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用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器 被引量：12
1
作者 王晓浩 张亮 唐飞 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期208-212,共5页
介绍了一种应用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器。法拉第筒采用电阻率为1.678×10-8Ω·m的紫铜材料。屏蔽壳尺寸为40×43×37mm3,壁厚为3mm。气路设计为T型,进气口直径Φ6,出气口为双排8×Φ1.6均布小孔。铜敏感... 介绍了一种应用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器。法拉第筒采用电阻率为1.678×10-8Ω·m的紫铜材料。屏蔽壳尺寸为40×43×37mm3,壁厚为3mm。气路设计为T型,进气口直径Φ6,出气口为双排8×Φ1.6均布小孔。铜敏感极经过化学处理,以提高表面质量与抗氧化能力。与KEITHLEY237电流表级联,测得系统的噪声水平在50fA以下。实验测得FAIMS输出信号为480pA,远远大于系统噪声。该法拉第筒满足了现有FAIMS系统对离子检测器的要求。 展开更多
关键词 FAIMS 法拉第筒 离子检测器 微弱电流 屏蔽
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基于拉格朗日乘数法的轮对外形轮廓拟合方法 被引量：5
2
作者 王晓浩 邢宗义 +2 位作者 苏钊颐 李兆新 高旭东 《城市轨道交通研究》 北大核心 2015年第7期35-39,152,共6页
为实现轮对外形轮廓线的准确提取,提出了一种基于拉格朗日乘数法的轮对外形轮廓线拟合方法。首先将2D激光位移传感器获得的数据点进行区段划分,然后分别确定每个区段数据点的最小二乘拟合方程,最后根据拟合方程建立最小二乘回归模型,以... 为实现轮对外形轮廓线的准确提取,提出了一种基于拉格朗日乘数法的轮对外形轮廓线拟合方法。首先将2D激光位移传感器获得的数据点进行区段划分,然后分别确定每个区段数据点的最小二乘拟合方程,最后根据拟合方程建立最小二乘回归模型,以分段点存在三阶连续导数作为约束条件构建拉格朗日函数,采用拉格朗日乘数法求解获得拟合方程参数。采用现场实测数据进行了轮对外形轮廓线拟合,结果表明拟合的轮廓线在分段点处光滑连续,与实际数据点的最大偏移幅度小于0.1%,满足了外形轮廓线拟合精度要求,可用于轮对磨耗及尺寸参数的精确计算。 展开更多
关键词 轨道交通车辆 轮对外形轮廓 分段曲线拟合 拉格朗日乘数法
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一种新型微型空速计的研制 被引量：2
3
作者 王晓浩 周兆英 +1 位作者 王广龙 游刃 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第11期13-15,共3页
微型飞行器是应用MEMS技术的一种智能微系统 ,针对微型飞行器的要求 ,利用微型螺旋桨带动编码盘 ,采用单片机解码 ,研制了一种微型空速计 。
关键词 空速计 编码器 单片机 MEMS MMCU 微型飞行器
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微流量测量与控制系统 被引量：3
4
作者 王晓浩 周兆英 +1 位作者 叶雄英 张文栋 《测试技术学报》 1998年第3期98-103,共6页
本文在一些成功的微流体器件的设计加工基础上,提出了一种计算机控制的微流量测量与控制系统,对各个微机械器件做了介绍,并分析了系统的可行性。
关键词 微流量 微流量传感器 测量 控制系统
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聚酰亚胺微型阀及其加工工艺 被引量：1
5
作者 王晓浩 周兆英 +1 位作者 张文栋 叶雄英 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期136-139,共4页
在回顾微型阔发展并分析单晶硅微型阀和多晶硅微型阀加工工艺基础上，提出一种聚酰亚胺微型被动阔，分析聚酰亚胺的材料性能，设计微型阀结构和加工工艺流程，成功地制造出聚酰亚胺微型阀，测试该阔性能，讨论加工过程中的一些关键工艺。
关键词 微型阀 聚酰亚胺 微型泵 微型机械 加工工艺
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微型电磁导引头应用RF-MEMS的初步分析
6
作者 王晓浩 李强 +1 位作者 唐飞 魏强 《飞航导弹》 北大核心 2006年第3期16-19,共4页
