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束流位置监测系统的研制及其在国家同步辐射实验室二期工程中的应用 被引量：3
1
作者 沈连婠 王筠华 +5 位作者 王贵诚 何新 赵建宾 李晓光 姚建平 朱阳斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期783-786,共4页
介绍一种储存环束流位置监测系统的标定装置。这套标定装置是为NSRL二期工程储存环注入段真空盒改造而研制的。系统的标定精度达± 0 .0 1mm。该装置已用于新增注入段真空管的束流位置探测器的定标 ,获得了探头定标值 ,并根据其拟... 介绍一种储存环束流位置监测系统的标定装置。这套标定装置是为NSRL二期工程储存环注入段真空盒改造而研制的。系统的标定精度达± 0 .0 1mm。该装置已用于新增注入段真空管的束流位置探测器的定标 ,获得了探头定标值 ,并根据其拟合和计算结果对注入段真空管进行了筛选 。 展开更多
关键词 束流位置监测系统 定标系统 真空管 储存环 加速器
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CAM中刀具的管理 被引量：5
2
作者 沈连婠 俞经虎 +2 位作者 徐幸花 竺长安 李川奇 《机床与液压》 北大核心 2001年第6期62-64,共3页
关键词 CAM 机械制造 刀具管理 刀具数据库
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超精密微细铣削加工技术 被引量：9
3
作者 沈连婠 《制造技术与机床》 CSCD 1996年第10期10-12,共3页
介绍了日本ＦＡＮＵＣ公司和电气通信大学研究的一种新的微细加工系统──车床型超精密铣床，这台铣床具有无摩擦伺服系统和用于微细加工的ＣＡＤ／ＣＡＭ系统，最小数控分辨率为１ｎｍ，实现了自由曲面微细切削加工。在对直径为１ｍｍ... 介绍了日本ＦＡＮＵＣ公司和电气通信大学研究的一种新的微细加工系统──车床型超精密铣床，这台铣床具有无摩擦伺服系统和用于微细加工的ＣＡＤ／ＣＡＭ系统，最小数控分辨率为１ｎｍ，实现了自由曲面微细切削加工。在对直径为１ｍｍ、高度差为３Ｏμｍ的复杂曲面进行的微细铣削加工中获得了ＲｚＯ．０５８μｍ的表面粗糙度。 展开更多
关键词 微细加工 超精密铣削 铣削
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机械制图课程教学研究及其改革实践 被引量：2
4
作者 沈连婠 王瑞芳 +1 位作者 邬玉亭 王琪民 《教育与现代化》 2004年第4期34-40,共7页
本文介绍了《机械制图》课程从课程结构、教材内容和教学方法等全方位的教学改革实践活动。由于边改革边实验 ,同时坚持以学生为本 ,从而激发了学生的学习兴趣 ,调动了师生的教学积极性 ,有效地组织了教学活动 ,在提高教学效率的同时改... 本文介绍了《机械制图》课程从课程结构、教材内容和教学方法等全方位的教学改革实践活动。由于边改革边实验 ,同时坚持以学生为本 ,从而激发了学生的学习兴趣 ,调动了师生的教学积极性 ,有效地组织了教学活动 ,在提高教学效率的同时改善了教学质量。 展开更多
关键词 教学积极性 以学生为本 高教 课程教学 课程结构 师生 教材内容 机械制图课 《机械制图》课
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紫外光刻中部分相干光的传播及衍射效应 被引量：9
5
作者 李木军 沈连婠 +5 位作者 赵玮 李晓光 范明聪 王晓东 刘雳颋 郑津津 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期24-29,共6页
基于Hopkins公式,研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度,并建立相应的基于部分相干光理论的光刻模型.应用部分相干光的传播理论,研究掩模平面到光刻胶表面任意两点互强度的传播,进而得... 基于Hopkins公式,研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度,并建立相应的基于部分相干光理论的光刻模型.应用部分相干光的传播理论,研究掩模平面到光刻胶表面任意两点互强度的传播,进而得到光刻胶表面的光强分布.以此为基础,分析了由于掩模与光刻胶之间光的衍射效应而产生的光刻微结构的图形失真.给出了理论模型的计算模拟结果,并用实验对该理论模型的计算结果进行了验证. 展开更多
关键词 接近式紫外光刻 部分相干光 复相干度 霍普金斯公式 图形失真
