基于甲烷气体红外吸收特性窄带滤波器的研究 被引量：5

1

作者 熊仕富 付秀华 +1 位作者 刘冬梅 张静 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期74-80,共7页

根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用"拆分技术"对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,... 根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用"拆分技术"对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669μm波长处峰值透过率达到85.14%,通带半宽度为59nm,覆盖了甲烷气体吸收区域,截止区达到了OD3,很好地抑制了背景噪声. 展开更多

关键词 光学薄膜 窄带滤波器 拆分技术 气体泄漏 探测与识别 灵敏度

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基于基因荧光检测的长波通滤光片研制

2

作者 林亦心 董新康 +4 位作者 杨宁 辛亚武 祝晗 彭永超 熊仕富 《光电技术应用》 2024年第3期36-41,共6页

光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心... 光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心λ_(0)=520 nm的高反射,透射带λ为530~750 nm的高透射长波通滤光片。通过分析膜层敏感度和电场分布,设置合理的晶控方案,调整工艺参数,避免监控高敏感膜层时石英晶控灵敏度下降,解决光谱透过率降低的问题。研制的滤光片在520 nm处反射率为99.77%,在530~750 nm波段平均透过率为98.58%,可满足应用需求。 展开更多

关键词 光学薄膜 长波通滤光片 膜堆周期 离子辅助沉积

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基于塑料镜片防水加硬抗老化光学薄膜的研制 被引量：10

3

作者 付秀华 刘禹冰 +2 位作者 熊仕富 郭贵新 杨永亮 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期83-88,共6页

为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加... 为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加热法镀制防水膜。通过选择新材料SV-55作为连接层,增强了塑料镜片与膜层的附着力,解决了膜系与塑料镜片膨胀系数不匹配的问题,提高了塑料镜片的抗温能力。通过优化工艺参数,得到400nm^700nm反射率R≤1%的绿色减反膜。测试结果显示,研制的薄膜具有耐摩擦、抗老化、防水和防油污的特性。 展开更多

关键词 光学薄膜 光学塑料 减反膜 离子源辅助沉积

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电视测角仪光学系统复合薄膜的研制 被引量：5

4

作者 付秀华 熊仕富 +2 位作者 刘冬梅 张静 潘永刚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期71-76,共6页

为了提高电视测角仪光学系统的性能,满足电视测角仪在测量导弹偏离瞄准线的角偏差和转动角速度中的要求,在设计中使用薄膜技术.依据光学薄膜设计理论,采用金属-介质组合结构设计了宽光谱分光膜和内反射膜,解决了宽光谱光束倾斜入射时产... 为了提高电视测角仪光学系统的性能,满足电视测角仪在测量导弹偏离瞄准线的角偏差和转动角速度中的要求,在设计中使用薄膜技术.依据光学薄膜设计理论,采用金属-介质组合结构设计了宽光谱分光膜和内反射膜,解决了宽光谱光束倾斜入射时产生的偏振分离问题;通过优化沉积工艺参量、离子辅助参量以及真空退火处理,解决了内反射膜的脱膜问题.实验测试满足系统使用要求,并通过了国军标的相关环境测试. 展开更多

关键词 薄膜 分光膜 内反射膜 偏振分离 真空退火

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二阶关联成像系统宽光谱吸收膜研制 被引量：4

5

作者 付秀华 熊仕富 +2 位作者 刘冬梅 张静 程慧婷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期167-172,共6页

为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式... 为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式分析对测试结果逆向反演,通过优化工艺参量,使膜系中敏感薄层厚度得以精准控制,并减小了膜厚控制误差.制备的吸收膜在4001 100nm波段平均吸收率达到99.1%,满足系统使用要求. 展开更多

关键词 薄膜 关联成像 阶梯式退火 逆向反演 内应力 吸收膜

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1064nm激光与远红外共窗口成像系统波长分离膜的研制 被引量：3

6

作者 付秀华 孙兵 +3 位作者 张静 熊仕富 郭凯 姜洪妍 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1-8,共8页

根据激光与远红外共窗口成像系统的技术要求,研制了一种波长分离膜,实现通过共窗口的激光与远红外光分离成像,即1 064nm高反射、8~14μm高透射.分析薄膜的微观结构,研究了薄膜材料吸潮前后的折射率变化,结合光学薄膜理论,优化膜系结构.... 根据激光与远红外共窗口成像系统的技术要求,研制了一种波长分离膜,实现通过共窗口的激光与远红外光分离成像,即1 064nm高反射、8~14μm高透射.分析薄膜的微观结构,研究了薄膜材料吸潮前后的折射率变化,结合光学薄膜理论,优化膜系结构.在薄膜应力的基础上,优化膜层厚度,提高薄膜牢固性.研制的分离膜,1064nm反射率为99.71%,8~12μm平均透过率为97.1%,12~14μm平均透过率为90.1%,满足户外环境中长期使用的要求. 展开更多