系统分析了反辐射武器和微型飞行器特点,提出了利用微型飞行器作为反辐射武器的概念,并在细致分析电磁导引头操作原理和微型飞行器特点的基础上选择了适用的探测方案。还介绍了射频微机电系统(RF-MEMS)技术的特点,并初步分析了利用RF-M... 系统分析了反辐射武器和微型飞行器特点,提出了利用微型飞行器作为反辐射武器的概念,并在细致分析电磁导引头操作原理和微型飞行器特点的基础上选择了适用的探测方案。还介绍了射频微机电系统(RF-MEMS)技术的特点,并初步分析了利用RF-MEMS器件部分替代目前微型导引头中的部件的可能性。 展开更多
关键词 电磁导引头 RF-MEMS 反辐射武器 微型飞行器
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硅微加速度计操作原理
7
作者 王晓浩 周兆英 《测试技术学报》 1998年第2期324-329,共6页
本文在大量研究的基础上，说明了可能作为加速度计操作原理的几种方案，介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
关键词 微机械 加速度计 压电式 压阻式 电容式 热电式
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差动电容微加速度计
8
作者 王晓浩 周兆英 《测试技术学报》 1998年第2期286-290,共5页
本文分析了国外加速度计研究的概况和发展趋势，介绍了几种差动电容式加速度计的结构，提出了一种新的三维差动电容加速度计结构２，并分析了其力学模型。
关键词 微机械 加速度计 差动电容式
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新型光敏聚酰亚胺微型阀
9
作者 王晓浩 周兆英 +4 位作者 张文栋 吕苗 崔占东 赵彦军 赵彤 《半导体情报》 1998年第3期43-47,共5页
微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了一种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。
关键词 微型阀 光敏聚酰亚胺 微机电系统
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一种用于高场非对称波形离子迁移谱系统的新型敞开式化学离子源 被引量：13
10
作者 刘坤 唐飞 +2 位作者 王晓浩 魏学业 熊继军 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1662-1670,共9页
根据高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)系统的要求,本文提出了一种新型敞开式直流电晕放电化学离子源.该离子源主要由内线电极、外筒电极和牵引电极组成,内、外电极半径分别是0.08、2mm.筒壁电极上开有对称的4个槽,用于通入样品和牵引离... 根据高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)系统的要求,本文提出了一种新型敞开式直流电晕放电化学离子源.该离子源主要由内线电极、外筒电极和牵引电极组成,内、外电极半径分别是0.08、2mm.筒壁电极上开有对称的4个槽,用于通入样品和牵引离子.质谱实验结果表明,该离子源能够在敞开环境下很好地离子化丙酮、乙醇、苯胺、N,N-二甲基甲酰胺、甲基磷酸二甲酯(DMMP)、乙酸乙酯、甲酸、乙酸、苯酚等正、负电性物质.静电计测试实验结果说明该离子源能够稳定地产生离子电流.通过分析不同时刻的谱图发现,在不同时间点上产生的主要离子相同,具有很好的稳定性.利用感应耦合等离子体(ICP)工艺在硅片上加工了该离子源,从而验证了该结构可以由微机电系统(MEMS)加工技术实现.该离子源具有体积小、结构简单、无辐射、工作稳定等特点,不仅可以满足FAIMS系统的要求,还可用于敞开式质谱、微型质谱仪、离子迁移谱(IMS)等仪器. 展开更多
关键词 质谱 敞开式 FAIMS 电晕放电 离子源 MEMS
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微流量系统的基础技术研究 被引量：21
11
作者 周兆英 叶雄英 +6 位作者 李勇 杨岳 熊沈蜀 王晓浩 张文栋 才海男 龚秋莲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期991-993,共3页
介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为... 介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。 展开更多
关键词 微型机电系统 微流量系统 微型泵 尺寸效应
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微型飞行器的研究现状及其关键技术 被引量：27
12
作者 吴怀宇 周兆英 +3 位作者 熊沈蜀 王晓浩 叶雄英 李勇 《武汉科技大学学报》 CAS 2000年第2期170-174,共5页
介绍微型飞行器的概念及其功能特点 ,重点综述了目前国内外微型飞行器的研究现状 ,归纳出微型飞行器的六大关键技术和目前存在的主要问题 。
