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电子束反应蒸发氧化物薄膜的应力特性 被引量：6
1
作者 熊胜明 张云洞 唐晋发 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期13-15,共3页
研究了反应电子束蒸发氧化物光学薄膜在空气中的应力。为了找到能减小多层膜结构内应力的淀积工艺参数 ,测试了氧化物膜层 Ti O2 ,Ta2 O5 ,Si O2 ,Al2 O3,Hf O2 的应力 ,发现有些膜层为压应力 ,一些高折射率膜为张应力。实验表明 ,热处... 研究了反应电子束蒸发氧化物光学薄膜在空气中的应力。为了找到能减小多层膜结构内应力的淀积工艺参数 ,测试了氧化物膜层 Ti O2 ,Ta2 O5 ,Si O2 ,Al2 O3,Hf O2 的应力 ,发现有些膜层为压应力 ,一些高折射率膜为张应力。实验表明 ,热处理可以有效地降低氧化物膜层光学吸收 ,并改变应力。 展开更多
关键词 光学薄膜 热处理 电子束蒸发 氧化物 应力特性
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激光倍频三波长减反射膜 被引量：2
2
作者 熊胜明 张云洞 +3 位作者 尚佳江 杨宏 郭永洪 郝德忠 《光电工程》 CAS CSCD 1993年第6期48-53,共6页
提出Nd:YAG激光二倍频,三倍频和主激光三波长同时实现减反射膜系设计方法。该方法成功地设计出不同折射率基片SiO_2,LiNiO_3和K_9玻璃在350nm, 530nm,1060nm三个波长带剩余反射率小于0.02％的减反射膜。文中给出设计理论和实例。并用所... 提出Nd:YAG激光二倍频,三倍频和主激光三波长同时实现减反射膜系设计方法。该方法成功地设计出不同折射率基片SiO_2,LiNiO_3和K_9玻璃在350nm, 530nm,1060nm三个波长带剩余反射率小于0.02％的减反射膜。文中给出设计理论和实例。并用所设计的膜系进行镀制实验,得到较好的结果。对实测曲线与计算曲线不一致性进行了分析。 展开更多
关键词 减反射膜 抗激光薄膜 激光倍频
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短波长化学激光系统反射镜研制 被引量：4
3
作者 熊胜明 张云洞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期423-428,共6页
报道了短波长化学激光系统高反射镜的膜系设计、镀膜材料的选取、反射膜制备技术、基板加工、反射镜性能测试和各种膜系反射镜在强激光辐照下的热畸变和损伤。
关键词 COIL激光 反射膜 热变形 反射镜 化学激光器
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DF化学激光窗口低损耗增透膜 被引量：2
4
作者 熊胜明 张云洞 唐晋发 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期437-441,共5页
表述了ＤＦ激光波段采用ＣａＦ２和硅窗口减反射膜系的结果。分析了设计多层ＡＲ膜的方法并给出用ＺｎＳｅ／ＹｂＦ３和ＺｎＳ／ＹｂＦ３材料组合的双层和五层ＡＲ膜系。计算了各种膜系的理论性能。研究了膜层淀积工艺技术，对于ＣａＦ... 表述了ＤＦ激光波段采用ＣａＦ２和硅窗口减反射膜系的结果。分析了设计多层ＡＲ膜的方法并给出用ＺｎＳｅ／ＹｂＦ３和ＺｎＳ／ＹｂＦ３材料组合的双层和五层ＡＲ膜系。计算了各种膜系的理论性能。研究了膜层淀积工艺技术，对于ＣａＦ２和硅窗口，在ＤＦ激光波段实验透过率分别为９９．５４％和９９．８９％，镀ＡＲ膜ＣａＦ２窗口能承受４．３ｋＷ／ｃｍ２的连续波ＤＦ激光辐射。 展开更多
关键词 窗口 DF化学激光 膜系 增透膜 激光器
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COIL用变形反射镜介质反射膜 被引量：2
5
作者 熊胜明 张云洞 唐晋发 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期19-22,共4页
