注入氮离子的钨合金相结构分析 被引量：1

1

作者 汪德志 张海龙 +2 位作者 郑振华 杨斌 黄宁康 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期778-780,共3页

氮离子注入技术在提高金属表面的硬度和耐磨损性能、延长工件使用寿命方面已取得了显著成果［１～４］．注入的氮离子与金属表面组元发生的化学反应，通常是由体系动力学所决定的［５］．具有一定能量的氮离子与金属表面原子的相互作用... 氮离子注入技术在提高金属表面的硬度和耐磨损性能、延长工件使用寿命方面已取得了显著成果［１～４］．注入的氮离子与金属表面组元发生的化学反应，通常是由体系动力学所决定的［５］．具有一定能量的氮离子与金属表面原子的相互作用是一个相当复杂的物理化学过程．由于... 展开更多

关键词 氮离子注入 钨合金 相结构 分析

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陶瓷热障涂层高温氧化前后组成元素分布的研究 被引量：1

2

作者 汪德志 蒋锦江 黄宁康 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第9期521-524,共4页

对离子束电子束原子束结合技术制备的ＺｒＯ２·Ｙ２Ｏ３—ＮｉＣｏＣｒＡｌＹ陶瓷热障涂层进行了１１００℃、７０ｈ的等温氧化实验。研究了涂层高温氧化前后组成元素分布的特征，并对结果作了相应的讨论。

关键词 热障涂层 元素分布 陶瓷 氧化

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氮离子注入钨的微观分析

3

作者 汪德志 陈剑宣 +2 位作者 郑振华 张海龙 黄宁康 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期120-122,共3页

对不同剂量N+ 离子注入钨的试样进行了XRD及XPS微观分析 ,研究注入层的元素、成分、化学态以及有关的相结构。结果表明 ,注入层除了单质W外 ,还有氧化物WO3 ,氮 氧 钨的化合物 ,如Wx(N ,O)以及氮化物δ WN ,随着氮离子注入剂量的增加 ... 对不同剂量N+ 离子注入钨的试样进行了XRD及XPS微观分析 ,研究注入层的元素、成分、化学态以及有关的相结构。结果表明 ,注入层除了单质W外 ,还有氧化物WO3 ,氮 氧 钨的化合物 ,如Wx(N ,O)以及氮化物δ WN ,随着氮离子注入剂量的增加 ,Wx(N ,O)减少 ,而δ WN量增加 ,污染物WO3 也相应减少。文中对有关机理作了相应的探讨。 展开更多

关键词 离子注入 钨 相结构 金属表面改性 氮离子

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GH140上NiCoCrAlY沉积涂层的高温氧化性能及其微观分析

4

作者 汪德志 黄宁康 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期37-40,共4页

采用电子束原子束结合技术在ＧＨ１４０高温合金钢基体上沉积ＮｉＣｏＣｒＡｌＹ合金涂层，并对涂层试样在不同温度下进行高温氧化对比试验。结果表明，其抗高温氧化性能有了明显提高。用电子形貌、ＳＥＭ－ＥＤＡＸ和ＸＲＤ等仪器对试... 采用电子束原子束结合技术在ＧＨ１４０高温合金钢基体上沉积ＮｉＣｏＣｒＡｌＹ合金涂层，并对涂层试样在不同温度下进行高温氧化对比试验。结果表明，其抗高温氧化性能有了明显提高。用电子形貌、ＳＥＭ－ＥＤＡＸ和ＸＲＤ等仪器对试样进行了微观分析，并探讨了有关机理。 展开更多

关键词 耐热合金 涂层 高温氧化 微观分析

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电子束原子束结合沉积ZrO_2Y_2O_3-NiCoCrAlY涂层高温氧化行为及其分析

