mg掺杂压应变分别限制多量子阱结构的AlGaInP/GaInP 660 nm LD外延材料,制作出腔长1000μm、条宽150μm的宽面半导体激光器。采用选择性Zn扩散在管芯两端面区制作出透明窗口结构来提高器件的腔面光灾变阈值(COD)。透明窗口结构激光器最大连续输出功率为3.7 W,是正常结构的激光器COD饱和功率的4.4倍。激光器的特征温度T0为68 K,热阻为4.6 K/W。在热沉温度为20℃时进行了500 mW恒功率老化,老化时间为1000 h。 展开更多
关键词 窗口结构 ZN扩散 热阻 ALGAINP 半导体激光器
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MOCVD生长GaAsP/InGa(Al)P/GaAs大功率808nm张应变量子阱激光器材料
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作者 蒋锴 李沛旭 +5 位作者 张新 李树强 夏伟 汤庆敏 胡小波 徐现刚 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S1期285-288,共4页
设计了808 nm高功率GaAsP/InGaAlP/GaAs半导体激光器,采用无铝张应变量子阱和非对称宽波导结构,通过优化金属有机物气相沉积(LP-MOCVD)生长条件,提高了外延材料的生长质量,有效提升了激光器转化效率和输出功率。制作了200μm条宽、1500... 设计了808 nm高功率GaAsP/InGaAlP/GaAs半导体激光器,采用无铝张应变量子阱和非对称宽波导结构,通过优化金属有机物气相沉积(LP-MOCVD)生长条件,提高了外延材料的生长质量,有效提升了激光器转化效率和输出功率。制作了200μm条宽、1500μm腔长的激光器器件,室温连续条件(CW)测试其阈值电流为650 mA,斜率效率高达到1.35 W/A,输出功率在11 W以上,激射波长808.5 nm@5A,水平和垂直发散角分别为8°和30°,较小的发散角有效的提高了输出光功率密度。 展开更多
关键词 量子阱激光器 张应变 非对称结构 金属有机物化学气相沉积
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808nm无Al量子阱激光器mini阵列的研制
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作者 王翎 李沛旭 +5 位作者 房玉锁 汤庆敏 张新 夏伟 任忠祥 徐现刚 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期920-922,共3页
通过分析激光器的结构,优化设计了非对称宽波导激光器结构及外延生长条件。利用低压金属有机化合物气相淀积技术(LP-MOCVD)生长了高质量的InGaAsP/GaInP无铝应变量子阱外延材料,制作成808 nm高功率半导体激光器mini阵列,将其应用到1 064... 通过分析激光器的结构,优化设计了非对称宽波导激光器结构及外延生长条件。利用低压金属有机化合物气相淀积技术(LP-MOCVD)生长了高质量的InGaAsP/GaInP无铝应变量子阱外延材料,制作成808 nm高功率半导体激光器mini阵列,将其应用到1 064 nm全固态激光器中。20℃下,制作的808 nm,0.5 cm半导体激光器mini阵列,连续驱动电流50 A时输出功率达到50 W,最高光电转换效率达到53%。将该808 nm激光器mini阵列应用到全固态1 064 nm激光模组中,50 W,1 064 nm激光输出时,工作电流只有15 A。经过多于500 h老化以后,1 064 nm全固态激光器的功率衰减小于2%。 展开更多
关键词 半导体激光器mini阵列 InGaAsP/GaInP 应变量子阱 金属有机化合物化学气相淀积
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非对称结构大功率940nm量子阱激光器
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作者 蒋锴 李沛旭 +3 位作者 张新 汤庆敏 夏伟 徐现刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期110-114,共5页
为改善940 nm大功率InGaAs/GaAs半导体激光器输出特性,通过模拟计算了非对称波导层及限制层结构的光场分布,并参照模拟制作了非对称结构半导体激光器器件。采用低压金属有机物气相沉积(LP-MOCVD)生长技术,获得了低内吸收系数的高质量外... 为改善940 nm大功率InGaAs/GaAs半导体激光器输出特性,通过模拟计算了非对称波导层及限制层结构的光场分布,并参照模拟制作了非对称结构半导体激光器器件。采用低压金属有机物气相沉积(LP-MOCVD)生长技术,获得了低内吸收系数的高质量外延材料,通过实验数据计算得到激光器材料内吸收系数仅为0.44mm^(-1)。进而通过管芯工艺制作了条宽100μm、腔长2000μm的940 nm半导体激光器器件。25℃室温10 A直流连续(CW)测试镀膜后器件阈值电流251 mA,斜率效率1.22 W/A,最大输出功率达到9.6 W,最大光电转化效率超过70%。 展开更多
关键词 量子阱激光器 大功率 非对称结构 INGAAS/GAAS 金属有机物化学气相沉积
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MOCVD生长AlGaInP/InGaAsP大功率808nm无铝量子阱激光器
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作者 李沛旭 夏伟 +4 位作者 李树强 张新 汤庆敏 任忠祥 徐现刚 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期65-67,共3页