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面向用户的虚拟设计环境的研究 被引量：9
6
作者 周自强 沈连婠 +3 位作者 李木军 赵玮 伍梅 郑津津 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期137-142,共6页
提出用特征语言对产品族结构进行建模的原理和方法,并结合相应的产品族结构模型进行了分析。在此基础上设计了产品配置器,构造了面向用户的虚拟设计环境的整体框架,并阐述了各组成部分的功能和实现方法。以仪器柜产品的设计和制造为实... 提出用特征语言对产品族结构进行建模的原理和方法,并结合相应的产品族结构模型进行了分析。在此基础上设计了产品配置器,构造了面向用户的虚拟设计环境的整体框架,并阐述了各组成部分的功能和实现方法。以仪器柜产品的设计和制造为实例实现了系统原型。 展开更多
关键词 虚拟设计 大规模定制 面向用户 虚拟现实建模语言(VRML)产品族
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基于群智能算法的设备布局离散优化研究 被引量：11
7
作者 曾议 竺长安 +1 位作者 沈连婠 齐继阳 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期541-547,552,共8页
针对单向环形设备布局设计问题,建立了新的数学模型。利用多维实数编码及映射方法,将连续粒子群优化算法应用于求解设备单向环形布局问题,提供了求解离散优化问题的新思路。利用遗传算法中的杂交策略扩展了粒子群优化算法,提高了粒子群... 针对单向环形设备布局设计问题,建立了新的数学模型。利用多维实数编码及映射方法,将连续粒子群优化算法应用于求解设备单向环形布局问题,提供了求解离散优化问题的新思路。利用遗传算法中的杂交策略扩展了粒子群优化算法,提高了粒子群优化算法性能。建立了问题的图结构描述,以引入蚁群系统算法搜索优化解。给出了两种方法的求解步骤。通过实例计算和结果比较,说明该算法能有效地解决此类离散优化问题,降低成本,提高效率,所得解质量较高,有很好的实用价值。 展开更多
关键词 单向环形设备布局 离散优化 改进粒子群优化算法 蚁群系统算法
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基于Web的虚拟设计中VRML实时模型的可交互处理方法 被引量：7
8
作者 周自强 沈连婠 +2 位作者 赵玮 李木军 郑津津 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第6期1371-1377,共7页
提出一种基于Web的虚拟设计系统的基本结构.对其中在Web页面上展示产品的VRML模型提出了一种可实时交互的处理方法,包括对VRML模型的可交互操作进行预定义、预定义的节点信息和数据库之间的逻辑关系以及根据预定义信息对VRML模型文件进... 提出一种基于Web的虚拟设计系统的基本结构.对其中在Web页面上展示产品的VRML模型提出了一种可实时交互的处理方法,包括对VRML模型的可交互操作进行预定义、预定义的节点信息和数据库之间的逻辑关系以及根据预定义信息对VRML模型文件进行自动处理的相关算法.最后在系统原型中具体实现了该方法. 展开更多
关键词 虚拟设计 交互 VRML 实时
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接近式紫外光刻中图形失真的分析与预修正仿真 被引量：5
9
作者 李木军 沈连婠 +3 位作者 李晓光 赵玮 刘雳颋 郑津津 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期69-74,共6页
接近式紫外光刻中光刻胶图形形状失真是影响基于紫外光刻工艺的大深宽比微结构质量的重要因素之一。为把握其规律,并探寻减小光刻胶模型形状失真的对策,利用部分相干光理论建立光刻理论模型,计算光刻胶表面的光强分布及变化规律,模拟得... 接近式紫外光刻中光刻胶图形形状失真是影响基于紫外光刻工艺的大深宽比微结构质量的重要因素之一。为把握其规律,并探寻减小光刻胶模型形状失真的对策,利用部分相干光理论建立光刻理论模型,计算光刻胶表面的光强分布及变化规律,模拟得到的光刻胶图形轮廓明显地呈现拐角圆化和直边带毛刺等畸变现象。提出一种应用遗传算法的误差预补偿方法,在掩模图形的设计阶段,调整引起衍射的掩模特征形状以实现光刻胶表面的衍射光场调制,并根据光刻胶曝光轮廓特点,提出一种分段分类的思想,设计评价策略,减小问题的求解空间,实现了掩模设计图形的快速优化。结果表明优化补偿后的掩模图形降低了衍射造成的曝光图形的形状失真程度,图形质量得到了显著改善。该研究为提高接近式紫外光刻精度提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 接近式紫外光刻 相干光 图形失真 遗传算法 掩模优化