报道 COIL激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验。在真空镀膜机内制备了膜系Sub/ Ag( Si O2 / Hf O2 ) 4/ air和 Sub/ Ag( Yb F3 / Zn S) 3 / air,反射率分别为 99.90 %和 99.87%。在经历 1 0 9次循环后变形镜物理特性无变化。研究了 C... 报道 COIL激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验。在真空镀膜机内制备了膜系Sub/ Ag( Si O2 / Hf O2 ) 4/ air和 Sub/ Ag( Yb F3 / Zn S) 3 / air,反射率分别为 99.90 %和 99.87%。在经历 1 0 9次循环后变形镜物理特性无变化。研究了 COIL激光辐射下热畸变和损伤特性。分别在功率密度为 1 .52 k W/ cm2和 1 .1 8k W/ cm2的 COIL激光辐照下 ,这两种膜系的变形镜波前变化相应为 0 .3 7λ和 0 .54λ,因此对于变形镜 1 k W/ cm2 激光功率密度是安全可靠的。 展开更多
关键词 变形镜 激光反射膜 膜层应力循环 COIL
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强激光主镜膜厚不均匀性对偏振和光学图像的影响 被引量：4
6
作者 熊胜明 张云洞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1992年第1期59-64,共6页
本文讨论了在特定镀膜室的几何尺寸约束下,一定直径(0.8m)的主反射镜的膜层厚度分布。给出了金属增强型高反射膜系由于不均匀性对光束偏振态的影响;计算了1.06μm主激光和0.5893μm的信标光产生的相位畸变。通过修正设计得到符号相同的... 本文讨论了在特定镀膜室的几何尺寸约束下,一定直径(0.8m)的主反射镜的膜层厚度分布。给出了金属增强型高反射膜系由于不均匀性对光束偏振态的影响;计算了1.06μm主激光和0.5893μm的信标光产生的相位畸变。通过修正设计得到符号相同的相位变化,从而使信标光达到预期目的。 展开更多
关键词 均匀性 偏振 反射镜 强激光
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中红外薄膜的离子辅助淀积 被引量：5
7
作者 熊胜明 张云洞 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1993年第6期42-47,共6页
本文研究了用离子束辅助淀积的中红外ZnS,ZnSe,YbF_3,BaF_2,BaF_2十CaF_2(6:4)膜在3.8μm波长处光学特性和其它性能,用透射电镜和光电子能谱仪研究了这些单层膜微结构和化学计量比。实验发现离子束辅助淀积膜层填充密度增加,附着力增强... 本文研究了用离子束辅助淀积的中红外ZnS,ZnSe,YbF_3,BaF_2,BaF_2十CaF_2(6:4)膜在3.8μm波长处光学特性和其它性能,用透射电镜和光电子能谱仪研究了这些单层膜微结构和化学计量比。实验发现离子束辅助淀积膜层填充密度增加,附着力增强,机械强度和环境稳定性得到明显改善。用离子束辅助淀积的中红外反射膜在3.8μm波长反射率大于0.994。 展开更多
关键词 离子辅助淀积 红外薄膜 光学特性
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椭球反射镜膜厚均匀性 被引量：1
8
作者 熊胜明 张云洞 郭永洪 《光电工程》 EI CAS CSCD 1993年第4期41-45,共5页
本文分析了椭球反射镜膜层厚度均匀性对反射率的影响,从理论上得到膜厚计算公式。根据计算的膜厚分布设计了遮蔽板,获得较好的反射特性。
关键词 椭球面镜 反射膜 厚度 均匀性
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中红外DF激光系统宽光谱反射膜的设计与实验测量 被引量：1
9
作者 熊胜明 张云洞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第2期297-302,共6页
报道了目前所做的确定DF激光系统各种宽光谱反射膜性能特性的工作。利用制备的介质金属增强反射镜,由实验获得了DF激光波长为3.8μm时反射率大于99.4％、可见光区和8～14μm红外区平均反射率高于95％的结果。为说明这些反射镜性能,进行... 报道了目前所做的确定DF激光系统各种宽光谱反射膜性能特性的工作。利用制备的介质金属增强反射镜,由实验获得了DF激光波长为3.8μm时反射率大于99.4％、可见光区和8～14μm红外区平均反射率高于95％的结果。为说明这些反射镜性能,进行了反射率测量和环境试验。 展开更多
关键词 镀膜 反射镜 氟化氘 激光器
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高能激光光学系统偏振分析 被引量：1
10
作者 熊胜明 张云洞 《光电工程》 CAS CSCD 1992年第1期14-20,共7页
本文详细地论述了反射式激光光学系统偏振态变化的起因。并得到几个重要结论。
关键词 激光 光学系统 反射光学系统 偏振