设计制作非对称宽波导结构无铝量子阱激光器,可降低内部损耗,实现低阈值电流、高转换效率的目的,同时也增加了最大输出功率。采用金属有机气相化学沉积(MOCVD)进行外延生长,制作了100μm条宽,1500μm腔长的808nm激光器器件,镀膜后阈值电... 设计制作非对称宽波导结构无铝量子阱激光器,可降低内部损耗,实现低阈值电流、高转换效率的目的,同时也增加了最大输出功率。采用金属有机气相化学沉积(MOCVD)进行外延生长,制作了100μm条宽,1500μm腔长的808nm激光器器件,镀膜后阈值电流230.5mA,斜率效率1.31W/A。连续电流条件下,得到最大输出功率超过8W,并且计算得到内吸收系数为1.7cm-1。 展开更多
关键词 量子阱激光器 非对称结构 金属有机化学气相外延
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大唐芙蓉园 盛唐气象第一园
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作者 汤庆敏 《餐饮世界》 2012年第7期76-78,共3页
大唐芙蓉园,位于西安城南的曲江开发区,与大雁塔遥遥相望。它是在原唐代芙蓉园遗址以北,仿照唐代皇家园林式样建造的,是中国第一个全方位展示盛唐风貌的大型皇家园林式文化主题公园,占地面积一千亩,其中水域面积三百亩,总投资十三亿元... 大唐芙蓉园,位于西安城南的曲江开发区,与大雁塔遥遥相望。它是在原唐代芙蓉园遗址以北,仿照唐代皇家园林式样建造的,是中国第一个全方位展示盛唐风貌的大型皇家园林式文化主题公园,占地面积一千亩,其中水域面积三百亩,总投资十三亿元人民币。园内建有紫云楼、仕女馆、御宴宫、杏园、芳林苑、凤鸣九天剧院、唐市等许多仿古建筑, 展开更多
关键词 芙蓉 气象 皇家园林 主题公园 占地面积 水域面积 仿古建筑 开发区
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改善低频大功率晶体管小电流放大特性研究
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作者 汤庆敏 郑善华 《山东半导体技术》 1993年第4期15-17,共3页
关键词 低频 大功率 晶体管 电流放大
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高透腔面大功率650nm红光半导体激光器 被引量:7
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作者 夏伟 马德营 +6 位作者 王翎 李树强 汤庆敏 张新 刘琦 任忠祥 徐现刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1182-1184,共3页
利用石英闭管法对金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长的应变量子阱(MQW)650 nm AlGaInP/GaInP材料进行选择区域扩Zn,使扩Zn区域的光致发光(PL)谱的峰值蓝移达175 meV,形成对650 nm波长激光器的高透腔面,有益于减少激光器腔面光吸收,... 利用石英闭管法对金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长的应变量子阱(MQW)650 nm AlGaInP/GaInP材料进行选择区域扩Zn,使扩Zn区域的光致发光(PL)谱的峰值蓝移达175 meV,形成对650 nm波长激光器的高透腔面,有益于减少激光器腔面光吸收,增加了激光器退化的光学灾变损伤(COD)阈值.后工艺制作出条宽100μm,腔长1 mm的增益导引激光器,实现了红光半导体激光器的大功率输出.激光器阈值电流为382 mA,在2.28 A工作电流时达到光学灾变损伤阈值,最大连续输出光功率1.55 W,外微分量子效率达到0.82 W/A. 展开更多
关键词 激光器 红光半导体激光器 大功率 高透腔面 650 NM
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76%光电转换效率梯度渐变折射率结构940nm半导体激光器(英文) 被引量:6
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作者 蒋锴 李沛旭 +5 位作者 沈燕 张新 汤庆敏 任忠祥 胡小波 徐现刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期12-15,共4页
为改善宽面940nm半导体激光二极管(LD)的输出功率及光电转换效率(WPE),设计并制作了一种包含梯度渐变折射率(GRIN)结构的新型量子阱激光器。通过二维自洽软件模拟计算了新结构激光器与传统分别限制结构(SCH)激光器的能带结构,结果表明... 为改善宽面940nm半导体激光二极管(LD)的输出功率及光电转换效率(WPE),设计并制作了一种包含梯度渐变折射率(GRIN)结构的新型量子阱激光器。通过二维自洽软件模拟计算了新结构激光器与传统分别限制结构(SCH)激光器的能带结构,结果表明新的激光器结构能够显著消除各异质结间的过渡势垒。通过低压金属有机物化学气相沉积(LP-MOCVD)的方法生长了高质量激光器外延材料。制成后的100μm条宽、2000μm腔长的激光器器件在室温25℃下经过连续(CW)电流测试发现,梯度渐变折射率结构激光器较分别限制结构激光器在10A电流下电压约低0.07V。通过结构与生长优化,激光器内吸收系数从0.52cm-1降至0.43cm-1,最大光电转换效率由69%提升至76%。最终制成的940nm半导体激光器器件室温25℃下输出功率10.0W(10A电流时),斜率效率高达1.24W/A。 展开更多
关键词 激光器 激光二极管 梯度渐变折射率结构 高功率 高光电转换效率