5

作者 汪德志 冯志蓉 黄宁康 《微细加工技术》 1993年第3期78-82,共5页

采用电子束原子束结合技术在GH140基材上沉积的ZrO_2·Y_2O_3—NiCoCrAIY复合膜涂层试样进行了1100℃,10h的等温氧化试验。并对试样高温氧化前后的涂层进行了电子形貌及XRD分析。结果表明,这种复合膜形式的涂层其抗氧化能力大大优... 采用电子束原子束结合技术在GH140基材上沉积的ZrO_2·Y_2O_3—NiCoCrAIY复合膜涂层试样进行了1100℃,10h的等温氧化试验。并对试样高温氧化前后的涂层进行了电子形貌及XRD分析。结果表明,这种复合膜形式的涂层其抗氧化能力大大优于单层NiCoCrAIY膜的涂层,本文还对结果作了相应的讨论。 展开更多

关键词 高温合金 电子束 原子束 沉积 高温氧化 涂层

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H^+辐照对不锈钢基体上涂覆W膜的微观研究 被引量：2

6

作者 杨斌 雷家荣 +1 位作者 汪德志 黄宁康 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期267-271,共5页

对奥氏体不锈钢基体上采用离子束混合技术进行不同厚度的钨膜沉积 ,沉积后的试样进行了H+注入前后的XRD和SEM微观分析 ,研究了H+辐照对W膜的晶体结构和形貌的影响。结果表明 ,沉积的W膜基本上是非晶的 ,还出现了由于污染造成的钨的氧化... 对奥氏体不锈钢基体上采用离子束混合技术进行不同厚度的钨膜沉积 ,沉积后的试样进行了H+注入前后的XRD和SEM微观分析 ,研究了H+辐照对W膜的晶体结构和形貌的影响。结果表明 ,沉积的W膜基本上是非晶的 ,还出现了由于污染造成的钨的氧化物。氢离子的辐照模拟结果表明 ,少量晶化的W向非晶化转变 ,污染的氧化物被择优溅射掉。H+轰击对W膜表面形貌的影响不大 ,它仍然致密、均匀、完整且无明显损伤。 展开更多

关键词 不锈钢基体 离子束混合 W薄膜 H^+辐照 氢离子 辐照模拟 聚变堆 第一壁 钨薄膜 微结构 保护

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H^+辐照前后C-SiC涂层的红外吸收光谱研究 被引量：2

7

作者 杨斌 熊器 +3 位作者 刘耀光 雷家荣 汪德志 黄宁康 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期176-177,共2页

对在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积的C SiC涂层 ,进行了二次离子质谱 (SIMS)及傅氏变换红外吸收光谱(FI IR)的分析。研究了不锈钢基体涂覆前后的H+ 辐照的氢浓度分布以及H+ 辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化 ,对SiC涂层阻氢... 对在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积的C SiC涂层 ,进行了二次离子质谱 (SIMS)及傅氏变换红外吸收光谱(FI IR)的分析。研究了不锈钢基体涂覆前后的H+ 辐照的氢浓度分布以及H+ 辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化 ,对SiC涂层阻氢的机理进行了探讨。 展开更多

关键词 C-SiC涂层 红外吸收光谱 氢离子辐照 不锈钢 聚变堆

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H^+辐照前后Mo涂层表面的XPS分析 被引量：2

8

作者 刘春海 杜晓松 +2 位作者 汪德志 黄宁康 杨斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期176-178,182,共4页

对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化... 对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉。 展开更多

关键词 离子束混合 MO薄膜 H^+辐照 XPS分析

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H^+辐照前后W涂层表面的XPS分析 被引量：2

9

作者 杨斌 雷家荣 +1 位作者 汪德志 黄宁康 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期41-44,共4页

对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的W膜进行了H+ 辐照前后的XPS分析 ,研究了H+ 辐照对W的结合能的影响。分析结果表明 ,沉积的W膜中除了单质钨外 ,还有部分钨的氧化物 ,H+ 辐照结果表明 ,H+的辐照使钨的结合能向低能方向偏移 ;钨的... 对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的W膜进行了H+ 辐照前后的XPS分析 ,研究了H+ 辐照对W的结合能的影响。分析结果表明 ,沉积的W膜中除了单质钨外 ,还有部分钨的氧化物 ,H+ 辐照结果表明 ,H+的辐照使钨的结合能向低能方向偏移 ;钨的氧化物有所减少 。 展开更多

