调制周期数对Mo/AZO成分调制多层膜透光、反光特性以及电性能的影响

1

作者 张邵奇 吴隽 +3 位作者 王凯丰 宋坤峰 卢志红 祝柏林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2024年第2期107-113,共7页

采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术,在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明,Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主;薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化,当薄膜厚度为1.67 nm时,M... 采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术,在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明,Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主;薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化,当薄膜厚度为1.67 nm时,Mo除单质态外,还存在部分+4和+5的离子价态,当薄膜厚度降至0.83 nm时,已无单质态Mo;调制周期数对成分调制多层膜的透光、反光特性以及电性能影响显著,当调制周期数为3时,Mo/AZO成分调制多层膜的综合性能达到最佳,电阻率、霍尔迁移率和载流子浓度分别为8.64×10^(-4)Ω·cm、8.78 cm^2)/(V·s)和8.23×10^(20)cm^(-3)。在保持金属层、半导体层总厚度不变的情况下,通过改变调制周期数可以增加薄膜的光学透过率并可在较宽范围内调节多层膜的综合性能,这为制备综合性能优异的金属/半导体型透光导电薄膜提供了一条切实可行的途径。 展开更多

关键词 磁控溅射 Mo/AZO多层膜 调制周期 光性能 电性能

下载PDF 职称材料

实践育人,践行思政——基于大学物理实验的课程思政教学设计 被引量：7

2

作者 史新伟 李杏瑞 +3 位作者 祝柏林 潘志峰 贾建峰 王杰芳 《物理与工程》 2023年第1期77-82,共6页

“课程思政”作为一种教学理念已经从部分高校在“点”上的探索发展为我国高等教育界在“面”上的共识。大学物理实验是我国理工科类高等院校的一门必修公共基础课,蕴含丰富的思政元素,在思政教育方面具有明显的优势。本文通过构建思政... “课程思政”作为一种教学理念已经从部分高校在“点”上的探索发展为我国高等教育界在“面”上的共识。大学物理实验是我国理工科类高等院校的一门必修公共基础课,蕴含丰富的思政元素,在思政教育方面具有明显的优势。本文通过构建思政格局,建立了TSTC教学体系,系统研究了从团队建设、教材设计到教师思政意识提高,再到思政教育内容的凝练和思政教育方法的探索与实施,实现了自然高效地融学生世界观、人生观和价值观的塑造于课堂专业教学,达到课程思政进学生心、装学生脑、融学生骨的效果,从而实现了课程“立德树人”目的。 展开更多

关键词 大学物理实验 课程思政 立德树人

下载PDF 职称材料

磁控溅射参数和锂添加对LiPON薄膜离子电导率的影响

3

作者 王凯丰 吴隽 +2 位作者 张邵奇 宋坤峰 祝柏林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2023年第6期424-429,共6页

锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由... 锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由3∶7升高至7∶3,薄膜离子电导率由1.31×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm;当N_(2)/Ar流量比为7∶3时,随着溅射功率由160 W降至120 W,薄膜离子电导率由2.09×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm。分析认为,高氮气比例和低溅射功率有助于双配位和三配位氮结构含量的提升,从而提高LiPON薄膜的离子电导率。此外,烧结锂片添锂法能有效实现靶材添锂,相同溅射参数下,所制薄膜的离子电导率提升了21.4%。 展开更多

关键词 射频磁控溅射 固态电解质 LiPON薄膜 锂添加 离子电导率

下载PDF 职称材料

激光熔覆层开裂问题的研究现状 被引量：59

4

作者 祝柏林 胡木林 +1 位作者 陈俐 谢长生 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期1-4,共4页

分析了激光熔覆层应力的产生和分布状态 ,描述了熔覆层裂纹的形成和形貌 ,归纳了目前抑制裂纹产生的方法。对解决熔覆层开裂问题提出了一些建议。

关键词 激光熔覆 开裂 残余应力 凝固裂纹

下载PDF 职称材料

ZnO-Sb_2O_3烧结体系的电导和气敏性能 被引量：2

5

作者 祝柏林 谢长生 +2 位作者 曾大文 胡木林 胡军辉 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期313-318,共6页