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BPM定标系统及其应用 被引量：4
10
作者 王贵诚 王筠华 +4 位作者 蒋道满 管长应 沈连婠 金朝祥 杨连发 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期254-256,共3页
介绍了合肥国家同步辐射光源(HLS)新BPM校准系统的总体结构及实测过程。给出了待测真空管道的实测结果,并通过与国家同步辐射一期工程备份管测试结果的比较证实了本系统的精度较高。
关键词 BPM校准系统 Mapping图 真空管道 合肥国家同步辐射光源 加速器 探测器 束流位置监测
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SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文) 被引量：4
11
作者 郑津津 陈有梅 +4 位作者 周洪军 田杨超 刘刚 李晓光 沈连婠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1926-1931,共6页
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究... 在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究了影响紫外深度光刻图形转移精度的如下因素:衍射效应、曝光剂量、紫外光波长和蝇眼透镜的分布等等。建立了基于模型区域的校正系统,该校正系统采用了分类分区域的思想将掩模图形按其畸变的特点进行了分类,在校正过程中对不同的类别分别建立校正区域,在每一校正区域内进行校正优化处理和校正评价,这种基于模型的分类分区域评价思想,使得校正过程有效且实时,该校正方法不仅降低了校正的复杂性,同时提高了校正的效率。 展开更多
关键词 SU-8光刻胶 紫外深度光刻 掩模 图形转移 误差修正
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紫外光刻加工误差实验 被引量：4
12
作者 刘雳颋 沈连婠 +4 位作者 赵玮 于磊 张峰 田扬超 郑津津 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第6期430-436,共7页
为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系，利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究引入田口方法关于信噪比统一测度的思想，获得了各加工工艺参数对光刻胶模型加工误差的影响显著度，其中甩胶速度、... 为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系，利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究引入田口方法关于信噪比统一测度的思想，获得了各加工工艺参数对光刻胶模型加工误差的影响显著度，其中甩胶速度、曝光时间和显影时间为显著因素．对所获得的光刻胶模型电镜图片采用了一种改进的Canny算法，实现了图像边缘提取进而对加工误差的表征与量化方法进行了研究，获得了10～30gm尺度的方形、直线和圆形图形的尺寸误差、直边直线度和直角圆化误差值．研究表明，图形的尺寸误差和直边直线度误差与图形尺寸之比随图形尺寸变大而变小，直角圆化的圆角半径不大于2μm． 展开更多
关键词 紫外光刻 正交实验法 信噪比 改进的Canny算法
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断层轮廓的双三次非均匀B样条曲面重构 被引量：3
13
作者 王瑜 郑津津 +1 位作者 周洪军 沈连婠 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期384-391,共8页
针对断层图像数据,提出了一种曲面重构的方法.依据曲率特征首先提取各层特征点,对其重采样使每行(列)获得统一的采样点数;再对采样点插值得到非均匀双三次B样条曲面;最后,在一定控制精度下对曲面依据距离特征进行节点插入,通过最小二乘... 针对断层图像数据,提出了一种曲面重构的方法.依据曲率特征首先提取各层特征点,对其重采样使每行(列)获得统一的采样点数;再对采样点插值得到非均匀双三次B样条曲面;最后,在一定控制精度下对曲面依据距离特征进行节点插入,通过最小二乘逼近法算出新的控制顶点,从而得到误差在容许范围内的逼近曲面.根据断层轮廓的特点,本算法综合运用了周期B样条和非周期B样条,讨论了封闭曲面和非封闭曲面的计算方法.另外插值和逼近的结合应用使该算法更快速、实用。 展开更多
