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基于FPGA的BiSS-C协议编码器接口技术研究及解码实现
被引量：
14
1
作者
王希远
成荣
+1 位作者
朱煜
孙贤
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期386-391,共6页
为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证。首先,研究了BiSS-C协议内容,就其组网方式和帧格式做了详细的介绍。然后,针对绝对式编码...
为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证。首先,研究了BiSS-C协议内容,就其组网方式和帧格式做了详细的介绍。然后,针对绝对式编码器解码要求,利用FPGA拓展性好、灵活性高等特点,通过状态机,设计了绝对式编码器的数据传输电路,实现了BiSS-C协议的译码功能,并采用CLE-AA容栅尺进行了应用验证。最后,进行了与增量式光栅尺的对比校准实验。实验表明,容栅尺绝对式编码器可实现10kHz的传输速率,运动误差在±5μm之内,其可靠性与准确性满足超精密运动控制系统的粗定位要求。
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关键词
BiSS-C
FPGA
容栅尺
编码器
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职称材料
基于有限元方法的光刻机工件台线管组件结构优化
被引量：
1
2
作者
成荣
王希远
+1 位作者
朱煜
杨开明
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期798-802,共5页
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以...
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以工件台系统的子系统掩模台系统的线管组件为例,以减小线管组件扰动力波动、提高掩模台运动性能为目的,建立了线管组件有限元模型,对线管组件的主要结构参数进行了优化,提出了线管组件优化的一些准则,并进行了实验验证。实验表明:该有限元模型与实验相比的一阶频率误差在10%以内,验证了模型的准确性。仿真实验结果表明:优化后的线管组件L向扰动力波动幅值减小80%。
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关键词
工件台
线管组件
扰动力
结构优化
原文传递
题名
基于FPGA的BiSS-C协议编码器接口技术研究及解码实现
被引量：
14
1
作者
王希远
成荣
朱煜
孙贤
机构
清华大学机械工程系
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期386-391,共6页
基金
国家自然科学基金(No.51475261)~~
文摘
为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证。首先,研究了BiSS-C协议内容,就其组网方式和帧格式做了详细的介绍。然后,针对绝对式编码器解码要求,利用FPGA拓展性好、灵活性高等特点,通过状态机,设计了绝对式编码器的数据传输电路,实现了BiSS-C协议的译码功能,并采用CLE-AA容栅尺进行了应用验证。最后,进行了与增量式光栅尺的对比校准实验。实验表明,容栅尺绝对式编码器可实现10kHz的传输速率,运动误差在±5μm之内,其可靠性与准确性满足超精密运动控制系统的粗定位要求。
关键词
BiSS-C
FPGA
容栅尺
编码器
Keywords
BiSS-C
FPGA
grating-shape capacitive ruler
encoder
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于有限元方法的光刻机工件台线管组件结构优化
被引量：
1
2
作者
成荣
王希远
朱煜
杨开明
机构
清华大学机械工程系
出处
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期798-802,共5页
基金
国家科技重大专项子项(2012ZX02702006)
文摘
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以工件台系统的子系统掩模台系统的线管组件为例,以减小线管组件扰动力波动、提高掩模台运动性能为目的,建立了线管组件有限元模型,对线管组件的主要结构参数进行了优化,提出了线管组件优化的一些准则,并进行了实验验证。实验表明:该有限元模型与实验相比的一阶频率误差在10%以内,验证了模型的准确性。仿真实验结果表明:优化后的线管组件L向扰动力波动幅值减小80%。
关键词
工件台
线管组件
扰动力
结构优化
Keywords
stage system
cable pipe assembly
disturbance
structural optimization
分类号
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于FPGA的BiSS-C协议编码器接口技术研究及解码实现
王希远
成荣
朱煜
孙贤
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016
14
下载PDF
职称材料
2
基于有限元方法的光刻机工件台线管组件结构优化
成荣
王希远
朱煜
杨开明
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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