采用金属蒸气氧化的方法制备了四针状ZnO和近球形Sb2O3纳米颗粒.检测了基于ZnO-Sb2O3烧结体系的电导和气敏性能.通过XRD分析不同重量百分比的ZnO和Sb2O3混合粉末在烧结后的物相变化,据此讨论了ZnO-Sb2O3烧结体系的电导和气敏性能的变化... 采用金属蒸气氧化的方法制备了四针状ZnO和近球形Sb2O3纳米颗粒.检测了基于ZnO-Sb2O3烧结体系的电导和气敏性能.通过XRD分析不同重量百分比的ZnO和Sb2O3混合粉末在烧结后的物相变化,据此讨论了ZnO-Sb2O3烧结体系的电导和气敏性能的变化.结果表明:纳米颗粒可以在较低的烧结温度下发生固相反应,并且生成的复合氧化物ZnSb2O6和Zn2.33Sb0.67O4对烧结厚膜的电导和气敏性能起调控作用. 展开更多

关键词 纳米颗粒 电导性能 气敏性能 ZnO-Sb2O3烧结体系 金属蒸气氧化法 相变 固相反应

下载PDF 职称材料

蒸气氧化法制备掺锑氧化锌纳米颗粒的研究 被引量：2

6

作者 祝柏林 曾大文 +2 位作者 谢长生 胡木林 宋武林 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1255-1260,共6页

以不同摩尔比的Zn～Sb合金为原料,采用加热蒸发氧化-冷凝的方法在相同的试验条件下获得了纯的和Sb掺杂的ZnO纳米颗粒.纳米颗粒的形貌、结构和化学状态分别通过TEM、HRTEM、XRD和XPS进行了表征.通过TEM观察发现:随原料中Sb量的增加,颗粒... 以不同摩尔比的Zn～Sb合金为原料,采用加热蒸发氧化-冷凝的方法在相同的试验条件下获得了纯的和Sb掺杂的ZnO纳米颗粒.纳米颗粒的形貌、结构和化学状态分别通过TEM、HRTEM、XRD和XPS进行了表征.通过TEM观察发现:随原料中Sb量的增加,颗粒形貌由纯ZnO的四针状纳米晶须逐渐变化为棒状、四方形和六方形的颗粒状.六方形纳米颗粒的HRTEM分析表明:颗粒是结晶完好的纤锌矿结构的单晶,(1100)晶面间距比文献报道的纯ZnO的数值大.XRD没有检测到Sb掺杂ZnO纳米颗粒除ZnO外的其它物相,但XPS分析确定了Sb元素存在于纳米颗粒中.讨论了四针状纳米ZnO的形成及Sb的存在对颗粒形态的影响. 展开更多

关键词 蒸气氧化 Sb掺杂 ZNO 四针状纳米晶须

下载PDF 职称材料

ZnO-Bi_2O_3混合氧化物厚膜的结构和气敏性能 被引量：1

7

作者 祝柏林 谢长生 +2 位作者 曾大文 王爱华 宋武林 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期706-712,共7页

采用金属蒸气氧化的方法制备了针状ZnO和椭球形Bi2O3纳米颗粒作为气敏厚膜的原材料,其中得到的Bi2O3为δ相和β相的混合物.通过XRD和SEM分析了ZnO、Bi2O3 以及ZnO-Bi2O3混合物厚膜的物相和表面形貌,并测试了厚膜的电导和气敏性能.结果... 采用金属蒸气氧化的方法制备了针状ZnO和椭球形Bi2O3纳米颗粒作为气敏厚膜的原材料,其中得到的Bi2O3为δ相和β相的混合物.通过XRD和SEM分析了ZnO、Bi2O3 以及ZnO-Bi2O3混合物厚膜的物相和表面形貌,并测试了厚膜的电导和气敏性能.结果发现纯Bi2O3对乙醇和丙酮蒸气有一定的气敏性能,表现为P型导电;与纯ZnO相比,ZnO-Bi2O3 混合物厚膜对苯、甲苯和二甲苯的敏感度降低,这与厚膜晶粒尺寸增大、其晶界势垒高度增大有关,然而Bi2O3可能作为一种弱的催化剂提高了厚膜对乙醇和丙酮的敏感性能. 展开更多

