基于图像处理的显微镜自动调焦方法研究 被引量：74

1

作者 白立芬 徐毓娴 +1 位作者 于水 李庆祥 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期612-614,共3页

自动调焦技术是提高显微镜测量精度的重要手段，本文介绍了采用图像处理法实现显微镜自动调焦的方法。对图像处理法实现显微镜自动调焦中的两个关键技术进行了详细的讨论：其一是图像清晰度评价函数的选取，文中采用绝对方差函数和修正... 自动调焦技术是提高显微镜测量精度的重要手段，本文介绍了采用图像处理法实现显微镜自动调焦的方法。对图像处理法实现显微镜自动调焦中的两个关键技术进行了详细的讨论：其一是图像清晰度评价函数的选取，文中采用绝对方差函数和修正平方梯度函数分别作为粗精调焦评价函数；另外还针对提高图像信息质量的方法进行了探讨，采用线性拟合与同态滤波方法进行图像处理，为离焦判断提供高质量的图像信号。实验表明，该方法调焦精度达±０．３μｍ 。 展开更多

关键词 显微镜 自动调焦 图像处理

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微细图形尺寸测量与图像处理实验系统的开发 被引量：2

2

作者 白立芬 于水 +1 位作者 李庆祥 李罗生 《实验技术与管理》 CAS 2001年第1期7-10,共4页

为适应教学改革的需要，加大实验课程在专业课教学中的比重，开发完成了微细图形与图像处理实验系统及配套的电子教案。系统采用显微镜一CCD—图像采集一计算机的方案，用Visual C++开发完成了包括图形尽寸测量与图像处理两个主要功能... 为适应教学改革的需要，加大实验课程在专业课教学中的比重，开发完成了微细图形与图像处理实验系统及配套的电子教案。系统采用显微镜一CCD—图像采集一计算机的方案，用Visual C++开发完成了包括图形尽寸测量与图像处理两个主要功能的实验软件，其中特别设计的Matlab接口使学生不必掌握C++即可用Matlat方便地进行实验。系统界面友好、交互性强，有利于培养学生实验动手能力和创造性。 展开更多

关键词 图像处理 实验软件 图形尺寸测量 电子教案

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微细台阶测量技术的发展现状 被引量：5

3

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 黄成伟 《电子工业专用设备》 2001年第2期1-6,共6页

微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量... 微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点 ,并得出了结论。 展开更多

关键词 微细台阶 纳米技术 接触式测量 非接触式测量 技术发展 集成电路 微机械结构

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采用柔性铰链实现多光盘的定位与夹紧

4

作者 白立芬 訾艳阳 +1 位作者 赵大鹏 李庆祥 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期181-183,共3页

为适应光信息存储高密度、高容量、高速度和集成化的要求 ,提出一种新的单轴多盘光存储集成化方案 ,并设计了一种与之相适应的光盘定位与夹紧机构。该机构采用柔性铰链作为弹性元件 ,实现光盘的可靠定位与夹紧 ,具有结构紧凑、定位精度... 为适应光信息存储高密度、高容量、高速度和集成化的要求 ,提出一种新的单轴多盘光存储集成化方案 ,并设计了一种与之相适应的光盘定位与夹紧机构。该机构采用柔性铰链作为弹性元件 ,实现光盘的可靠定位与夹紧 ,具有结构紧凑、定位精度高、无间隙、无磨损、可靠性高等优点。理论分析和计算表明 ,能够满足光盘定位与夹紧的要求。采用该结构制作完成的原理样机 ,可在 5 0 0 0 r/min的转速下平稳运转 ,光盘定位可靠、运行平稳 ,基本满足光学头信息读写的要求。 展开更多

关键词 光盘 柔性铰链 定位夹紧机构 光存储 集成

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微型光机电系统及其制作 被引量：1

5

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《电子工业专用设备》 2000年第3期1-7,12,共8页

微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关... 微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关键技术 ,在此基础上概要介绍了几种典型的MOEMS系统。最后对其的发展作了展望。 展开更多

关键词 微型光机电系统 制作 集成电路工艺

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精密工作台伺服控制系统研究

6

作者 白立芬 于水 +1 位作者 李庆祥 李云平 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第z1期-,共3页

随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高，对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制，研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法，控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈，较好地解决... 随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高，对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制，研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法，控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈，较好地解决了精密工作台低速爬行、死区和机械谐振等问题，满足了系统对运动快速性、低速平衡性和高精度的要求，最高调速比可达1294，工作台重复精度达±1μm。 展开更多

关键词 精密工作台 PWM 低速爬行 死区

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基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

7

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期37-38,46,共3页

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点... 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm . 展开更多

关键词 台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法

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十字片簧弹性支承机构的设计

8

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 于水 薛实福 《机械设计》 CSCD 北大核心 2001年第3期18-19,30,共3页

首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采... 首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。 展开更多