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高性能DF化学激光三色分束器 被引量：1
11
作者 熊胜明 张云洞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1994年第1期153-159,共7页
本文表述ＤＦ高能激光应用光学系统中作为共孔径分光元件而研制的三色分束器的光学性能，讨论了满足分光性能光学元件基片，镀膜材料选取，多层膜设计与制备技术，元件性能测试结果。得到在ＺｎＳｅ基片背面未镀膜情况下三色分光膜性能... 本文表述ＤＦ高能激光应用光学系统中作为共孔径分光元件而研制的三色分束器的光学性能，讨论了满足分光性能光学元件基片，镀膜材料选取，多层膜设计与制备技术，元件性能测试结果。得到在ＺｎＳｅ基片背面未镀膜情况下三色分光膜性能：３．８μｍ波长带反射率大于９９．６％，８～１４μｍ红外波段透过率大于７５％，可见光区０．６４～０．９２μｍ透过率大于５０％，膜层通过了稳定性检验。 展开更多
关键词 DF激光 分色膜 三色分束器
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光束定向器中膜厚不均匀性对远场性能的影响
12
作者 熊胜明 张云洞 王永忠 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1995年第4期592-596,共5页
讨论ＤＦ（氟化）强激光系统光束定向器中的光学薄膜，用偏振光线追迹分析定向器出瞳主激光、信标光偏振态变化，计算膜厚不均匀性对远场性能的影响。
关键词 光束定向器 膜厚不均匀性 远场性能 光学薄膜 氟化氘 强激光 反射镜膜系 偏振分析
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强激光共孔径元件色散补偿研究
13
作者 熊胜明 张云洞 郝德忠 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1995年第1期121-126,共6页
共孔径元件是强激光发射光学系统极为重要的光学部件。本文研究了隐埋光栅型共孔径分光元件产生色散的机理，提出补偿色散的方法，并给出色散补偿设计实例。
关键词 共孔径元件 色散补偿 强激光
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连续波DF高功率激光引起的光学元件热畸变和损伤
14
作者 熊胜明 张云洞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1996年第3期367-372,共6页
分析了四分之一波长膜堆和金属介质增强激光反射膜的吸收，计算和测量了连续波高功率激光辐照下光学元件的热变形．对理论计算和实测结果进行了比较。
关键词 热畸变 激光损伤 多层膜 DF激光 光学元件
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LF—11^#激光器升级倍频系统多层膜A：减反射膜
15
作者 熊胜明 张云洞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1995年第2期269-275,共7页
固体激光器装置升级扩展对薄膜研制提出了严重挑战。相互矛盾的各种技术指标必须匹配。就损耗、激光损伤阈值、光学技术指标和长期稳定性来讲，淀积工艺和镀膜材料的选取是至关重要的。特别地，ＬＦ一１１￣＃固体激光器升级对光学薄膜... 固体激光器装置升级扩展对薄膜研制提出了严重挑战。相互矛盾的各种技术指标必须匹配。就损耗、激光损伤阈值、光学技术指标和长期稳定性来讲，淀积工艺和镀膜材料的选取是至关重要的。特别地，ＬＦ一１１￣＃固体激光器升级对光学薄膜提出了许多新的性能要求。我们研制了ＬＦ一１１￣＃激光器升级所用各种薄膜元件。现分两部分讨论各种膜系研制情况。第一部分就是这篇论文所涉及的ＢＫ７玻璃，熔石英玻璃材料上的单波长，倍频双波长，二倍频、三倍频三波长减反射膜的研制。给出了膜系设计，淀积试验，光谱性能测试和激光损伤实验结果。 展开更多
关键词 减反射膜 LF-11^#激光器 升级倍频 多层膜
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大光斑连续波DF激光对反射镜的损伤
16
作者 熊胜明 张云洞 《量子电子学》 CSCD 1994年第2期77-77,共1页
大光斑连续波ＤＦ激光对反射镜的损伤熊胜明，张云洞（中国科学院光电技术研究所，成都６１０２０９）连续波激光对光学元件的损伤是高功率化学激光运行所遇到的主要问题。虽然反射镜损伤现象与脉冲激光极其相似，但它们损伤机理是完全... 大光斑连续波ＤＦ激光对反射镜的损伤熊胜明，张云洞（中国科学院光电技术研究所，成都６１０２０９）连续波激光对光学元件的损伤是高功率化学激光运行所遇到的主要问题。虽然反射镜损伤现象与脉冲激光极其相似，但它们损伤机理是完全不同的。本文中测试了几种镇有介质反... 展开更多