关键词 ZNO BI2O3 纳米颗粒 电导 气敏

下载PDF 职称材料

反应磁控溅射法制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜的结构和透明导电性能 被引量：1

8

作者 祝柏林 郑思龙 +1 位作者 谢挺 吴隽 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期98-104,共7页

以Zn/ZnO/ZnF_(2)混合物为靶材,在衬底温度(T_(s))为150℃和300℃、溅射气氛为Ar+O_(2)和Ar+H_(2)下反应溅射制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜,研究气体流量、T_(s)以及溅射气氛对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果表明:对于Ar+O_(2)下制备的FZ... 以Zn/ZnO/ZnF_(2)混合物为靶材,在衬底温度(T_(s))为150℃和300℃、溅射气氛为Ar+O_(2)和Ar+H_(2)下反应溅射制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜,研究气体流量、T_(s)以及溅射气氛对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果表明:对于Ar+O_(2)下制备的FZO薄膜,T_(s)=300℃时有利于制备出具有(002)择优取向、结晶度高、压应力低且透明导电性能较好的薄膜。对于Ar+H_(2)下制备的薄膜,T_(s)增大到300℃虽然提高了薄膜结晶度和透光性,降低了压应力,但薄膜厚度明显降低,薄膜导电性能变差。比较两种气氛下制备的FZO薄膜,发现Ar+H_(2)下制备的薄膜可在150℃和0.8~3.2 mL·min^(-1)的H_(2)流量范围内得到更好的透明导电性能(电阻率为3.5×10^(-3)Ω·cm,可见光平均透光率为87%)。讨论Ar+H_(2)气氛时H等离子的刻蚀作用与H掺杂、Ar+O_(2)气氛时O离子的轰击作用与薄膜氧缺陷的变化、T_(s)升高时沉积原子反应活性与迁移能力增强以及Eg与载流子浓度的关系。 展开更多

关键词 复合靶材 反应溅射 FZO薄膜 透明导电性 禁带宽度

下载PDF 职称材料

ZnO气敏材料的研究进展 被引量：11

9

作者 祝柏林 谢长生 《传感技术学报》 CAS CSCD 2002年第4期353-359,共7页

本文着重介绍了粉末状 Zn O气敏材料的制备和掺杂的研究进展 。

关键词 ZnO 气敏材料 掺杂

下载PDF 职称材料

反应溅射法制备AZO薄膜的结构和透明导电性能

10

作者 祝柏林 李昆鹏 +1 位作者 谢挺 吴隽 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第3期443-449,共7页

不同于常用的金属或氧化物靶材,本研究以表面粘贴Al片的Zn/Zn O混合物(Al@Zn/Zn O)为靶材,在衬底温度(Ts)为150℃和300℃,溅射气氛为Ar+O2和Ar+H2下反应溅射制备Al掺杂Zn O(AZO)薄膜。通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见... 不同于常用的金属或氧化物靶材,本研究以表面粘贴Al片的Zn/Zn O混合物(Al@Zn/Zn O)为靶材,在衬底温度(Ts)为150℃和300℃,溅射气氛为Ar+O2和Ar+H2下反应溅射制备Al掺杂Zn O(AZO)薄膜。通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见分光光度计研究了Ts以及O2和H2流量对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果发现,随O2流量增加,两种Ts下制备的AZO薄膜保持(002)择优取向,薄膜中压应力呈下降的趋势,而薄膜结晶度趋向于先增加后略有下降。薄膜的导电性能随O2流量增加呈逐渐增强的趋势。当O2流量高于一定值时,薄膜可以获得较高的可见光透过率,因此达到较高的品质因子。当Ts从150℃增加到300℃,薄膜的压应力降低,结晶度提高,但导电性未见明显提高。另外,薄膜禁带宽度主要由薄膜中压应力决定。与Ar+O2下制备的AZO薄膜相比,Ar+H2气氛下制备的薄膜基本上为非晶态,其导电性能差,而可见光透过率较高、禁带宽度较大。 展开更多