关键词 离子束混合 W薄膜 H^+辐照 XPS分析 钨薄膜 等离子体室 内壁保护

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离子束混合沉积C-SiC涂层的阻氢特性研究 被引量：1

10

作者 杨斌 熊器 +3 位作者 刘耀光 雷家荣 汪德志 黄宁康 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期65-68,共4页

对离子束混合技术制备的C SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察 ,比较了在相同组分的C SiC靶材下采用不同的Ar+ 离子轰击剂量 ,在相同的Ar+ 离子轰击剂量下采用不同组分的C SiC靶材所制备涂层的表面形貌特征 ,并由二次离子质谱 (SIMS)分析了C ... 对离子束混合技术制备的C SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察 ,比较了在相同组分的C SiC靶材下采用不同的Ar+ 离子轰击剂量 ,在相同的Ar+ 离子轰击剂量下采用不同组分的C SiC靶材所制备涂层的表面形貌特征 ,并由二次离子质谱 (SIMS)分析了C SiC涂层的阻氢性能 .结果表明 ,所制备C SiC涂层的表面形貌与靶材组分以及Ar+ 离子轰击剂量有关 ,不同的形貌特征对涂层的阻氢性能影响不同 . 展开更多

关键词 C-SiC 离子束混合技术 表面形貌 阻氢性能 碳-碳化硅涂层 聂击剂量 金属表达保护

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三束结合沉积NiCoCrAlY-ZrO_2·Y_2O_3涂层的高温氧化 被引量：1

11

作者 黄宁康 冯志蓉 +2 位作者 汪德志 王培录 熊兆奎 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1992年第2期47-52,共6页

不同工艺规范的离子束、电子束,原子束结合沉积NiCoCrAlYZrO_2·Y_2O_3热障复合涂层试样进行了1000℃ 300小时等温氧化及金相、电子探针、XRD分析。结果表明,沉积的涂膜具有优良的抗氧化性能,基体缺陷导致涂膜局部剥落是本试样涂层... 不同工艺规范的离子束、电子束,原子束结合沉积NiCoCrAlYZrO_2·Y_2O_3热障复合涂层试样进行了1000℃ 300小时等温氧化及金相、电子探针、XRD分析。结果表明,沉积的涂膜具有优良的抗氧化性能,基体缺陷导致涂膜局部剥落是本试样涂层高温氧化失效的原因。 展开更多

关键词 涂层 高温氧化 离子束 电子束 沉积

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利用双束技术制备纳米锆氧化物薄膜的研究 被引量：1

12

作者 杨斌 黄宁康 +1 位作者 雷家荣 汪德志 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期852-855,共4页

作者采用离子束溅射沉积Zr的同时 ,进行氧离子的轰击 ,随着注入离子束流密度的变化 ,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化 ,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶 .实验发现 ,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也... 作者采用离子束溅射沉积Zr的同时 ,进行氧离子的轰击 ,随着注入离子束流密度的变化 ,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化 ,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶 .实验发现 ,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同 . 展开更多

关键词 双离子束技术 锆氧化物 纳米晶粒 薄膜 制备

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不同基材上电子束原子束结合沉积NiCoCrAlY的高温氧化研究 被引量：1

13

作者 黄宁康 汪德志 +2 位作者 冯志蓉 熊兆奎 王培录 《机械工程材料》 CAS CSCD 1992年第5期16-19,31,共5页

在不同的铁基合金GH140、1Cr18Ni9Ti、A3基材上采用电子束原子束结合技术进行了NiCoCrAlY膜的沉积,并进行了1000℃、10 h的等温氧化试验,通过试样高温氧化前后的电子形貌、EDAX组分测量以及XRD物相分析表明,沉积膜与基材发生了不同程度... 在不同的铁基合金GH140、1Cr18Ni9Ti、A3基材上采用电子束原子束结合技术进行了NiCoCrAlY膜的沉积,并进行了1000℃、10 h的等温氧化试验,通过试样高温氧化前后的电子形貌、EDAX组分测量以及XRD物相分析表明,沉积膜与基材发生了不同程度的混合,有害杂质进入涂膜大大影响了涂层的抗氧化性能。基材本身的抗高温氧化能力也影响了涂膜的高温氧化行为。 展开更多