关键词 波长分离膜 共窗口成像系统 聚集密度 折射率 应力分析

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光谱探测中的超宽带减反射膜 被引量：2

7

作者 付秀华 潘永刚 +2 位作者 刘冬梅 张静 熊仕富 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1-5,共5页

设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速... 设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求. 展开更多

关键词 红外减反射膜 声光可调滤光器 共蒸发技术 TeO2晶体 材料吸收

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基于户外照明灯罩的自清洁复合膜研制 被引量：2

8

作者 付秀华 范家晨 +2 位作者 张静 熊仕富 张于帅 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期90-95,共6页

根据户外照明系统自清洁功能的需求,基于光学薄膜理论,对复合膜折射率和质量配比进行了理论分析与模拟,采用电子束共蒸发技术镀制TiO_2/Al_2O_3复合膜,并对其做真空退火处理.在单晶控系统中,通过控制左右两电子枪的束流,镀制了不同质量... 根据户外照明系统自清洁功能的需求,基于光学薄膜理论,对复合膜折射率和质量配比进行了理论分析与模拟,采用电子束共蒸发技术镀制TiO_2/Al_2O_3复合膜,并对其做真空退火处理.在单晶控系统中,通过控制左右两电子枪的束流,镀制了不同质量配比复合膜.亲水性测试和甲基橙实验表明,复合膜中TiO_2的质量配比越高,自清洁效果越好,但亲水性和可见光透过率会降低.对不同质量配比的复合膜进行了检测和分析,并通过调整质量配比来优化试验方案,结果表明,TiO_2/Al_2O_3质量配比为9:1时,该薄膜既具有自清洁亲水作用,又具较高的可见光透过率. 展开更多

关键词 薄膜 户外照明灯罩 电子束共蒸发 退火 自清洁 折射率 质量比

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光学相控阵消栅瓣的方法 被引量：3

9

作者 孙鸿伟 何景宜 +1 位作者 熊仕富 尉佩 《光电技术应用》 2013年第5期10-14,共5页

光学相控阵技术是一种新型的光束偏转技术,具有扫描快、抗干扰、分辨率高和高保密性等优点,但栅瓣的存在一直是光学相控阵研究的瓶颈问题之一。综述了光学相控阵的历史、原理、发展现状和趋势,说明了栅瓣的影响,并在原有消除栅瓣方法基... 光学相控阵技术是一种新型的光束偏转技术,具有扫描快、抗干扰、分辨率高和高保密性等优点,但栅瓣的存在一直是光学相控阵研究的瓶颈问题之一。综述了光学相控阵的历史、原理、发展现状和趋势,说明了栅瓣的影响,并在原有消除栅瓣方法基础上提出了一种新型的方法来消除栅瓣,即改变非规则光学相控阵的入射光相位,此方法有效地抑制了光学相控阵的栅瓣,最后讨论了三种方法的优缺点,并对发展前景进行了展望。 展开更多

关键词 光学器件 光学相控阵 栅瓣

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激光通信系统抗干扰高透过双带通滤波膜的研制 被引量：1

10

作者 付秀华 王昌双 +2 位作者 熊仕富 张于帅 张程 《光电技术应用》 2015年第5期30-33,共4页

随着光电子技术的发展,空间通信技术的应用越来越广泛。激光传输系统要求具有低损耗、抗干扰、信噪比高的性能。为满足多通道的信号发射和接收的要求,研制了抗杂散光干扰的滤光膜。依据光学薄膜理论,设计了同时满足808 nm、1064 nm高透... 随着光电子技术的发展,空间通信技术的应用越来越广泛。激光传输系统要求具有低损耗、抗干扰、信噪比高的性能。为满足多通道的信号发射和接收的要求,研制了抗杂散光干扰的滤光膜。依据光学薄膜理论,设计了同时满足808 nm、1064 nm高透过的双带通滤光膜。利用离子辅助沉积技术,通过对石英晶振监控镀膜过程中的膜厚误差分析,建立了关于膜层拟合度定量计算的数学模型,并应用该模型制备了双带通滤光膜,通过该模型所设计的膜系具有良好的可制备性,满足实际使用要求。 展开更多