关键词 非均匀B样条曲面 插值 逼近 特征点 节点插入 迭代
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设备布局离散优化问题的粒子群算法研究 被引量：6
14
作者 曾议 竺长安 +1 位作者 沈连婠 齐继阳 《机械设计》 CSCD 北大核心 2006年第12期4-6,49,共4页
设备布局设计是制造系统设计的重要组成部分,设备布局是否合理对整个制造系统的总体功效起着非常重要的影响。粒子群优化算法(PSO)是一种新的群智能优化算法,常用于求解连续空间极值问题,近来正逐渐进入组合优化领域。利用多维实数编码... 设备布局设计是制造系统设计的重要组成部分,设备布局是否合理对整个制造系统的总体功效起着非常重要的影响。粒子群优化算法(PSO)是一种新的群智能优化算法,常用于求解连续空间极值问题,近来正逐渐进入组合优化领域。利用多维实数编码及映射方法将连续PSO算法应用于求解设备环形布局问题,为此类离散优化问题的求解提供了一种新的思路。利用GA中的杂交策略扩展PSO算法,提高了PSO算法性能。通过实例计算和结果比较,说明了该算法能有效地求得设备环形布局问题的优化解,是一种行之有效地算法,有很好的实用价值。 展开更多
关键词 单向环形设备布局 离散优化 改进粒子群优化算法
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TheoJansen仿生腿研究及其机构优化设计 被引量：10
15
作者 臧红彬 沈连婠 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第15期101-109,共9页
通过基于标准Theo Jansen仿生腿(Jansen-leg)机构研制出的小型仿生机器人实物样机的性能测试,发现该机构存在足端运动轨迹单一、地形适应性差等不足之处,针对此进行Jansen-leg机构的系统优化与革新设计。将双边测量中的距离方程应用于... 通过基于标准Theo Jansen仿生腿(Jansen-leg)机构研制出的小型仿生机器人实物样机的性能测试,发现该机构存在足端运动轨迹单一、地形适应性差等不足之处,针对此进行Jansen-leg机构的系统优化与革新设计。将双边测量中的距离方程应用于标准型仿生腿的运动学建模,作为机构优化中动态变换点的运动学分析的理论依据。通过可重构的优化设计方法,得到了能够适应趾行、避障、泥地、攀爬等运动的诸多新型足端运动轨迹模式。受到优化设计过程和结果的启发,在继承Jansen-leg机构优点的同时对其进行机构革新设计。设计的新机构不但具有很好的越障性、通过性、足端运动轨迹模态多样性,还具有控制简单、关节运动协调性好等诸多优点。提高了该机构对非结构地形环境的适应性,拓展了该机构的应用范围。 展开更多
关键词 Jansen-leg 足端运动轨迹 机构优化 双边测量距离方程 革新设计
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面向用户的产品虚拟模型协同讨论环境的实现 被引量：4
16
作者 周自强 沈连婠 +2 位作者 赵玮 李木军 郑津津 《工程图学学报》 CSCD 北大核心 2005年第3期5-11,共7页
针对基于Web的虚拟设计中面向用户的协同交流的需要,着重介绍了一种对产品虚拟模型进行协同讨论的系统。提出对产品的VRML模型进行节点定义的预处理方法,通过VRMLAutomation接口实现了虚拟模型协同设计和浏览的新方法,并设计了相关的控... 针对基于Web的虚拟设计中面向用户的协同交流的需要,着重介绍了一种对产品虚拟模型进行协同讨论的系统。提出对产品的VRML模型进行节点定义的预处理方法,通过VRMLAutomation接口实现了虚拟模型协同设计和浏览的新方法,并设计了相关的控制策略。结合矢量化的电子图板和文字及语音通信实现了产品虚拟模型的实时评注和讨论。 展开更多
关键词 协同 虚拟设计 虚拟建模语言 面向用户
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基于Web的产品虚拟设计及其应用 被引量：4
17
作者 周自强 李木军 +2 位作者 赵玮 俞经虎 沈连婠 《现代制造工程》 CSCD 2005年第8期39-41,共3页
根据大批量定制模式下的产品设计和制造的特点,阐述基于Web的虚拟设计在产品的需求分析阶段、设计和制造阶段以及销售和服务维护等不同阶段可以发挥的作用。介绍针对面向用户的产品设计所实现的一个基于特征语言的虚拟设计原型系统。