关键词 微型飞行器 自主飞行 微型器件 侦察机 发展趋势
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微型机电系统 被引量：35
13
作者 周兆英 王晓浩 +3 位作者 叶雄英 王伯雄 李莎 刘卫丹 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期163-168,7,共6页
分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ,是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 。
关键词 微型机电系统 微传感器 微执行器 微米/纳米技术
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一种微流控检测芯片的设计与工艺研究 被引量：11
14
作者 杨波 唐飞 +2 位作者 王晓浩 杨卓 熊继军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1464-1468,共5页
设计并制作了一种PMMA材料的微流控检测芯片,利用外界气体驱动液体,用于实验样品的分析和检测。芯片的整体尺寸为86 mm×60 mm×4.5 mm,利用精密加工的方法进行加工。采用一种简单实用的溶胶-凝胶改性方法对微通道管路进行亲水... 设计并制作了一种PMMA材料的微流控检测芯片,利用外界气体驱动液体,用于实验样品的分析和检测。芯片的整体尺寸为86 mm×60 mm×4.5 mm,利用精密加工的方法进行加工。采用一种简单实用的溶胶-凝胶改性方法对微通道管路进行亲水处理,实验证明亲水性有明显提高。并分析了亲水性提高的机理。提出一种新的溶剂键合方法,在室温下对芯片进行键合。溶剂为二氯乙烷和无水乙醇按1:1混合的混合液。分析了不同溶液配比、键合时间和键合压力对键合效果的影响。同时,芯片上集成了多个阀,对阀膜材料的选择、粘接工艺进行了研究。 展开更多
关键词 微流控 检测芯片 亲水性 键合 阀
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基于构架点头角速度的轨道垂向长波不平顺在线检测 被引量：8
15
作者 邢宗义 陈岳剑 +2 位作者 王晓浩 秦勇 贾利民 《中国铁道科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期32-39,共8页
在分析比较基于轴箱垂向振动加速度和构架点头角速度的轨道垂向不平顺检测原理的基础上,提出基于构架点头角速度的轨道垂向长波不平顺在线检测方法。在运营车辆轴箱正上方的构架处安装陀螺仪,用于等空间采样构架点头角速度的时域信号;... 在分析比较基于轴箱垂向振动加速度和构架点头角速度的轨道垂向不平顺检测原理的基础上,提出基于构架点头角速度的轨道垂向长波不平顺在线检测方法。在运营车辆轴箱正上方的构架处安装陀螺仪,用于等空间采样构架点头角速度的时域信号;对构架点头角速度的时域信号以及由速度传感器测得的车速时域信号进行二次积分、消除拟合多项式的趋势项、带通滤波及递归最小二乘自适应补偿滤波等数据处理,从而得到轨道垂向长波不平顺的估计值;建立车辆—轨道垂向耦合动力学模型,以实测轨道垂向不平顺激励下的构架角速度模拟陀螺仪采集的时域信号,对给出的在线检测方法进行验证。结果表明:与实测结果相比,标准差小于0.4mm,归一化均方误差小于-8,说明给出的在线检测方法能精确、有效地检测轨道垂向长波不平顺。 展开更多
关键词 在线检测 构架点头角速度 轨道不平顺 垂向不平顺 长波不平顺 信号处理
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一种微型FAIMS传感器芯片的研制 被引量：10
16
作者 李华 王晓浩 +4 位作者 唐飞 张亮 杨吉 吝涛 丁力 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1355-1363,共9页
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子... 基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能. 展开更多
关键词 高场非对称波形离子迁移谱 微机电系统 高场非对称方波 微法拉第杯
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基于MS5534B的气压高度计系统的设计 被引量：23
17
作者 王志刚 唐飞 +1 位作者 王晓浩 熊继军 《微纳电子技术》 CAS 2008年第6期351-355,共5页
