期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟 被引量：5
1
作者 李之杰 潘正瑛 +5 位作者 朱靖 魏启 王月霞 臧亮坤 周亮 刘提将 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期2233-2238,共6页
采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表... 采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响 .分析表明 ,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递 ,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率 ,增加了合成薄膜的SP3键含量 .研究结果和实验观察一致 ,并从合成机理上给出了一些定量解释 . 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 离子束辅助沉积 分子动力学 计算机模拟
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部