关键词 台阶测量仪 弹性支承 有限元 集成电路 十字片簧

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用VC++6.0和MatLAB语言混编开发图像处理实验软件 被引量：8

9

作者 李罗生 白立芬 +1 位作者 李庆祥 黄成伟 《实验技术与管理》 CAS 2001年第4期50-53,共4页

Visual C++与其它高级语言相比,有很高的编译效率,而MatLAB语言提供很多数值运算函数,可以方便地进行数值计算.本文以对图像进行维纳滤波为例子,介绍综合两种语言的优点、将两种语言混编开发图像处理实验软件的方法,结果表明C语言与Mat... Visual C++与其它高级语言相比,有很高的编译效率,而MatLAB语言提供很多数值运算函数,可以方便地进行数值计算.本文以对图像进行维纳滤波为例子,介绍综合两种语言的优点、将两种语言混编开发图像处理实验软件的方法,结果表明C语言与MatLAB语言混编不仅大大降低代码的长度和复杂性,对学生编程能力要求不高;而且与MatLAB相比运行速度明显提高,从而大大节约实验等待时间,非常适合教学实验软件的开发. 展开更多

关键词 混编 图像处理 维纳滤波 软件开发 MatLAB VISUALC++

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一种Windows环境下使用串口控制xy工作台的方法 被引量：3

10

作者 黄成伟 蔡弋 +1 位作者 李庆祥 白立芬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z2期850-852,共3页

本文研究了一种微机控制xy向工作台的方法。该方法利用微机的一个串口,控制工作台xy两个方向的运动。硬件利用串口输出控制脉冲,软件控制通过使用Microsoft提供的API函数实现。整个系统非常简单,实现也很方便。

关键词 串 口 控制方法 XY工作台

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微型零件三维几何尺寸测量系统 被引量：2

11

作者 徐毓娴 李庆祥 +1 位作者 白立芬 于水 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期319-321,326,共4页

介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理，测量中的关键技术，对该系统进行了实测，实验结果表明：ｘ，ｙ重复测量精度为±０．００５μｍ，ｚ方向测量精度为５ｎｍ。

关键词 三维几何尺寸 微型零件 测量系统 测量精度 光学系统 显微物镜 纳米技术 摄象机 自动调焦系统 显微系统

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微硅隧道加速度变送器的优化设计 被引量：3

12

作者 龙志峰 韩荔 +1 位作者 李庆祥 白立芬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期193-1294,201,共3页

本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器 ,其参数经有限元分析优化 ,并采用了平头隧道电极 ,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性 ,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行 。

关键词 隧道 加速度计 变送器 表面工艺

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基于图像识别的动物纤维细度自动测量系统 被引量：2

13

作者 蔡弋 黄成伟 +2 位作者 李庆祥 白立芬 訾艳阳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第3期239-242,共4页

毛绒纤维细度是确定毛绒品质和使用价值最重要的参数之一。本文介绍了一种动物纤维细度自动测量系统 ,该系统以图像分析、图像识别为基础 ,使用计算机自动控制方法 ,能够快速、简便地完成与纤维细度相关的自动测量和统计等功能 ,实现测... 毛绒纤维细度是确定毛绒品质和使用价值最重要的参数之一。本文介绍了一种动物纤维细度自动测量系统 ,该系统以图像分析、图像识别为基础 ,使用计算机自动控制方法 ,能够快速、简便地完成与纤维细度相关的自动测量和统计等功能 ,实现测量统计数据及相关图像的方便快捷管理 ,测量结果客观、准确。本系统的研制成功 ,填补了国内空白 ,仪器测量的标准方差σ为± 0 .135 μm、相对误差 δ为0 .6 6 %、长期测量稳定性为 0 .112 μm ,该仪器已通过部级鉴定 ,其性能指标达到国际先进水平 ,对打破国外的技术壁垒有着重要意义。随着质量控制与评估对今天的纺织工业的重要性逐渐提高 。 展开更多

关键词 动物纤维 细度测量 图像识别 自动测量系统

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圆光栅测量齿轮传动系统回转精度 被引量：1

14

作者 徐毓娴 白立芬 +1 位作者 于水 李庆祥 《机械传动》 CSCD 北大核心 2000年第1期23-24,共2页

介绍了圆光栅测量齿轮传动系统精度的原理、系统组成和各部分作用 ,对速比为 15的减速系统进行了实测并对测量结果做了傅立叶分析 ,发现了 1次、5次和 15次谐波。结果说明最后一对齿轮对传动精度的影响最大。该装置可方便地和任何齿轮... 介绍了圆光栅测量齿轮传动系统精度的原理、系统组成和各部分作用 ,对速比为 15的减速系统进行了实测并对测量结果做了傅立叶分析 ,发现了 1次、5次和 15次谐波。结果说明最后一对齿轮对传动精度的影响最大。该装置可方便地和任何齿轮传动系统联用 ,进行实时自动测量。 展开更多