关键词 复合靶材 反应溅射 AZO薄膜 透明导电性 禁带宽度 品质因子

下载PDF 职称材料

多道搭接激光熔覆镍基合金中裂纹断口形貌研究 被引量：25

11

作者 胡木林 谢长生 +1 位作者 祝柏林 王爱华 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期23-26,共4页

利用预置法激光重熔在铁基材料上获得了Ni基合金多道搭接的熔覆层。利用光学显微镜和扫描电镜对熔覆层组织、裂纹走向以及裂纹面进行分析。多道搭接时 ,Ni基合金熔覆层极易出现贯穿裂纹。裂纹的扩展呈周期性 ,裂纹面上高温热裂断口和冷... 利用预置法激光重熔在铁基材料上获得了Ni基合金多道搭接的熔覆层。利用光学显微镜和扫描电镜对熔覆层组织、裂纹走向以及裂纹面进行分析。多道搭接时 ,Ni基合金熔覆层极易出现贯穿裂纹。裂纹的扩展呈周期性 ,裂纹面上高温热裂断口和冷脆断口交替出现。高温下的裂纹沿树枝晶界韧性稳态扩展 ,穿过树枝晶时有撕裂棱 ;失稳扩展沿裂纹面进行、断口呈放射状的脆性特征。数值分析表明 ,多道搭接时热应力在整个开裂过程中起重要作用。裂纹于夹杂附近在最大热应力作用下起裂 ,起裂方向垂直于扫描方向。随后裂纹在热应力、组织因素及已有裂纹综合作用下进一步扩展 。 展开更多

关键词 激光熔覆 多道搭接 裂纹 断口 热应力 镍基合金

下载PDF 职称材料

激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究 被引量：12

12

作者 王林 张覃轶 +2 位作者 祝柏林 王爱华 谢长生 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期491-494,共4页

以激光 -感应复合加热法制备的纳米ZnO为原料 ,用激光烧结法制成的气敏传感元件 ,对乙醇、丙酮等五种挥发性有机化合物的敏感性进行了测定 ,同时又对所制成的传感元件作了SEM分析。实验表明 ,采用激光烧结的纳米ZnO较之电炉烧结的敏感度... 以激光 -感应复合加热法制备的纳米ZnO为原料 ,用激光烧结法制成的气敏传感元件 ,对乙醇、丙酮等五种挥发性有机化合物的敏感性进行了测定 ,同时又对所制成的传感元件作了SEM分析。实验表明 ,采用激光烧结的纳米ZnO较之电炉烧结的敏感度高 ,孔洞细小、孔隙率增多 ;且随着激光加工功率的提高 。 展开更多

关键词 激光烧结 纳米ZNO 气敏传感器 制备工艺 气敏特性 氧化锌 激光加工

下载PDF 职称材料

高硅钢织构的研究现状及进展 被引量：4

13

作者 秦卓 朱军 +4 位作者 吴隽 张莉 龚甜 从善海 祝柏林 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期79-83,98,共6页

6.5%(质量分数)Si高硅钢具有优异的软磁性能和广阔的应用前景,然而其室温脆性和低的热加工性极大地制约了它的发展。近年来,人们对高硅钢制备技术的研究已经取得了很大的进展,如何通过织构的优化提高高硅钢的磁性能越来越受到人们的关注... 6.5%(质量分数)Si高硅钢具有优异的软磁性能和广阔的应用前景,然而其室温脆性和低的热加工性极大地制约了它的发展。近年来,人们对高硅钢制备技术的研究已经取得了很大的进展,如何通过织构的优化提高高硅钢的磁性能越来越受到人们的关注,归纳和总结了不同工艺制备的高硅钢中的织构演变规律和特点,以及对应的典型磁性能。 展开更多

