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一种基于局部间断Galerkin方法的IC互连线电容提取策略
1
作者
朱洪强
邵如梦
+3 位作者
赵郑豪
杨航
汤谨溥
蔡志匡
《微电子学》
CAS
北大核心
2024年第1期127-133,共7页
求解椭圆方程的局部间断Galerkin(LDG)方法具有精度高、并行效率高的优点,且能适用于各种网格。文章提出采用LDG方法来求解IC版图中电势分布函数满足的Laplace方程,从而给出了一个提取互连线电容的新方法。该问题的求解区域需要在矩形...
求解椭圆方程的局部间断Galerkin(LDG)方法具有精度高、并行效率高的优点,且能适用于各种网格。文章提出采用LDG方法来求解IC版图中电势分布函数满足的Laplace方程,从而给出了一个提取互连线电容的新方法。该问题的求解区域需要在矩形区域内部去掉数量不等的导体区域,在这种特殊的计算区域上,通过数值测试验证了LDG方法能达到理论的收敛阶。随着芯片制造工艺的发展,导体尺寸和间距也越来越小,给数值模拟带来新的问题。文章采用倍增网格剖分方法,大幅减小了计算单元数。对包含不同数量和形状导体的七个电路版图,用新方法提取互连线电容,得到的结果与商业工具给出的结果非常接近,表明了新方法的有效性。
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关键词
局部间断Galerkin方法
寄生参数提取
互连线电容
集成电路工艺
原文传递
题名
一种基于局部间断Galerkin方法的IC互连线电容提取策略
1
作者
朱洪强
邵如梦
赵郑豪
杨航
汤谨溥
蔡志匡
机构
南京邮电大学理学院
南京邮电大学集成电路科学与工程学院
出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2024年第1期127-133,共7页
基金
国家自然科学基金面上项目(12371435,61974073)
国家自然科学基金联合基金项目(U22B2024)
+1 种基金
江苏省研究生科研与实践创新计划项目(KYCX22_0896)
南京邮电大学校级科研基金资助项目(NY222166)。
文摘
求解椭圆方程的局部间断Galerkin(LDG)方法具有精度高、并行效率高的优点,且能适用于各种网格。文章提出采用LDG方法来求解IC版图中电势分布函数满足的Laplace方程,从而给出了一个提取互连线电容的新方法。该问题的求解区域需要在矩形区域内部去掉数量不等的导体区域,在这种特殊的计算区域上,通过数值测试验证了LDG方法能达到理论的收敛阶。随着芯片制造工艺的发展,导体尺寸和间距也越来越小,给数值模拟带来新的问题。文章采用倍增网格剖分方法,大幅减小了计算单元数。对包含不同数量和形状导体的七个电路版图,用新方法提取互连线电容,得到的结果与商业工具给出的结果非常接近,表明了新方法的有效性。
关键词
局部间断Galerkin方法
寄生参数提取
互连线电容
集成电路工艺
Keywords
local discontinuous Galerkin method
parasitic parameter extraction
interconnect capacitance
integratedcircuitprocess
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于局部间断Galerkin方法的IC互连线电容提取策略
朱洪强
邵如梦
赵郑豪
杨航
汤谨溥
蔡志匡
《微电子学》
CAS
北大核心
2024
0
原文传递
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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