关键词 电子束 原子束 结合沉积 高温氧化

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离子辐照钨基上碳薄膜微结构的分析 被引量：1

14

作者 陈剑宣 汪德志 +2 位作者 张海龙 黄宁康 郑振华 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期503-508,共6页

对钨基材料表面上射频磁控溅射沉积的碳膜进行了氩离子和氮离子的辐照，并作了XRD及XPS的分析。分析结果表明，不同离子辐照引起碳膜微结构的变化亦不同。氮离子辐照不仅使碳膜元素与基体元素发生混合，而且导致碳膜发生相变，生成碳-... 对钨基材料表面上射频磁控溅射沉积的碳膜进行了氩离子和氮离子的辐照，并作了XRD及XPS的分析。分析结果表明，不同离子辐照引起碳膜微结构的变化亦不同。氮离子辐照不仅使碳膜元素与基体元素发生混合，而且导致碳膜发生相变，生成碳-钨化合物，如α－W2C、WCx，同时氮离子本身与钨反应生成氮-钨化合物，如α－WN。氮离子辐照使无定形的碳膜中的生成相发生晶化，晶化的碳-钨化合物相、氮-钨化合物相的含量随氮离子辐照剂量的增加而提高。氩离子辐照却无此诱发作用，但发现氩离子辐照可有效消除氧的污染。随着氩离子剂量的增加，碳膜中污染氧的含量也随之减少。同时对有关机理作了相应的探讨。 展开更多

关键词 离子辐照 碳膜 相变 钨 结构分析

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氩离子辐照对ZrO_2-Y_2O_3薄膜的结构影响 被引量：1

15

作者 黄宁康 冯志蓉 汪德志 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第6期30-35,共6页

为了研究离子辐照对薄膜结构的影响,对氩离子辐照磁控溅射沉积的ZrO_2-8%(m/m)Y_20_3薄膜,用XRD、AES及XPS进行微观分析。结果表明,溅射沉积的无定形薄膜经离子辐照后发生了晶化,膜内元素与基体元素发生了显著的混合,表面污染的碳向膜... 为了研究离子辐照对薄膜结构的影响,对氩离子辐照磁控溅射沉积的ZrO_2-8%(m/m)Y_20_3薄膜,用XRD、AES及XPS进行微观分析。结果表明,溅射沉积的无定形薄膜经离子辐照后发生了晶化,膜内元素与基体元素发生了显著的混合,表面污染的碳向膜内迁移。此外,还研究磁控溅射沉积ZrO_2-8%(m/m)Y_2O_3薄膜氩离子辐照前后表面Zr(3d),Y(3d),O(1s)结合能的位移情况。 展开更多

关键词 离子 辐照 氩 薄膜 氧化锆 氧化钇

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用IR研究H^+辐照对Mo涂层的影响

16

作者 刘春海 杜晓松 +2 位作者 汪德志 黄宁康 杨斌 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1142-1146,共5页

在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积,沉积后的试样再进行氢离子注入.分别对氢离子注入前后的样品进行500~4000波数范围内IR分析,研究了氢离子辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化,对Mo涂层的抗氢机理... 在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积,沉积后的试样再进行氢离子注入.分别对氢离子注入前后的样品进行500~4000波数范围内IR分析,研究了氢离子辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化,对Mo涂层的抗氢机理进行了探讨. 展开更多

关键词 MO薄膜 离子束混合 电子束处理 IR H^+ 辐照

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CuCl^+离子注入α-Al_2O_3晶体退火前后的光学分析