关键词 高硅钢 制备工艺 织构 磁性能

下载PDF 职称材料

激光熔覆用铁基合金工艺性研究 被引量：16

14

作者 陈俐 谢长生 +1 位作者 胡木林 祝柏林 《焊接技术》 2001年第3期2-4,共3页

对激光熔覆用的铁基模具钢合金进行了设计，研究了硅和硼含量的变化对激光熔覆工艺性的影响。研究发现，无硅、无硼铁基合金在激光作用下难以熔覆成形，硅的存在利于熔覆层的表面成形改善，但易使熔覆层形成夹杂；硼的存在使熔覆层夹杂... 对激光熔覆用的铁基模具钢合金进行了设计，研究了硅和硼含量的变化对激光熔覆工艺性的影响。研究发现，无硅、无硼铁基合金在激光作用下难以熔覆成形，硅的存在利于熔覆层的表面成形改善，但易使熔覆层形成夹杂；硼的存在使熔覆层夹杂少，但表面脱渣难，且在一定的条件下导致熔覆层裂纹。分析表明，铁基合金粉中硅、锰和硼均参与了激光作用下熔池的脱氧造渣反应，硅和硼同时存在更利于熔覆层的成形，并有效地防止熔覆层的夹杂和裂纹形成。 展开更多

关键词 激光加工 激光熔覆 铁基合金 热喷涂 合金粉末

下载PDF 职称材料

负偏压对六方氮化硼薄膜沉积特性的影响 被引量：1

15

作者 龚甜 吴隽 +3 位作者 李涛涛 龙晓阳 祝柏林 祁婷 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2015年第5期351-356,共6页

利用射频磁控溅射法在n型Si(100)衬底上沉积六方氮化硼薄膜(h-BN),采用AFM、Raman、XPS、FTIR等技术研究负偏压对所沉积薄膜生长模式、结构、表面粗糙度、薄膜取向、相变等特性的影响。结果表明,当负偏压为0V时,沉积所得h-BN薄膜表面粗... 利用射频磁控溅射法在n型Si(100)衬底上沉积六方氮化硼薄膜(h-BN),采用AFM、Raman、XPS、FTIR等技术研究负偏压对所沉积薄膜生长模式、结构、表面粗糙度、薄膜取向、相变等特性的影响。结果表明,当负偏压为0V时,沉积所得h-BN薄膜表面粗糙度较低、结晶性良好、c轴垂直于衬底且以层状模式生长;随着负偏压的增加,薄膜由层状模式生长转变为岛状模式生长,表面粗糙度增加,且h-BN经亚稳相E-BN和wBN向c-BN转变,使得BN薄膜相系统更加混乱,不利于高质量层状h-BN薄膜的获取。 展开更多

关键词 六方氮化硼 薄膜 沉积 SI衬底 射频磁控溅射 负偏压 生长模式 粗糙度 相变

下载PDF 职称材料

射频溅射功率和掺杂氢对硅氢薄膜结构的影响 被引量：1

16

作者 吴隽 王亮 +2 位作者 祝柏林 范丽霞 从善海 《武汉科技大学学报》 CAS 2009年第4期383-388,共6页

采用SEM和Raman谱对射频磁控溅射法制备的硅氢薄膜结构进行了研究，讨论了在100～400W范围内溅射功率和氢气分压对硅氢薄膜结构的影响。结果表明，制备的硅氢薄膜为致密的颗粒膜，添加氢气后，颗粒状的硅氢薄膜出现了粒径更为细小的纳... 采用SEM和Raman谱对射频磁控溅射法制备的硅氢薄膜结构进行了研究，讨论了在100～400W范围内溅射功率和氢气分压对硅氢薄膜结构的影响。结果表明，制备的硅氢薄膜为致密的颗粒膜，添加氢气后，颗粒状的硅氢薄膜出现了粒径更为细小的纳米级小颗粒亚结构；随着氢气分压的增加，其直径先增加后减小，平均直径在氢气分压为50％时达到最大；随着溅射功率的增加，硅氢薄膜的颗粒平均直径增加，当溅射功率达到400W时，颗粒的平均直径为104nm。拉曼光谱分析结果显示硅氢薄膜为非晶态。 展开更多