关键词 虚拟设计 基于WEB 大批量定制 电子商务
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基于平面模板的两步法标定摄像机的改进 被引量：5
18
作者 张晓明 沈连婠 +1 位作者 赵高飞 李剑 《现代制造工程》 CSCD 2008年第10期9-12,共4页
摄像机标定技术作为机器视觉的一个重要环节极受重视。Tsai两步法摄像机标定先用径向约束得到部分外参数精确解,再将其余外部参数与畸变修正参数进行迭代求解,但该方法不能直接获取CCD摄像机相面中心坐标精确值。对于两步法的改进,是在... 摄像机标定技术作为机器视觉的一个重要环节极受重视。Tsai两步法摄像机标定先用径向约束得到部分外参数精确解,再将其余外部参数与畸变修正参数进行迭代求解,但该方法不能直接获取CCD摄像机相面中心坐标精确值。对于两步法的改进,是在用两步法得到的摄像机参数值的基础上,用非线性优化算法对所有参数做进一步优化,得到最终参数值。该方法既提高了摄像机标定精度,又无需对CCD摄像机相面中心预标定,简化了标定过程。实验证明,改进后的方法具有快速、准确、方便和有效等优点。 展开更多
关键词 计算机视觉 摄像机标定 Tsai两步法 非线性优化
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当前先进制造技术下的工程实践教学研究 被引量：12
19
作者 叶回春 沈连婠 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2018年第4期37-40,共4页
通过引进当前世界先进制造设备与技术,结合中国科学技术大学办学理念,开创性地将工程实训课程、创新实践活动、社会服务及科研服务等有机整合。同时,参照国内外先进管理模式,在中心内部建立起科学良好的运行机制,致力于建设合理完善的... 通过引进当前世界先进制造设备与技术,结合中国科学技术大学办学理念,开创性地将工程实训课程、创新实践活动、社会服务及科研服务等有机整合。同时,参照国内外先进管理模式,在中心内部建立起科学良好的运行机制,致力于建设合理完善的金工实训课程体系,最终为学生搭建一个具有自身特色的创新设计基地与快速制造响应平台,真正达到提升工程实训内涵、提高人才培养质量的目的。 展开更多
关键词 先进制造技术 工程实训 创新能力 人才培养
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接近式光刻图形失真的部分相干光理论分析 被引量：2
20
作者 李木军 沈连婠 +3 位作者 郑津津 赵玮 李晓光 刘雳頲 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第3期224-229,共6页
光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响,是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一.为此,研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程,建立了相应的光刻理论模型,对光刻成像中的误差产生机理进行分析.... 光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响,是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一.为此,研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程,建立了相应的光刻理论模型,对光刻成像中的误差产生机理进行分析.该模型综合考虑光源和照明系统对掩模微结构附近光场相干性的影响,将光刻模拟分为3部分.首先根据Van Cittert-Zernike定理确定了光源经扩束准直系统传播到蝇眼透镜入射面时光场上任2点的互强度.然后应用部分相干光的传播理论,由Hopkins公式得到部分相干光经蝇眼透镜传播到掩模平面后其上任一点对的复相干度的分布规律.最后根据互强度传播定律,分析从掩模面到光刻胶表面的衍射效应,得到光刻胶表面的光强分布及变化规律,并且通过误差的仿真分析模拟得到光刻胶图形轮廓.结果表明,理论模拟结果与实验较为吻合.该方法能准确地得到衍射光场的分布,进行光刻误差分析,从而能较好地发现曝光图形缺陷. 展开更多
关键词 接近式紫外光刻 部分相干光 复相干度 霍普金斯公式 图形失真
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