关键词 滤光膜 误差分布 拟合度控制 高透射带

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县级医院拓展服务领域的体会——不拘一格办好社区医疗

11

作者 李佑进 熊仕富 叶若兰 《中国卫生事业管理》 2001年第2期103-103,共1页

关键词 县级医院 服务领域 社区卫生服务 农村卫生

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238例新生儿死因相关原因分析

12

作者 熊仕富 《泸州医学院学报》 1999年第3期223-223,共1页

关键词 新生儿 死亡原因 统计分析

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紫外激光双波段高反射镜的研制 被引量：2

13

作者 陈恒 熊仕富 +1 位作者 韩建 孙鸿伟 《光电技术应用》 2014年第3期1-4,16,共5页

通过非线性光学频率变换的方式,1 064 nm YAG激光可获得355 nm、266 nm波长的激光。在此系统中工作的反射镜必须同时满足两个波段的高反射。根据薄膜设计理论选择合适的镀膜材料,采用电子束离子辅助沉积工艺,经过参数优化和反复试验,在... 通过非线性光学频率变换的方式,1 064 nm YAG激光可获得355 nm、266 nm波长的激光。在此系统中工作的反射镜必须同时满足两个波段的高反射。根据薄膜设计理论选择合适的镀膜材料,采用电子束离子辅助沉积工艺,经过参数优化和反复试验,在石英基片上制备了355 nm反射率为97.9%,266 nm反射率为96.8%的双波段反射镜,且在紫外波段355 nm的激光损伤阈值为1.76J/cm2,266 nm为1.12 J/cm2。测试结果表明,此反射镜的各项性能满足使用要求。 展开更多

关键词 紫外高反射镜 激光损伤阈值(LIDT) 离子辅助沉积(IAD) 薄膜

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二次剪脐法在产科中的临床应用 被引量：4

14

作者 郑小莉 熊仕富 《护理实践与研究》 2007年第8期13-14,共2页

目的:评价二次剪脐法在产科中预防新生儿脐炎、脐部出血和缩短脐部干燥所需时间的作用。方法:采用随机数字表,按1:1的比例将1626名新生儿随机分为传统剪脐法组813例和二次剪脐法组813例,进行随机对照实验。结果:二次剪脐法在降低新生儿... 目的:评价二次剪脐法在产科中预防新生儿脐炎、脐部出血和缩短脐部干燥所需时间的作用。方法:采用随机数字表,按1:1的比例将1626名新生儿随机分为传统剪脐法组813例和二次剪脐法组813例,进行随机对照实验。结果:二次剪脐法在降低新生儿脐炎、脐部出血率和缩短新生儿脐带干燥时间等方面与传统剪脐法比较,差异有统计学意义,P<0.01。结论:二次剪脐法在产科中应用安全有效,值得推广。 展开更多

关键词 二次剪脐法 脐带 新生儿

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中红外抗CO_(2)气体辐射负滤光片的研制(特邀) 被引量：3

15

作者 付秀华 张天翔 +2 位作者 熊仕富 林兆文 王奔 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期42-50,共9页

为提高中红外探测系统在载体高速运动过程中的探测精度,研制了抗CO_(2)气体辐射的负滤光片,在非球面单晶Si基板表面,选择Ge、ZnS和YbF_(3)作为镀膜材料,结合膜系设计基础理论,使用OptiLayer膜系设计软件对负滤光膜进行设计,石英晶体膜... 为提高中红外探测系统在载体高速运动过程中的探测精度,研制了抗CO_(2)气体辐射的负滤光片,在非球面单晶Si基板表面,选择Ge、ZnS和YbF_(3)作为镀膜材料,结合膜系设计基础理论,使用OptiLayer膜系设计软件对负滤光膜进行设计,石英晶体膜厚控制仪进行厚度监控。根据实验结果及膜层敏感度反演分析,优化膜厚监控方案解决了负滤光膜通带次峰过多及透射率下降等问题。测试结果表明,制备的负滤光片在4.15~4.4μm、5.15~5.5μm波段平均透射率分别为0.87%和0.23%;3.65~3.95μm、4.50~4.85μm波段平均透射率分别为87.04%和89.79%。研制的负滤光片有效提高了目标的探测精度,为中红外探测技术提供了重要的技术支持。 展开更多

关键词 光学薄膜 负滤光片 膜层敏感度 气体辐射 红外探测器

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甲烷气体探测与识别系统窄带滤光膜的研制 被引量：6

16

作者 熊仕富 付秀华 +2 位作者 刘冬梅 张静 范家晨 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期155-163,共9页