关键词 圆光栅 传动链 齿轮传动 回转精度 测量

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十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验 被引量：1

15

作者 于水 白立芬 +1 位作者 李庆祥 王云庆 《实验技术与管理》 CAS 2000年第1期19-21,共3页

台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活... 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。 展开更多

关键词 十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪

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微位移工作台静、动态特性实验系统 被引量：1

16

作者 于水 李庆祥 白立芬 《实验技术与管理》 CAS 2001年第4期22-25,共4页

采用柔性铰链精密工作台、电致伸缩微位移器驱动、微机控制方案,对精密微动工作台的静、动态特性进行测试,本文阐述了该系统的原理及其测试方法,给出了实验结果,提高了教学实验水平.

关键词 特性测试 微机控制 微位移工作台 柔性铰链 精密仪器

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齿轮传动系统精度测试 被引量：1

17

作者 徐毓娴 白立芬 +1 位作者 于水 李庆祥 《实验技术与管理》 CAS 1997年第1期28-31,共4页

齿轮传动系统精度测试是配合《精密机械设计》课程所开设的教学实验。精密齿轮传动系统广泛应用在各种仪器、仪表及精密机构中,随着现代工业生产及科学技术的迅速发展,对齿轮传动系统的性能提出越来越高的要求,其中,精密齿轮传动系统的... 齿轮传动系统精度测试是配合《精密机械设计》课程所开设的教学实验。精密齿轮传动系统广泛应用在各种仪器、仪表及精密机构中,随着现代工业生产及科学技术的迅速发展,对齿轮传动系统的性能提出越来越高的要求,其中,精密齿轮传动系统的精度是主要的性能指标。本实验的目的是使学生理解齿轮传动系统精度基本概念,掌握理论计算及精度测试方法,能从测量结果分析影响精度的因素,正确提出进一步提高精度的措施,在工业生产中具有实用价值。 展开更多

关键词 齿轮 齿轮传动系统 精度 测量

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可靠性设计中的计算机辅助建树 被引量：8

18

作者 陆润民 白立芬 《计算机辅助设计与制造》 1995年第5期39-41,共3页

故障树分析是可靠性分析、设计与管理的一个重要组成部分．其基础就是建造故障树。目前．建树方法有很多种，本文讨论计算机辅助建树的方法。在分层建树思想的指导下，采用以模块为核心的数据结构，借助链表记录模块间的逻辑关系，从而... 故障树分析是可靠性分析、设计与管理的一个重要组成部分．其基础就是建造故障树。目前．建树方法有很多种，本文讨论计算机辅助建树的方法。在分层建树思想的指导下，采用以模块为核心的数据结构，借助链表记录模块间的逻辑关系，从而实现整个故障树的建造与信息存储。该方法可实现故障树的建造、修改、显示和打印输出等功能．并在建树的同时完成逻辑关系的整理和记忆。还可实现模块的自动识别。 展开更多

关键词 计算机应用 可靠性设计 CAD 故障树分析法

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FTA中的建树软件

19

作者 陆润民 白立芬 《软件》 北大核心 1995年第3期8-13,共6页

故障树分析(Fault Tree Analysis)是可靠性分析、设计与管理的一个重要组成部分.其基础就是建造故障树。本文介绍一种计算机辅助建树的方法及其软件。该软件可实现故障树的建造、修改、显示和打印输出等功能,并在建树的同时完成逻辑关... 故障树分析(Fault Tree Analysis)是可靠性分析、设计与管理的一个重要组成部分.其基础就是建造故障树。本文介绍一种计算机辅助建树的方法及其软件。该软件可实现故障树的建造、修改、显示和打印输出等功能,并在建树的同时完成逻辑关系的整理和记忆. 展开更多

关键词 可靠性 故障树分析 建树软件

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电子隧道加速度计输出信号的分析与处理 被引量：7

20

作者 韩荔 龙志峰 +1 位作者 李庆祥 白立芬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第1期8-13,共6页

介绍了一种新型电子隧道加速度计的工作原理 ,详细分析了该加速度计输出信号的有效成分及噪声与干扰 ,设计了利用LabVIEW虚拟仪器开发平台的信号分析与处理程序。基于对电子隧道输出信号的分析 ,仿真了相应的模拟信号 ,并且通过对该模... 介绍了一种新型电子隧道加速度计的工作原理 ,详细分析了该加速度计输出信号的有效成分及噪声与干扰 ,设计了利用LabVIEW虚拟仪器开发平台的信号分析与处理程序。基于对电子隧道输出信号的分析 ,仿真了相应的模拟信号 ,并且通过对该模拟信号的软件处理 ,抑制了噪声 ,消除了工频干扰 ,将被噪声淹没的有效成分提取出来 ,从而证明了该方法的有效性。 展开更多

关键词 电子隧道加速度计 信号处理 虚拟仪器 信号分析

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