关键词 大光斑 连续波DF激光 反射镜 损伤
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红外连续激光反射镜热畸变的有限元分析 被引量：20
17
作者 齐文宗 黄伟 +2 位作者 张彬 蔡邦维 熊胜明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期953-956,共4页
　基于热传导方程和热弹方程,利用有限元分析方法,就光斑尺寸远大于或接近于基底材料热扩散长度的情况以及反射镜在固定或自由的边界条件下,分别计算了硅和石英两种基底材料多层膜红外连续激光反射镜的最大温升、最大形变及最大热应力,... 　基于热传导方程和热弹方程,利用有限元分析方法,就光斑尺寸远大于或接近于基底材料热扩散长度的情况以及反射镜在固定或自由的边界条件下,分别计算了硅和石英两种基底材料多层膜红外连续激光反射镜的最大温升、最大形变及最大热应力,并探讨了它们随光斑尺寸的变化规律。结果表明:在自由边界条件下,反射镜表面的最大轴向位移与光斑半径之间近似为线性关系;而在固定边界条件下,反射镜的最大热应力与光斑半径之间近似为线性关系;反射镜的夹持状态对最大轴向位移及最大热应力的影响随着光斑尺寸的增加而增强;在相同的入射激光光源及相同的边界条件下,硅镜具有较低的温升值或较高的抗热损伤阈值,而石英镜具有较好的抗热畸变特性。 展开更多
关键词 红外连续激光反射镜 热畸变 有限元分析 热传导方程 热弹方程
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用光腔衰荡技术测量镜片的反射率 被引量：10
18
作者 高丽峰 熊胜明 +2 位作者 李斌成 张云洞 蔡邦维 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期335-338,共4页
根据光腔衰荡光谱技术原理,建立了测量镜片反射率的实验装置。利用该装置测定了一对反射率相等的高反射腔镜,反射率测试结果为(99.925±0.001)%;以22.5°将直腔变为折叠腔,测得的反射率为(99.992±0.003)%。重复测定反射镜... 根据光腔衰荡光谱技术原理,建立了测量镜片反射率的实验装置。利用该装置测定了一对反射率相等的高反射腔镜,反射率测试结果为(99.925±0.001)%;以22.5°将直腔变为折叠腔,测得的反射率为(99.992±0.003)%。重复测定反射镜样品的反射率,精度达到10-5。该测量装置可用于超低损耗薄膜高反射镜反射率的精确测量。轻微移动探测器位置,对腔镜的测试结果影响不大。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱技术(CRDS) 反射率 衰荡时间 直腔 折叠腔
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大口径镀膜机膜厚均匀性分析 被引量：14
19
作者 潘栋梁 熊胜明 +1 位作者 张云洞 王任华 《应用光学》 CAS CSCD 2001年第1期33-38,共6页
以 2 .2 m镀膜机为例分析大口径镀膜机膜厚分布情况 ,考虑旋转球面的情况 ,建立平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型 ,给出计算结果。
关键词 薄膜 均匀性 计算 镀膜机
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离子束溅射沉积Ta_2O_5光学薄膜的实验研究 被引量：10
20
作者 刘洪祥 熊胜明 +1 位作者 李凌辉 张云洞 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期41-43,55,共4页
根据择优溅射的理论,在不同的通氧方式下,详细分析了离子辅助对离子束溅射沉积Ta2O5薄膜光学特性的影响。结果表明,在薄膜生长的过程中,由于氩离子的轰击作用,薄膜中的氧原子被优先溅射出来,造成了薄膜化学剂量比失调、吸收增加。但是,... 根据择优溅射的理论,在不同的通氧方式下,详细分析了离子辅助对离子束溅射沉积Ta2O5薄膜光学特性的影响。结果表明,在薄膜生长的过程中,由于氩离子的轰击作用,薄膜中的氧原子被优先溅射出来,造成了薄膜化学剂量比失调、吸收增加。但是,通过优化辅助离子源中氧气的比例,可获得合理化学剂量比、低损耗的Ta2O5薄膜。 展开更多
关键词 离子束溅射 光学薄膜 离子辅助沉积 光学特性
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