依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因。采用不... 依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明,3.31μm单点透射率为93.7%,通带半峰全宽为49nm,1~3.2μm和3.4~5μm波段平均透射率为0.17%,满足系统使用要求。 展开更多

关键词 薄膜 拆分技术 逆向分析法 敏感度分布 窄带滤光膜

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基于硫系玻璃的短中波红外减反膜研制 被引量：12

17

作者 付秀华 姜洪妍 +3 位作者 张静 熊仕富 郭凯 孙兵 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期133-141,共9页

以硫系玻璃为基底,根据膜系设计理论,结合软件完成了短中波红外减反膜的设计。通过对材料热应力的计算分析,研制了一种混合材料M-11作为连接层,优化了沉积工艺参数,并根据其力学特性修正膜系结构,解决了硫系玻璃的脱膜问题。光谱测试结... 以硫系玻璃为基底,根据膜系设计理论,结合软件完成了短中波红外减反膜的设计。通过对材料热应力的计算分析,研制了一种混合材料M-11作为连接层,优化了沉积工艺参数,并根据其力学特性修正膜系结构,解决了硫系玻璃的脱膜问题。光谱测试结果表明,该膜层在1.4~2.5μm和3.5~4.5μm波段透过率分别为95.8%、96.7%,满足红外成像系统的使用要求。 展开更多

关键词 薄膜 硫系玻璃 红外成像系统 连接层 应力分析

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日盲探测宽波段低噪声滤波器件的研制 被引量：5

18

作者 付秀华 郭凯 +3 位作者 熊仕富 张静 孙兵 姜洪妍 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期165-171,共7页

为满足日盲探测系统的技术要求,研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性,结合光学薄膜理论,优化膜系结构,设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束... 为满足日盲探测系统的技术要求,研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性,结合光学薄膜理论,优化膜系结构,设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜,通过对沉积速率的实验研究,在保证金属光学性能的前提下,有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析,对谐振层工艺参数进行优化,有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200~270nm波段的平均透射率达到51.21%,在300~1200nm抑制区的平均透射率为0.90%。 展开更多

关键词 薄膜 滤光膜 日盲探测 控制误差 逆向反演

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大角度宽光谱红外成像系统灰度调节膜的研制 被引量：5

19

作者 付秀华 熊仕富 +2 位作者 刘冬梅 张静 张于帅 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期303-311,共9页

随着现代光学测试技术的不断发展,对图像处理技术的要求越来越高。灰度级层次蕴含了图像细节的重要信息,因此改变图像灰度级可以使图像的细节更清晰。通过滤光技术可以形成不同的灰度级。依据光学薄膜理论,并结合膜系设计软件,通过建立... 随着现代光学测试技术的不断发展,对图像处理技术的要求越来越高。灰度级层次蕴含了图像细节的重要信息,因此改变图像灰度级可以使图像的细节更清晰。通过滤光技术可以形成不同的灰度级。依据光学薄膜理论,并结合膜系设计软件,通过建立膜系优化评价函数,实现了0°~60°入射3~5μm滤光膜的设计,并采用真空沉积技术研制了灰度调节膜。通过在钼舟上方放置铜网,解决了由于SiO沉积速率不稳定产生的膜层表面缺陷的问题;采用逆向分析法对实验测试结果进行模拟,通过调整膜层监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制,降低了膜厚控制误差,从而平滑了光谱曲线。经过测试,制备的灰度调节膜满足红外成像系统灰度级调节的要求,并通过了相关环境测试。 展开更多

关键词 薄膜 红外成像 灰度级 调节膜 逆向分析

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太阳光谱金属-介质干涉型强吸收膜的研究 被引量：3

20

作者 付秀华 郭凯 +3 位作者 张静 熊仕富 姜洪妍 孙兵 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期153-159,共7页

随着军事隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入,对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求,研制了一种在400~2500nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论,建立吸收结构模型,... 随着军事隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入,对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求,研制了一种在400~2500nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论,建立吸收结构模型,并结合材料的特性研究,实现了吸收膜的设计。采用真空离子辅助沉积技术,根据逆向反演法,对"分步沉积"工艺二次优化,制备了太阳光谱强吸收膜。测试结果表明,研制的吸收膜在400~2500nm波段的平均吸收率为98.15%。制备的吸收膜通过了机械牢固度测试,与基底能够很好地结合。 展开更多

关键词 光谱学 吸收膜 太阳光谱 材料特性 离子辅助沉积 分步沉积

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