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微电容超声传感器的设计与测试 被引量:7
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作者 穆林枫 张文栋 +3 位作者 何常德 张睿 宋金龙 薛晨阳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第8期1-3,6,共4页
针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题,采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法,避免了掺杂效应的发生,从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线,分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真... 针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题,采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法,避免了掺杂效应的发生,从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线,分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真,建立了传感器与电路检测的通道,并通过水下测试系统的搭建,对其进行实验验证。测试结果表明,实际输出电压的值为0.8 V,与理论计算值0.61 V相近,从而验证了CMUT的可用性及其测试系统的可行性。 展开更多
关键词 微电容超声传感器 寄生电容 电容变化率 跨阻检测电路 系统测试
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基于跨阻放大的微弱电容检测电路 被引量:5
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作者 穆林枫 张文栋 +1 位作者 何常德 薛晨阳 《电测与仪表》 北大核心 2015年第18期85-89,共5页
在微弱信号的检测中有两大难点:一是检测电路精度低,无法实现对交流小信号的识别,二是信号处理电路难以将小信号从庞大的噪声流中分离出来。文中介绍的基于跨阻放大的检测电路可以实现1f F/ms的检测精度,且应用AD835的相敏解调电路及后... 在微弱信号的检测中有两大难点:一是检测电路精度低,无法实现对交流小信号的识别,二是信号处理电路难以将小信号从庞大的噪声流中分离出来。文中介绍的基于跨阻放大的检测电路可以实现1f F/ms的检测精度,且应用AD835的相敏解调电路及后续的低通滤波电路可以很好的将有用信号从噪声流中分离出来,克服了上述难点,实现了对微弱信号的提取。 展开更多
关键词 微弱信号 噪声流 跨阻放大 相敏解调
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基于跨阻放大器的动态微弱电容检测电路 被引量:4
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作者 穆林枫 张文栋 +1 位作者 何常德 薛晨阳 《测试技术学报》 2015年第1期31-35,共5页
基于MEMS技术的微电容超声传感器(CMUT),因具有易制造、易阵列化、噪声低、稳定性好以及批量化生产等众多优点,成为未来高频超声传感器发展的主要方向.本文介绍了微电容超声传感器的工作原理,提出了跨阻放大器检测电路,它能将电容信号... 基于MEMS技术的微电容超声传感器(CMUT),因具有易制造、易阵列化、噪声低、稳定性好以及批量化生产等众多优点,成为未来高频超声传感器发展的主要方向.本文介绍了微电容超声传感器的工作原理,提出了跨阻放大器检测电路,它能将电容信号转换为相应的电压信号(C/V转换),再通过放大、滤波得出电容的变化量.该电路能很好地抑制杂散电容的影响,有很好的线性和稳定性,在400kHz的超声波作用下的灵敏度为1.64mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测. 展开更多
关键词 CMUT 跨阻放大器 检测电路 杂散电容 灵敏度
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Design and test of a capacitance detection circuit based on a transimpedance amplifier 被引量:2
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作者 穆林枫 张文栋 +3 位作者 何常德 张睿 宋金龙 薛晨阳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第7期140-147,共8页
This paper presents a transimpedance amplifier (TIA) capacitance detection circuit aimed at detecting micro-capacitance, which is caused by ultrasonic stimulation applied to the capacitive micro-machined ultrasonic ... This paper presents a transimpedance amplifier (TIA) capacitance detection circuit aimed at detecting micro-capacitance, which is caused by ultrasonic stimulation applied to the capacitive micro-machined ultrasonic transducer (CMUT). In the capacitance interface, a TIA is adopted to amplify the received signal with a center frequency of 400 kHz, and finally detect ultrasound pressure. The circuit has a strong anti-stray property and this paper also studies the calculation of compensation capacity in detail. To ensure high resolution, noise analysis is conducted. After optimization, the detected minimum ultrasound pressure is 2.1 Pa, which is two orders of magni- tude higher than the former. The test results showed that the circuit was sensitive to changes in ultrasound pressure and the distance between the CMUT and stumbling block, which also successfully demonstrates the functionality of the developed TIA of the analog-front-end receiver. 展开更多
关键词 TIA capacitance detection CMUT high resolution distance test
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