关键词 硅氢薄膜 溅射功率 颗粒直径 氢气分压

下载PDF 职称材料

金属热处理生产实习的问题与对策 被引量：6

17

作者 从善海 赵惠忠 +1 位作者 祝柏林 吴润 《中国冶金教育》 2011年第5期53-55,共3页

阐述了金属热处理课程生产实习中存在的问题,如学生没有动手机会,教师工程实践能力欠缺,实习学生多、实习地点少,等。提出了发挥"材料学实验教学示范中心"的资源优势,建立教师实践能力培养机制,尝试多种实习模式,建立校内实... 阐述了金属热处理课程生产实习中存在的问题,如学生没有动手机会,教师工程实践能力欠缺,实习学生多、实习地点少,等。提出了发挥"材料学实验教学示范中心"的资源优势,建立教师实践能力培养机制,尝试多种实习模式,建立校内实习基地的和修订教学运行、考核、管理文件等对策。实现了校外校内优势资源互补,增强了教师工程实践能力,增加了学生实际动手机会,实习效果显著提高。 展开更多

关键词 金属热处理 生产实习 工程实践

下载PDF 职称材料

保护遗址净化环境———重庆歌乐山烈士陵园保护规划初探 被引量：2

18

作者 祝柏林 《重庆建筑大学学报》 CSCD 1996年第3期104-115,136,共13页

在文物遗址保护中，对用地规模巨大、文物遗址分散、遗址状况复杂的具有纪念性和教育性的遗址类现场博物馆，采用多方位、多层次、系统综合的遗址保护体系。

关键词 历史遗迹 整治复原 环境保护 陵园建筑 文物保护

下载PDF 职称材料

基于Unity 3D的霍尔效应实验虚拟仿真平台设计与实现 被引量：1

19

作者 史新伟 贾建峰 +2 位作者 宋开兰 王晓霞 祝柏林 《物理通报》 CAS 2022年第1期124-128,131,共6页

基于Unity 3D设计了霍尔效应实验虚拟仿真平台.该平台利用3ds Max构建三维模型,并将生成的FBX文件导入Unity 3D资源管理器,使用C#语言编写脚本,控制相应模型实现各种状态的动态响应,在Windows平台上运行实现霍尔效应实验.该虚拟仿真实... 基于Unity 3D设计了霍尔效应实验虚拟仿真平台.该平台利用3ds Max构建三维模型,并将生成的FBX文件导入Unity 3D资源管理器,使用C#语言编写脚本,控制相应模型实现各种状态的动态响应,在Windows平台上运行实现霍尔效应实验.该虚拟仿真实验平台可激发学生的兴趣,提高学生的实验技能,改善教学效果,同时,解决了目前实验教学中普遍存在的硬件资源不足、仪器设备易损坏等诸多困扰. 展开更多

关键词 霍尔效应 Unity 3D 虚拟仿真 教学效果

下载PDF 职称材料

氢气与Cu中间层对GZO薄膜光电性能的影响 被引量：3

20

作者 吕坤 祝柏林 +3 位作者 李珂 胡文超 谢铭 吴隽 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期493-497,共5页

采用磁控溅射方法,在H2/Ar混合气氛下制备了GZO薄膜和在Ar气氛下制备了GZO/Cu/GZO多层结构薄膜,分别研究了H2流量和Cu层厚度对薄膜透明导电性能的影响。在此基础上,在H2/Ar混合气氛下制备了GZO/Cu/GZO多层结构薄膜,对Cu层厚度对其性能... 采用磁控溅射方法,在H2/Ar混合气氛下制备了GZO薄膜和在Ar气氛下制备了GZO/Cu/GZO多层结构薄膜,分别研究了H2流量和Cu层厚度对薄膜透明导电性能的影响。在此基础上,在H2/Ar混合气氛下制备了GZO/Cu/GZO多层结构薄膜,对Cu层厚度对其性能的影响进行了研究。结果表明,沉积气氛中引入H2能有效降低GZO薄膜的电阻率而提高其透光率,在H2流量为20 sccm时GZO薄膜具有最佳性能。随着Cu厚度的增加,GZO/Cu/GZO多层结构薄膜的电阻率和平均透过率显著下降。在H2/Ar混合气氛下制备的氢化GZO/Cu/GZO多层结构薄膜的电阻率普遍低于Ar气氛下制备的GZO/Cu/GZO多层结构薄膜,但其透光率却随Cu层厚度的增加而显著降低。另外,薄膜的禁带宽度随H2流量的增加而增加,随Cu层厚度的增加而减小。 展开更多

关键词 GZO薄膜 多层膜结构 氢掺杂 透明导电薄膜 光电性能

下载PDF 职称材料