17

作者 王春芬 阳剑 +3 位作者 王新练 杨斌 汪德志 黄宁康 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期427-430,共4页

CuCl+离子注入不同晶向的α Al2O3 晶体,在还原气氛下退火,对退火前后的试样进行了光吸收谱及荧光谱测量。结果发现不同晶向的α Al2O3 晶体在不同注入条件下在高能区段均有强的吸收,经不同温度下的退火,其吸收强度有不同程度的下降。... CuCl+离子注入不同晶向的α Al2O3 晶体,在还原气氛下退火,对退火前后的试样进行了光吸收谱及荧光谱测量。结果发现不同晶向的α Al2O3 晶体在不同注入条件下在高能区段均有强的吸收,经不同温度下的退火,其吸收强度有不同程度的下降。通过光吸收谱的高斯拟合以及荧光谱的分析确认, CuCl+离子注入α Al2O3 晶体产生的点缺陷主要为 F心、F+心、F+22 心、F2 心、F+2 心。 展开更多

关键词 离子注入 Α-AL2O3 CuCl^+

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电子束和热退火后处理的射频溅射沉积ZrO_2－Y_2O_3薄膜的结构特征

18

作者 黄宁康 汪德志 熊兆奎 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期10-14,共5页

对射频磁控溅射沉积的ＺｒＯ２－１２ｗｔ％Ｙ２Ｏ３薄膜进行了电子束处理和热退火处理．通过ＸＲＤ、ＸＰＳ、ＳＥＭ等的微观分析，研究了薄膜的相结构组成、薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目的... 对射频磁控溅射沉积的ＺｒＯ２－１２ｗｔ％Ｙ２Ｏ３薄膜进行了电子束处理和热退火处理．通过ＸＲＤ、ＸＰＳ、ＳＥＭ等的微观分析，研究了薄膜的相结构组成、薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目的而进行的后处理的方式选择作了讨论。 展开更多

关键词 薄膜 后处理 结构特征 射频溅射 氧化锆

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ZrO_2-12wt% Y_2O_3沉积薄膜退火后处理前后的相结构研究

19

作者 黄宁康 熊兆奎 +1 位作者 汪德志 胡志荃 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第1期16-20,共5页

在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2－12wt％Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理，其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明，退火前的沉积膜相组成与... 在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2－12wt％Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理，其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明，退火前的沉积膜相组成与沉积过程中衬底温度有关，退火后的沉积膜相组成与退火方式有关，其形貌特征经不同形式退火显示出明显的差别。 展开更多

关键词 薄膜 退火 相结构 氧化锆 氧化钇

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氧离子辐照辅助沉积锆膜的组成特征

20

作者 黄宁康 汪德志 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期212-215,共4页

采用双离子束技术制备Ｚｒ—Ｏ薄膜，由氩离子溅射沉积锆的同时进行氧离子辐照，对形成的Ｚｒ－Ｏ薄膜进行了ＲＢＳ及ＸＰＳ分析．结果表明，形成膜均由三部分组成：表面的碳沾污层，Ｚｒ－Ｏ体部分及膜与基体的界面过渡层．改变氧离子... 采用双离子束技术制备Ｚｒ—Ｏ薄膜，由氩离子溅射沉积锆的同时进行氧离子辐照，对形成的Ｚｒ－Ｏ薄膜进行了ＲＢＳ及ＸＰＳ分析．结果表明，形成膜均由三部分组成：表面的碳沾污层，Ｚｒ－Ｏ体部分及膜与基体的界面过渡层．改变氧离子束流密度，膜体部分的Ｏ／Ｚｒ原子比值由０升至２．３。碳沾污层及过渡层的厚度并不随氧离子束流的增加而变化。不同Ｏ／Ｚｒ比值膜的锆氧化物通过Ｚｒ的化学位移测量进行了鉴定。 展开更多

关键词 锆氧化膜 双离子束技术 组成特性

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