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MOCVD growth of AlGaInP/GaInP quantum well laser diode with asymmetric cladding structure for high power applications 被引量:2
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作者 李沛旭 王翎 +5 位作者 李树强 夏伟 张新 汤庆敏 任忠祥 徐现刚 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第6期489-491,共3页
In order to improve the characteristics of the general broad-waveguide 808-nm semiconductor laser diode (LD), we design a new type quantum well LD with an asymmetric cladding structure. The structure is grown by met... In order to improve the characteristics of the general broad-waveguide 808-nm semiconductor laser diode (LD), we design a new type quantum well LD with an asymmetric cladding structure. The structure is grown by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). For the devices with 100-ttm-wide stripe and 1000-/zm-long cavity under continuous-wave (CW) operation condition, the typical threshold current is 190 mA, the slope efficiency is 1.31 W/A, the wall-plug efficiency reaches 63%, and the maximum output power reaches higher than 7 W. And the internal absorption value decreases to 1.5 cm^-1. 展开更多
关键词 MOCVD growth of AlGaInP/GaInP quantum well laser diode with asymmetric cladding structure for high power applications well high
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Influence of the upper waveguide layer thickness on optical field in asymmetric heterostructure quantum well laser diode 被引量:2
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作者 李沛旭 蒋锴 +5 位作者 李树强 夏伟 张新 汤庆敏 任忠祥 徐现刚 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期493-495,共3页
Asymmetric broad-waveguide separate-confinement heterostructure(BW-SCH) quantum well(QW) laser diode emitting at 808 nm is analyzed and designed theoretically.The dependence of the optical field distribution, vert... Asymmetric broad-waveguide separate-confinement heterostructure(BW-SCH) quantum well(QW) laser diode emitting at 808 nm is analyzed and designed theoretically.The dependence of the optical field distribution, vertical far-field angle,and internal loss on different thicknesses of the upper waveguide layer is calculated and analyzed.Calculated results show that when the thicknesses of the lower and upper waveguide layers are 0.45 and 0.3μm,respectively,for the devices with 100-μm-wide stripe and 1000-μm-long cavity,an output power of 7.6 W at 8 A,a vertical far-field angle of 37°,a slope efficiency of 1.32 W/A, and a threshold current of 189 mA can be obtained. 展开更多
关键词 Semiconductor quantum wells WAVEGUIDES
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