采用Intersema公司基于MEMS的数字压力传感器MS5534B,利用海拔高度与气压和温度的关系,设计并制作了一个微型气压高度计。利用MSP430F449的I/O口模拟同步串行外设接口(SPI),实现了MSP430F449从数字压力测量模块MS5534B读取温度和气压数... 采用Intersema公司基于MEMS的数字压力传感器MS5534B,利用海拔高度与气压和温度的关系,设计并制作了一个微型气压高度计。利用MSP430F449的I/O口模拟同步串行外设接口(SPI),实现了MSP430F449从数字压力测量模块MS5534B读取温度和气压数据的功能,经过相关的计算处理得到实际高度值,在液晶显示屏上实时显示温度和高度,并通过RS232通信接口把数据发回至上位机。设计的气压高度计样机具有质量小、功耗低、精度高等优点,经过实验测定,在标准大气压环境中其相对高度测量的平均标准偏差为0.2m,线性度为0.9999。 展开更多
关键词 高度计 微机电系统 MS5534B 串行外设接口 温度补偿
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大气压直流辉光放电装置的实验与分析 被引量：8
18
作者 刘坤 廖峥 +3 位作者 侯世英 唐飞 王晓浩 敬刚 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期71-76,共6页
为了能减小放电装置的体积,以应用于便携式仪器,设计了线-筒型大气压直流辉光放电装置,放电间隙仅1.92mm。它主要由内线电极、外筒电极组成,线电极直径为0.16mm,筒电极直径为4mm。观察并说明了从电晕放电向辉光放电过渡的过程。通过放... 为了能减小放电装置的体积,以应用于便携式仪器,设计了线-筒型大气压直流辉光放电装置,放电间隙仅1.92mm。它主要由内线电极、外筒电极组成,线电极直径为0.16mm,筒电极直径为4mm。观察并说明了从电晕放电向辉光放电过渡的过程。通过放电波形和图像验证了其处于辉光放电状态。推导了利用氮气第二正带系计算振动温度和转动温度的算法,并利用光谱仪(Acton Spectrapro 2500i)采集所产生的等离子体的发射光谱,计算得到该等离子体的振动温度在2 360K左右,转动温度在830K左右。将该装置作为离子源应用于敞开式质谱中,实验结果表明,该直流大气压辉光放电形成的等离子体可以很好地离子化甲酸、乙酸、苯酚等物质。 展开更多
关键词 大气压辉光放电 发射光谱 振动温度 转动温度 离子源
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水下滑翔机李雅普诺夫稳定性分析 被引量：7
19
作者 赵宝强 王晓浩 +1 位作者 姚宝恒 连琏 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期83-87,共5页
水下滑翔机作为一种新型的水下机器人利用了水平固定翼将净重力转换为前进驱动力,从而降低了水下机器人的功耗,在海洋科学研究、环境监测、资源探测和军事侦察等方面都具有广阔的应用前景。为了得到实际水下滑翔机稳定性与设计参数和控... 水下滑翔机作为一种新型的水下机器人利用了水平固定翼将净重力转换为前进驱动力,从而降低了水下机器人的功耗,在海洋科学研究、环境监测、资源探测和军事侦察等方面都具有广阔的应用前景。为了得到实际水下滑翔机稳定性与设计参数和控制参数之间的关系,将已建立的水下滑翔机一般数学模型应用于具体的实际水下滑翔机上。在此基础上将模型线性化,结合李雅普诺夫稳定性第一定理和第二定理,分析出水下滑翔机定常运动的动态稳定性随设计参数(初稳性高)和控制参数(姿态调节控制量)变化的规律。为水下滑翔机器人的设计和控制提供理论依据。 展开更多
关键词 水下滑翔机 运动稳定性 李雅普诺夫定理 运动控制 动力学模型 初稳性高 直线定常运动 螺旋定常运
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因子分析法在质谱成像数据分析中的应用 被引量：8
20
作者 陈一 唐飞 +4 位作者 李铁刚 贺玖明 再帕尔.阿不力孜 刘力涛 王晓浩 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1099-1103,共5页
对因子分析法在质谱成像数据分析中的应用进行了研究。本方法分析的质谱成像数据来源于空气动力辅助离子源质谱成像技术,所用样品为含有3种不同颜料(红色、蓝色、黑色)的笔迹样品。对该样品的成像数据进行因子分析后,将成像数据分为了... 对因子分析法在质谱成像数据分析中的应用进行了研究。本方法分析的质谱成像数据来源于空气动力辅助离子源质谱成像技术,所用样品为含有3种不同颜料(红色、蓝色、黑色)的笔迹样品。对该样品的成像数据进行因子分析后,将成像数据分为了背景、黑色、蓝色和红色因子。分析结果显示,m/z 443.2,478.4,322.2(344.2)分别在红色、蓝色、黑色因子中的贡献值远大于其它质荷比,因此是3种颜料的特征质荷比。此结果与实际情况相符,证明使用因子分析方法对质谱成像数据进行分析和特征提取是可行的。对因子分析与主成分分析的成像数据处理结果进行了比较,结果显示,因子分析可以更简单和定量地对特征质荷比进行取舍,在生物标志物提取、疾病诊断、药理分析等方面有较大的应用潜力。 展开更多
关键词 因子分析 质谱成像 空气动力辅助离子源 多元统计
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